欧美……一区二区三区,欧美日韩亚洲另类视频,亚洲国产欧美日韩中字,日本一区二区三区dvd视频在线

北京亞科晨旭科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第7年

18263262536

當(dāng)前位置:> 供求商機(jī)> SOI and Direct Wafer Bond-晶圓鍵合機(jī)

SOI and Direct Wafer Bond-晶圓鍵合機(jī)
  • SOI and Direct Wafer Bond-晶圓鍵合機(jī)
舉報(bào)

貨物所在地:北京北京市

地: 奧地利

更新時(shí)間:2024-09-27 10:03:28

瀏覽次數(shù):87

在線詢價(jià)收藏商機(jī)

( 聯(lián)系我們,請(qǐng)說(shuō)明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝!)

適用于SOI,MEMS,化合物半導(dǎo)體和良好基板鍵合的低溫等離子體活化系統(tǒng); 技術(shù)數(shù)據(jù):EVG810 LT LowTemp™等離子活化系統(tǒng)是具有手動(dòng)操作的單腔獨(dú)立單元。 處理室允許進(jìn)行異位處理(晶圓被一一激活并結(jié)合在等離子體激活室外部)。

EVG 850 LT

Automated Production Bonding System for SOI and Direct Wafer Bonding

EVG 850LT   SOI和直接晶圓鍵合的自動(dòng)化生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)

自動(dòng)化生產(chǎn)鍵合系統(tǒng),適用于多種融合/分子晶圓鍵合應(yīng)用

晶圓鍵合是SOI晶圓制造工藝以及晶圓級(jí)3D集成的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。借助用于機(jī)械對(duì)準(zhǔn)SOIEVG850 LT自動(dòng)化生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)和具有LowTemp™等離子活化的直接晶圓鍵合,融合了熔合的所有基本步驟-從清潔,等離子活化和對(duì)準(zhǔn)到預(yù)鍵合和IR檢查-。因此,經(jīng)過(guò)實(shí)踐檢驗(yàn)的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)EVG850 LT確保了高達(dá)300 mm尺寸的無(wú)空隙SOI晶片的高通量,高產(chǎn)量生產(chǎn)工藝。

特征

利用EVGLowTemp™等離子激活技術(shù)進(jìn)行SOI和直接晶圓鍵合

適用于各種融合/分子晶圓鍵合應(yīng)用       ;生產(chǎn)系統(tǒng)可在高通量,高產(chǎn)量環(huán)境中運(yùn)行

盒到盒的自動(dòng)操作(錯(cuò)誤加載,SMIFFOUP);         無(wú)污染的背面處理

超音速和/或刷子清潔;                    ;   機(jī)械平整或缺口對(duì)齊的預(yù)粘合

良好的遠(yuǎn)程診斷技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑(基板尺寸)100-200、150-300毫米

全自動(dòng)盒帶到盒帶操作

預(yù)粘接室

對(duì)齊類型:平面到平面或凹口到凹口

對(duì)準(zhǔn)精度:XY:±50 µm,θ:±0.1°

結(jié)合力:zui5 N

鍵合波起始位置:從晶圓邊緣到中心靈活

真空系統(tǒng):9x10-2 mbar(標(biāo)準(zhǔn))和9x10-3 mbar(渦輪泵選件)

LowTemp™等離子激活模塊

2種標(biāo)準(zhǔn)工藝氣體:N2O2,以及2種其他工藝氣體:高純度氣體(99.999%),稀有氣體(Ar,He,Ne等)和合成氣(N2,ArH4含量zui高)

通用質(zhì)量流量控制器:zui多可對(duì)4種工藝氣體進(jìn)行自校準(zhǔn),可對(duì)配方進(jìn)行編程,流速zui高可達(dá)到20.000 sccm



會(huì)員登錄

×

請(qǐng)輸入賬號(hào)

請(qǐng)輸入密碼

=

請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標(biāo)簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~
撥打電話
在線留言
日韩精品人妻系列一区-亚洲女同性一区二区三区| 亚洲av高清一区三区三区-久久人妻夜夜做天天爽| 丝袜美腿人妻连续中出-在线观看日韩三级视频| 久久精品亚洲国产av久-国产精品视频一区二区免费| 一级特黄大片亚洲高清-国产精品视频伊人久久| 俄罗斯胖老太太黄色特级片-国产精品黑丝美腿美臀| 少妇一区二区三区粉嫩av-国产精品区久久久久久久| 两性污污视频网站在线观看-亚洲欧美日韩激情一区| 国产福利视频一区二区三区-日韩人妻中文视频精品| 91亚洲美女视频在线-熟妇人妻精品一区二区三区蜜臀| 久色高清精品在线国产-国产精品视频一区三区四区| 成人免费黄色在线网站-日韩精品一区二区三区四区在线| 日韩精品亚洲不卡一区二区-成人网在线视频精品一区二区三区| 久久久精品欧美日韩国产-欧美精品乱码视频在线| 日韩精品一区二区三区粉嫩av-欧美亚洲国产中文字幕| 国产一区二区三区四区五区麻豆-欧美一级在线视频播放| 黄片一区二区三区在线看-偷拍一区二区在线观看| 国产传媒中文字幕在线观看-午夜福利视频在线播放观看| 欧美日韩成人在线观看-久久五月婷婷免费视频| 亚洲福利视频免费观看-中文字幕日本不卡一区二区| 欧美黄色三级视频网站-国产九九热视频在线观看| 免费午夜福利在线观看-黄色日本黄色日本韩国黄色| 91精品国产影片一区二区三区-欧美精品久久久精品一区二区| 亚洲视频一区二区三区免费-国产一级黄色大片在线| 日本中文字幕永久在线人妻蜜臀-欧美一区二区的网站在线观看| 国产高清av免费在线观看-黄片毛片大全一区二区三区| 亚洲女人黄色录像一区-日韩av电影在线免费看| 国产精品成人欧美激情-黄色床上完整版高清无遮挡| 亚洲精品激情一区二区-久久成人国产欧美精品一区二区| 精品一区二区三区av在线-欧美黑人巨大精品一区二区| 日韩亚洲欧美综合在线-成人在线网站在线观看| 国产一级片久久免费看同-麻豆精品尤物一区二区青青| 黄片黄片在线免费观看-激情综合网激情五月俺也去| 亚洲精品在线观看一二三区-在线观看国产中文字幕视频| 九九热这里只有精品九九-欧美日韩人妻精品一二三| 欧美日本亚一级二级三区久久精品-日韩欧美一区二区久久婷婷| 欧美mv日韩mv视频-熟妇人妻ⅴa精品中文| 一级小黄片在线免费看-亚洲欧美午夜情伊人888| 女主播啪啪大秀免费观看-精品99午夜福利影院| 国产一区二区三区四区五区麻豆-欧美一级在线视频播放| 亚洲福利视频免费观看-中文字幕日本不卡一区二区|