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中級(jí)會(huì)員 | 第7年

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CRESTEC-超高分辨率電子束光刻EBL(CABL-UH series)
  • CRESTEC-超高分辨率電子束光刻EBL(CABL-UH series)
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貨物所在地:北京北京市

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更新時(shí)間:2024-09-26 14:08:56

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納米光刻技術(shù)在微納電子器件制作中起著關(guān)鍵作用,而電子束光刻在納米光刻技術(shù)制作中是的方法之一。日本CRESTEC公司為21世紀(jì)先進(jìn)納米科技提供 的電子束納米光刻(EBL)系統(tǒng),或稱電子束直寫(EBD)、電子束爆光系統(tǒng)。

超高分辨率電子束光刻EBL
Ultrahigh Resolution EB Lithography (CABL-UH series)

納米光刻技術(shù)在微納電子器件制作中起著關(guān)鍵作用,而電子束光刻在納米光刻技術(shù)制作中是好的方法之一。日本CRESTEC公司為21世紀(jì)先進(jìn)納米科技提供 的電子束納米光刻(EBL)系統(tǒng),或稱電子束直寫(EBD)、電子束爆光系統(tǒng)。 

超高分辨率的電子束光刻CABL-UH系列的型號(hào)包括:
CABL-UH90 (90keV) 、CABL-UH110 (110keV) CABL-UH130 (130keV)

技術(shù)參數(shù):
加速電壓:高130keV
單段加速能力達(dá)到130keV,盡量減少電子槍的長(zhǎng)度
超短電子槍長(zhǎng)度,無微放電
電子束直徑<1.6nm
小線寬<7nm
雙熱控制,實(shí)現(xiàn)超穩(wěn)定直寫能力

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