PM6型精密研磨拋光系統(tǒng)是英國Logitech公司推向市場，應(yīng)用于眾多半導(dǎo)體領(lǐng)域的自動型研磨拋光系統(tǒng)。PM6投入市場后被很多專業(yè)用戶普遍應(yīng)用，受到廣泛贊譽(yù)，其中不乏從事有線電視寬帶（CATV）、光纖到戶（FTH）及互聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)等光纖產(chǎn)品及服務(wù)的供應(yīng)商。

   近年，隨著網(wǎng)絡(luò)進(jìn)一步普及寬帶市場持續(xù)增長，對核心光纖生產(chǎn)技術(shù)提出更高要求。晶圓加工處理技術(shù)作為光纖產(chǎn)品線的重要生產(chǎn)工藝，不僅需要在提高生產(chǎn)能力上不斷突破，更要在產(chǎn)品質(zhì)量上達(dá)到非常高的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。這對生產(chǎn)用戶在技術(shù)指標(biāo)、產(chǎn)能等方面提出了非常嚴(yán)苛的要求。Logitech公司推出新一代PM6型精密研磨拋光系統(tǒng)，為廣大光纖生產(chǎn)商提供的產(chǎn)品技術(shù)解決方案。

    PM6型精密研磨拋光系統(tǒng)為單個工作頭的臺式機(jī)型，加工后樣品可實(shí)現(xiàn)高度一致性，同時也能達(dá)到高標(biāo)準(zhǔn)的表面光潔度。自動化的晶圓處理方式，嚴(yán)格控制樣品加工處理結(jié)果，為達(dá)到高質(zhì)量要求的大批量生產(chǎn)帶來便利。已有生產(chǎn)商采用PM6型精密研磨拋光系統(tǒng)批量加工4” InP晶圓，樣品面型TTV＜2μm，加工過程和zui終結(jié)果均嚴(yán)格可控。