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布魯克Bruker 原子力顯微鏡探針 AFM探針 輕敲模式  OLTESPA-R3

 產(chǎn)品特點(diǎn)
更易定位，更適合如按樣品。

 OLTESPA-R3原子力顯微鏡探針為布魯克貼標(biāo)產(chǎn)品，

懸臂共振頻率：70(50~90) kHz（空氣中），彈性系數(shù)：2 N/m。

針尖曲率半徑：7nm（典型值）

AL涂層。

產(chǎn)品資料 

 OLTESPA-R3 原子力顯微鏡探針/AFM探針主要特點(diǎn)：
1.較小彈簧常數(shù)更適合測(cè)量軟樣品

2 N / m的彈簧常數(shù)是AC模式的硅懸臂中*小的，適用于觀察軟樣品的表面形貌和粘彈性。

2.用低電阻率硅測(cè)量表面電位

懸臂基材采用N型摻雜硅，表面電阻為0.01-0.02Ω·cm（是其他基材表面電阻的1/200）。這可以用于測(cè)量表面電位和其他應(yīng)用。

3.理想情況下指向終止探針

四面體探針的頂點(diǎn)理想地是點(diǎn)終止的。

從正面看，四面體探針顯示出良好的對(duì)稱性?？紤]幾何特征，選擇快速掃描（X）方向。檢查掃描線輪廓和頂點(diǎn)的放大視圖。

4.備受好評(píng)的'TipView'結(jié)構(gòu)

由于'TipView'結(jié)構(gòu)，探頭可以輕松定位在您感興趣的位置。

探頭位于懸臂的末端，以便在光學(xué)觀察期間探頭頂點(diǎn)不會(huì)被遮擋。

5.反射側(cè)鋁涂層

在懸臂上涂覆厚度為100nm的薄鋁膜，用于反射來(lái)自AFM設(shè)備中的偏轉(zhuǎn)傳感器的光。可以預(yù)期用于高S / N感測(cè)的高反射。

參數(shù)規(guī)格

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

關(guān)于布魯克：

布魯克公司以的生產(chǎn)工藝，專業(yè)的AFM領(lǐng)域背景，得天獨(dú)厚的生產(chǎn)裝備，賦予探針制造眾多的優(yōu)勢(shì)，確保在*廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域中提供*完整的AFM解決方案。

布魯克AFM探針制造中心*優(yōu)勢(shì)：

*Class100級(jí)別的無(wú)塵室

*的設(shè)計(jì)、制造工序及制造工具

*探針設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)與AFM設(shè)備研發(fā)團(tuán)隊(duì)通力合作，配合緊密

*訓(xùn)練有素的生產(chǎn)團(tuán)隊(duì)，制造出各種型號(hào)的探針

*全面的質(zhì)量管理體系，確保探針性能行業(yè)

在實(shí)驗(yàn)中，用戶所得到的數(shù)據(jù)取決于探針的質(zhì)量及探針的重復(fù)性。布魯克的探針具有嚴(yán)格的納米加工控制，全面的質(zhì)量測(cè)試，和AFM領(lǐng)域的專業(yè)背景。所以用戶盡可放心，我們的探針不僅為您當(dāng)前的應(yīng)用提供所需的結(jié)果，同時(shí)也能為將來(lái)的研究提供參考數(shù)據(jù)。

原子力顯微鏡探針/AFM探針:  

探針的工作模式：主要分為：掃描(接觸)模式和輕敲模式

探針的結(jié)構(gòu)：懸臂梁+針尖

探針針尖曲率半徑Tip Radius：一般為10nm到幾十nm。

制作工藝：半導(dǎo)體工藝制作

指標(biāo)：

探針的指標(biāo)主要分三個(gè)部分，分別對(duì)應(yīng)了基片，微懸臂梁，和針尖三個(gè)部分。

1. 基片，就是基片的長(zhǎng)，寬，高，各種探針的基片尺寸是基本一致的。

2. 懸臂梁，分為矩形梁和三角形懸臂梁，他們的長(zhǎng)寬厚的幾何尺寸決定了懸臂梁的彈性系數(shù)和共振頻率。而彈性常數(shù)K是探針的很重要的一個(gè)參數(shù)，一般來(lái)說(shuō)，接觸模式的探針的彈性常數(shù)小于1N/m。輕敲模式的探針的懸臂梁彈性系數(shù)從幾個(gè)N/m到幾十個(gè)N/m。常用的RTESP的彈性常數(shù)是40N/m。

