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SCTS-2000系型雙電測四探針測試儀
  • SCTS-2000系型雙電測四探針測試儀
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貨物所在地:北京北京市

地: 北京

更新時間:2024-08-05 08:57:56

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SCTS-2000系型雙電測四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測-改進形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。利用電流探針、電壓探針的變換,進行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高正確度,特

SCTS-2000系型雙電測式四探針測試儀

關鍵詞:雙電測,導電薄膜,導體


SCTS-2000系型雙電測式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測-改進形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。利用電流探針、電壓探針的變換,進行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高正確度,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。

一、主要特點:

1、根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;

2、也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ITO膜)或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。

3、換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。

4、由主機、選配的四探針探頭、測試臺以及PC軟件等部分組成。

     

二、基本技術(shù)參數(shù)

3.1  測量范圍

   電阻率:1×10-42×105 Ω-cm,分辨率:1×10-51×102 Ω-cm

   方  阻:5×10-42×105 Ω/□,分辨率:5×10-51×102 Ω/

   電  阻:1×10-52×105 Ω   ,分辨率:1×10-61×102 Ω

3.2  材料尺寸(由選配測試臺決定和測試方式?jīng)Q定)

   直   徑:圓測試臺直接測試方式 Φ15130mm,手持方式不限

   SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm,手持方式不限.

   長()度:測試臺直接測試方式 H100mm,    手持方式不限.

   測量方位: 軸向、徑向均可

3.3.  4-1/2 位數(shù)字電壓表:

   (1)量程: 20.00mV2000mV

   (2)誤差:±0.1%讀數(shù)±2

3.4  數(shù)控恒流源

  (1)量程:0.1μA,1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100mA,1A

  (2)誤差:±0.1%讀數(shù)±2

3.5  四探針探頭(選配其一或加配全部)

  (1)碳化鎢探針:Φ0.5mm,直線探針間距1.0mm,探針壓力: 02kg 可調(diào)

  (2)薄膜方阻探針:Φ0.7mm,直線或方形探針間距2.0mm,探針壓力: 00.6kg 可調(diào)

3.6 電源

  輸入: AC 220V±10% ,50Hz          耗:<20W

3.7 外形尺寸:

  主機  220mm(長)×245 mm(寬)×100mm(高)




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