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北京亞科晨旭科技有限公司
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亞科-RAITH多功能電子束曝光系統(tǒng)eLINE Plus
  • 亞科-RAITH多功能電子束曝光系統(tǒng)eLINE Plus
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更新時(shí)間:2024-09-26 14:08:56

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探索超越電子束曝光功能的納米工程系統(tǒng)
超高分辨電子束曝光、成像及納米工程系統(tǒng)
納米加工領(lǐng)域的瑞士

RAITH多功能電子束曝光系統(tǒng)eLINE Plus

多功能電子束曝光系統(tǒng)

 

 

探索超越電子束曝光功能的納米工程系統(tǒng)

超高分辨電子束曝光、成像及納米工程系統(tǒng)

納米加工領(lǐng)域的瑞士

多用途的納米光刻系統(tǒng)

eLINE Plus被廣泛用于大學(xué)和研究中心,該系統(tǒng)有很多多功能附件可供用戶選擇,滿足用戶對(duì)電子束光刻機(jī)多功能性的要求。

除具有專業(yè)的電子束光刻及成像功能,eLINE Plus還完美集成了納米操縱設(shè)備,如納米探針、用于聚焦電子束誘導(dǎo)過(guò)程的氣體注入系統(tǒng)等各種多功能選件,這使得eLINE Plus成為世界上*的、用途廣泛的電子束光刻系統(tǒng)。

納米工程、納米操縱,及聚焦電子束誘導(dǎo)過(guò)程

  • 先進(jìn)的熱場(chǎng)發(fā)射電子光學(xué)柱,可得到的小束斑尺寸
  • 開(kāi)放的可升級(jí)的平臺(tái)理念
  • 廣泛的納米加工工藝
  • 多種探測(cè)器,可靈活地實(shí)現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記識(shí)別、成像,及材料分析方面的應(yīng)用
  • *的無(wú)寫場(chǎng)拼接的直寫模式(traxx /periodixx
  • Raith NanoSuite軟件: 集所有模塊于一體的綜合軟件界面

可擴(kuò)展的科研工具理念

eLINE Plus具有模塊可擴(kuò)展的科研工具理念,用戶可任意時(shí)間升級(jí)各種模塊,使該系統(tǒng)適用于納米研究中熱門的研究方向。eLINE Plus從傳統(tǒng)的電子束應(yīng)用領(lǐng)域,擴(kuò)展成為多功能的系統(tǒng),打開(kāi)了跨學(xué)科研究的大門。

eLINE Plus具有的小束斑尺寸(1.6nm,在前沿的高分辨納米加工中,不論是納米曝光還是其他聚焦電子束誘導(dǎo)過(guò)程中都展現(xiàn)出的優(yōu)異性能。

 

eLINE Plus 納米曝光應(yīng)用

  • HSQ膠上制作亞5nm線條

 

  • 高密度器件:1kB交叉型阻變式存儲(chǔ)器

 

  • 通過(guò)鉆蝕工藝獲得光子晶體隔膜器件
  • 金屬橫向自旋閥

 

  • 納米光柵實(shí)現(xiàn)的神經(jīng)突導(dǎo)航功能

eLINE Plus 納米工程應(yīng)用

  • 采用電子束誘導(dǎo)沉積功能生長(zhǎng)金電極,在金電極上沉積懸空的Pt納米線,并采用探針進(jìn)行納米線探測(cè)

 

  • 電子束誘導(dǎo)沉積結(jié)構(gòu),采用輪廓儀探針進(jìn)行材料生長(zhǎng)速率的測(cè)量

 

  • 電子束誘導(dǎo)沉積生長(zhǎng)三維納米結(jié)構(gòu)
  • 采用能量選擇inLens背散射電子探測(cè)器探測(cè)材料對(duì)比度

eLINE Plus 產(chǎn)品詳情

主要應(yīng)用:

  • 納米級(jí)光刻
  • 納米工程
  • 納米操縱、納米探測(cè)、納米輪廓儀
  • 聚焦電子束誘導(dǎo)過(guò)程(FEBIP
  • 成像及分析

 

樣品臺(tái):

  • 4“ 移動(dòng)范圍
  • Z軸移動(dòng)范圍大
  • 旋轉(zhuǎn)和傾斜功能(選配)

 

電子槍技術(shù):

  • Gemini
  • 電子
  • 30 kV
  • Inlense二次電子探測(cè)器
  • 能量選擇背散射二次電子探測(cè)器(選配)

 

*直寫模式:

  • traxx長(zhǎng)線條無(wú)寫場(chǎng)拼接曝光模式
  • periodixx周期結(jié)構(gòu)無(wú)寫場(chǎng)拼接曝光模式

 

 

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