3. 針尖，針尖的的幾何形狀是一個(gè)四面體。指標(biāo)主要有，曲率半徑(Tip Radius)，探針高度（Tip Height），對(duì)應(yīng)于四面體的指標(biāo)，前角（Front Angel），后角（Back Angel），側(cè)角（Side Angel），還有一個(gè)是Tip Set Back，對(duì)應(yīng)的是針尖離懸臂梁*末端的水平距離。

材質(zhì)：

1. 輕敲探針：一般是單晶硅，型號(hào)如RTESP；

2. 接觸模式探針：材質(zhì)是SiN，而新型號(hào)的SNL接觸探針，懸臂梁是SiN，而針尖則Si（曲率半徑2nm左右），這種探針可以提供接觸模式下的分辨率圖；

3. 功能探針：如磁力探針（MESP），導(dǎo)電探針，則是在普通的硅探針的基礎(chǔ)上再鍍上相應(yīng)的材料。MESP的鍍層是Co/Cr，SCM-PIT的鍍層是Pt。

常用探針型號(hào)介紹：

  常用探針型號(hào)介紹

1. 輕敲模式，RTESPA-300，TESP，F(xiàn)ESP

2. 接觸模式，SNL，NP，

3. 智能掃描模式：Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+

4. 磁力顯微鏡，MESP-V2,MESP-RC-V2

5. 靜電力顯微鏡，導(dǎo)電AFM，等電學(xué)測(cè)量模式，DDESP，SCM-PIT，SCM-PIC等。

6.  其他特殊功能探針。如金剛石探針，大長(zhǎng)徑比探針。

原子力顯微鏡探針/AFM探針基本都是由MEMS技術(shù)加工 Si 或者 Si3N4來(lái)制備. 探針針尖半徑一般為10到幾十 nm。微懸臂通常由一個(gè)一般100~500μm長(zhǎng)和大約500nm~5μm厚的硅片或氮化硅片制成。典型的硅微懸臂大約100μm長(zhǎng)、10μm寬、數(shù)微米厚。

　　利用探針與樣品之間各種不同的相互作用的力而開(kāi)發(fā)了各種不同應(yīng)用領(lǐng)域的顯微鏡，如AFM（范德法力），靜電力顯微鏡EFM（靜電力）磁力顯微鏡MFM（靜磁力）側(cè)向力顯微鏡LFM（探針側(cè)向偏轉(zhuǎn)力）等， 因此有對(duì)應(yīng)不同種類顯微鏡的相應(yīng)探針。

　　原子力顯微鏡的探針主要有以下幾種：

　?。?/font>1）、 非接觸/輕敲模式針尖以及接觸模式探針：*常用的產(chǎn)品，分辨率高，使用壽命一般。使用過(guò)程中探針不斷磨損，分辨率很容易下降。主要應(yīng)用與表面形貌觀察。

　?。?/font>2）、 導(dǎo)電探針：通過(guò)對(duì)普通探針鍍10-50納米厚的Pt（以及別的提高鍍層結(jié)合力的金屬，如Cr，Ti，Pt和Ir等）得到。導(dǎo)電探針應(yīng)用于EFM，KFM，SCM等。導(dǎo)電探針?lè)直媛时萾apping和contact模式的探針差，使用時(shí)導(dǎo)電鍍層容易脫落，導(dǎo)電性難以長(zhǎng)期保持。導(dǎo)電針尖的新產(chǎn)品有碳納米管針尖，金剛石鍍層針尖，全金剛石針尖，全金屬絲針尖，這些新技術(shù)克服了普通導(dǎo)電針尖的短壽命和分辨率不高的缺點(diǎn)。

　?。?/font>3）、磁性探針：應(yīng)用于MFM，通過(guò)在普通tapping和contact模式的探針上鍍Co、Fe等鐵磁性層制備，分辨率比普通探針差，使用時(shí)導(dǎo)電鍍層容易脫落。

　?。?/font>4）、大長(zhǎng)徑比探針：大長(zhǎng)徑比針尖是專為測(cè)量深的溝槽以及近似鉛垂的側(cè)面而設(shè)計(jì)生產(chǎn)的。特點(diǎn)：不太常用的產(chǎn)品，分辨率很高，使用壽命一般。技術(shù)參數(shù)：針尖高度> 9μm；長(zhǎng)徑比5:1；針尖半徑< 10 nm。

　　（5）、類金剛石碳AFM探針/全金剛石探針：一種是在硅探針的針尖部分上加一層類金剛石碳膜，另外一種是全金剛石材料制備（價(jià)格很高）。這兩種金剛石碳探針具有很大的耐久性，減少了針尖的磨損從而增加了使用壽命。

AFM探針 原子力顯微鏡探針 OLTESPA-V3