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北京亞科晨旭科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第7年

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亞科-Electron Beam Lithography System(EBL)
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更新時(shí)間:2024-09-26 14:08:56

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納米光刻技術(shù)在微納電子器件制作中起著關(guān)鍵作用,而電子束光刻在納米光刻技術(shù)制作中是的方法之一。先進(jìn)納米科技提供;的電子束納米光刻(EBL)系統(tǒng),或稱電子束直寫(EBD)、電子束爆光系統(tǒng)。

超高分辨率電子束光刻EBL
 

系列采用專業(yè)的恒溫控制系統(tǒng),使得整個(gè)主系統(tǒng)的溫度保持恒定,再加上主系統(tǒng)內(nèi)部精密傳感裝置,使得電子束電流穩(wěn)定性,電子束定位穩(wěn)定性,電子束電流分布均一性都得到了的提高,其性能指標(biāo)遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于其它廠家的同類產(chǎn)品,在長(zhǎng)達(dá) 5 小時(shí)的時(shí)間內(nèi),電子束電流和電子束定位非常穩(wěn)定,電子束電流分布也非常均一。


納米光刻技術(shù)在微納電子器件制作中起著關(guān)鍵作用,而電子束光刻在納米光刻技術(shù)制作中是好的方法之一。司為21世紀(jì)先進(jìn)納米科技提供 的電子束納米光刻(EBL)系統(tǒng),或稱電子束直寫(EBD)、電子束爆光系統(tǒng)。 

超高分辨率的電子束光刻系列的型號(hào)包括:
 

技術(shù)參數(shù):
加速電壓:高130keV
單段加速能力達(dá)到130keV,盡量減少電子槍的長(zhǎng)度
超短電子槍長(zhǎng)度,無微放電
電子束直徑<1.6nm
小線寬<7nm
雙熱控制,實(shí)現(xiàn)超穩(wěn)定直寫能力

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