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HET-1T多功能高精度二維材料顯微轉(zhuǎn)移系統(tǒng)
  • HET-1T多功能高精度二維材料顯微轉(zhuǎn)移系統(tǒng)
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更新時(shí)間:2024-08-02 09:51:44

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HET-1T多功能高精度二維材料顯微轉(zhuǎn)移系統(tǒng)

關(guān)鍵詞:二維材料,干法,濕法,范德華

適用于石墨烯,硫化鉬,黑磷等單層材料精確定點(diǎn)轉(zhuǎn)移,以及多層范德華異質(zhì)結(jié)的制備。
由于在制備多層異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)的二維半導(dǎo)體材料晶體管的過程中,需要將一層二維材料轉(zhuǎn)移到另一層二維材料上。在常規(guī)的大氣環(huán)境中進(jìn)行轉(zhuǎn)移操作時(shí),難免會(huì)遇到轉(zhuǎn)移后兩層材料中含有少量氣泡的問題;并且,某些二維材料會(huì)受到空氣中水和氧的影響,使得材料

HET-1T多功能高精度二維材料顯微轉(zhuǎn)移系統(tǒng)

關(guān)鍵詞:二維材料,干法,濕法,范德華

適用于石墨烯,硫化鉬,黑磷等單層材料精確定點(diǎn)轉(zhuǎn)移,以及多層范德華異質(zhì)結(jié)的制備。
由于在制備多層異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)的二維半導(dǎo)體材料晶體管的過程中,需要將一層二維材料轉(zhuǎn)移到另一層二維材料上。在常規(guī)的大氣環(huán)境中進(jìn)行轉(zhuǎn)移操作時(shí),難免會(huì)遇到轉(zhuǎn)移后兩層材料中含有少量氣泡的問題;并且,某些二維材料會(huì)受到空氣中水和氧的影響,使得材料本身的性能下降。兩者使得器件性能大大下降。


1. 顯微轉(zhuǎn)移操作平臺(tái):

a. 四軸可調(diào)襯底載物平臺(tái): XY方向行程 20mm,轉(zhuǎn)移對(duì)位操作精度2μm;繞z 軸手動(dòng)調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)最大±90°,測(cè)微器精細(xì)調(diào)節(jié),行程5°,調(diào)節(jié)精度0.5°左右; 繞x軸和y 軸傾斜臺(tái),調(diào)節(jié)方式手動(dòng)轉(zhuǎn)輪,臺(tái)面厚度20mm,傾斜角度±2°。

b. 襯底載物平臺(tái)加熱系統(tǒng):樣品臺(tái)加熱最高溫度為240 ℃,使用 PID 溫度控制器,溫度控制穩(wěn)定性小于±1℃(穩(wěn)定性≦±0.1℃),帶加熱開關(guān)。

c. 四軸可調(diào)載玻片移動(dòng)平臺(tái):載玻片 XYZ三軸可調(diào),80mm高穩(wěn)定性臺(tái)面,行程25mm,測(cè)微絲桿控制;Z軸為29mm直徑百刻線微分頭,便于精細(xì)升降操作;樣品送入手動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái),臺(tái)面直徑100mm,粗調(diào)旋轉(zhuǎn)范圍360°,細(xì)調(diào)旋轉(zhuǎn)范圍±5°,定位精度1~ 2°;

d. 支持真空自動(dòng)吸附樣品,確保轉(zhuǎn)移過程中目標(biāo)樣品位置精確固定;真空泵電磁閥控制,按鈕控制是否吸附樣品;真空泵:25L-35L/min 流量;

e.雙邊載玻片夾具:輔助夾具片2片,夾具片75*25*1.5mm;

f.集成控制機(jī)箱:集成機(jī)柜包括電源、顯微鏡LED控制、溫度控制、真空開關(guān)控制,工作電壓220V,最大輸出功率800W;

2. 顯微成像光路系統(tǒng):

a.  單筒顯微鏡:變倍比1:6.5,變倍范圍0.7X-4.5X,標(biāo)準(zhǔn)工作距離90mm,分辨率63-180lp/mm,95mm超長工作距離20倍物鏡,綜合最大放大倍率850~900倍;雙固定位設(shè)計(jì),高倍放大下圖像無明顯抖動(dòng)。

b. 白色LED照明:同軸照明系統(tǒng),選用高亮度單顆1W LED,色溫5500K,照明均勻;LED照明控制器90V-250V寬電壓,1W LED控制器,可調(diào)光;

c. 顯微相機(jī):1920x1080高靈敏度CMOS傳感器,30fps速度保存;支持HDMI相機(jī)直接輸出到顯示器;曝光時(shí)間0.4ms~999ms,自動(dòng)白平衡;支持WIFI數(shù)據(jù)傳輸;提供顯微相機(jī)操作軟件,支持電腦控制,可軟件測(cè)量顯微樣品尺寸及角度;工作溫度-10~ 50攝氏度。

d. 顯微觀察支架:一體式高穩(wěn)定性支架,長寬高240mm*100mm* 100mm,重量20kg,支持沿 xy方向 50mm行程,可大范圍調(diào)節(jié)顯微鏡觀察位置;

e. 顯示器:24英寸1920*1200全高清專業(yè)顯示器。




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