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四甲基氫氧化銨(TMAH)濃度在線監(jiān)測儀在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用介紹

閱讀:5096          發(fā)布時(shí)間:2017-3-31

四甲基氫氧化銨(TMAH)濃度在線監(jiān)測儀在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用介紹

 長沙楚一測控專業(yè)開發(fā)及生產(chǎn)四甲基氫氧化銨(TMAH)濃度在線監(jiān)測儀(檢測儀、測量儀)、四甲基氫氧化銨(TMAH)在線濃度計(jì)、TMAH在線折光儀(折射儀)、四甲基氫氧化銨濃度在線測量儀、TMAH折射儀濃度計(jì);顯影液在線濃度檢測儀,顯影液在線測定 ,在線TMAH濃度儀。

  四甲基氫氧化銨(TMAH),在電子行業(yè)中廣泛用作FT-LCD、IC正膠顯影劑、硅晶蝕刻劑、CMP過程超純清洗劑,同時(shí)也是液晶顯示器中的顯像液。隨著電子工業(yè)日新月異的發(fā)展,PCB技術(shù)也在飛速發(fā)展。作為PCB圖形成像之關(guān)鍵工序——顯影,直接影響著線路品質(zhì)及阻焊的品質(zhì),顯影的品質(zhì)要求不能有顯影不凈,不能有顯影過度,不能有掉線和綠油脫落等,顯影露銅點(diǎn)50% ~ 60%(一半顯影段)。因此顯影液濃度的控制對顯影工序起著非常重要的作用。

  例如:根據(jù)工藝要求需要將現(xiàn)存的濃度為20%的TMAH潔凈液稀釋到目標(biāo)濃度2.48%,需要在線儀表提供準(zhǔn)確TMAH濃度測量,已達(dá)到配置目標(biāo)濃度顯影液的目的。目前國內(nèi)常用采樣后分析系統(tǒng)測量TMAH的濃度,測量過程大概需要20分鐘時(shí)間,該方式不具備實(shí)時(shí)性,過程管道的濃度變化無法及時(shí)監(jiān)測到,導(dǎo)致調(diào)控滯后。為了提高生產(chǎn)量,顯影液的配對效率需要提高,縮短配比的時(shí)間,需要在線實(shí)時(shí)對TMAH的濃度進(jìn)行監(jiān)控,完善工藝控制要求。采用折光原理的TMAH在線濃度儀能夠滿足在線檢測要求,且測量精度高。
  四甲基氫氧化銨(TMAH)在線濃度計(jì)利用折光的原理測得溶液的折光率,折光率與TMAH溶液的濃度有*的對應(yīng)關(guān)系。通過換算從而得到溶液的實(shí)際濃度。這種測量原理穩(wěn)定性好,精度高,它適用于管道安裝或容器壁處的安裝,以及其它等多種安裝方式。

在四甲基氫氧化銨(TMAH)濃度計(jì)的優(yōu)點(diǎn):
 1.在線連續(xù)檢測,不再需要人工頻繁取樣實(shí)驗(yàn)室檢測,節(jié)省大量人力、財(cái)力
 2.消除人工檢測誤差,保證產(chǎn)品一致性
 3.連續(xù)測量,迅速反饋,提升產(chǎn)品質(zhì)量
 4.提高自動化程度,相關(guān)的濃度數(shù)據(jù)可通過組網(wǎng)的形式與中控室連接
 5.不受溶液氣泡、壓力影響(與密度法相比)

CY-TMAH在線濃度傳感器

產(chǎn)品型號CY-TMAH-ACY-TMAH-D
測量范圍0.0 至30.0%
分 辨 率( Brix ):0.1%   溫度:0.1°C
測量精度 ±0.1%    溫度 ±0.5°C
測量溫度 5至 100°C  (自動溫度補(bǔ)償)
環(huán)境溫度5至 40°C
輸入電源DC 24V
關(guān)鍵材質(zhì)傳感器殼體:SUS316L  
信號輸出DC4 至 20mARS-232
防護(hù)等級IP67   防塵、防濺水
zui高壓力< 1MPa
產(chǎn)品尺寸¢99X175
選 購 件*清洗組件CY-CL77
*CY-TMAH-D建議選配CY-MC濃度控制儀使用


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