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HTR-01 桌式4英寸快速退火爐
  • HTR-01 桌式4英寸快速退火爐
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貨物所在地:北京北京市

地: 北京

更新時(shí)間:2024-08-12 08:59:08

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HTR-01A快速退火爐系列采用紅外輻射加熱技術(shù),可實(shí)現(xiàn)1-10片樣品同時(shí)進(jìn)行,可實(shí)現(xiàn)4寸晶圓片吋樣品快速升溫和降溫,同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統(tǒng),可達(dá)到的溫場(chǎng)均勻性,對(duì)材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氮化(RTN)、快速熱氧化(RTO)及金屬合金化等研究和生產(chǎn)起到重要作用。

主要應(yīng)用領(lǐng)域:

快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RT

HTR-01 桌式4英寸快速退火爐

 

HTR-01A快速退火爐系列采用紅外輻射加熱技術(shù),可實(shí)現(xiàn)1-10片樣品同時(shí)進(jìn)行,可實(shí)現(xiàn)4寸晶圓片吋樣品快速升溫和降溫,同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統(tǒng),可達(dá)到的溫場(chǎng)均勻性,對(duì)材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氮化(RTN)、快速熱氧化(RTO)及金屬合金化等研究和生產(chǎn)起到重要作用。

主要應(yīng)用領(lǐng)域:

快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);離子注入/接觸退火;

金屬合金;

熱氧化處理;

化合物合金(砷化家、氮化物等);多晶硅退火;

太陽(yáng)能電池片退火;高溫退火;

高溫?cái)U(kuò)散。

產(chǎn)品特點(diǎn)

快速加熱和降溫: 最高可控升溫速率可達(dá)50 ℃/s,特定條件下可以達(dá)到100 ℃/s。冷壁水冷設(shè)計(jì)能夠達(dá)到較大的降溫速率,特定條件下可達(dá)30 ℃/s。

精確控溫: 采用工業(yè)級(jí)溫控器進(jìn)行PID精確控溫,目標(biāo)溫度與設(shè)定溫度曲線一致性高,可實(shí)現(xiàn)室溫至1200 ℃的溫度精確控制。

適應(yīng)多種工藝環(huán)境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理(氮?dú)?、氬氣等)。同時(shí),通過(guò)選配真空泵,可以在真空條件下進(jìn)行退火,最高真空度可達(dá)10-5Pa。

配備觀察窗口: 通過(guò)觀察窗口,可以實(shí)時(shí)觀察熱處理過(guò)程中的樣品變化。同時(shí),可以結(jié)合相關(guān)測(cè)試方法進(jìn)行原位測(cè)試分析。

超高安全系數(shù): 采用爐壁超溫報(bào)警系統(tǒng)和冷卻水流量報(bào)警系統(tǒng),保障儀器使用安全。

售后服務(wù):,能快速反應(yīng)客戶售后需求。



最大樣品尺寸

4英寸(直徑20mm)

控溫范圍

RT~1200

升溫速率(max)

50℃/s

高溫段降溫速率(max)

600℃/min

溫度均勻性

≦1%

控溫精度

±0.1℃

氣體流量

標(biāo)配1路,可擴(kuò)展至多路

放樣管徑

Ф210mm*320mm

放樣數(shù)量

         4-10個(gè)

真空度

  真空度可以達(dá)到10-5

   控制方式

支持真空、氧化、還原、惰性氣體等工藝氣氛,也可設(shè)置通過(guò)軟件控制真空及通氣時(shí)間




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