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貨物所在地：北京
更新時(shí)間：2023-12-15 10:54:51
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JKZC-DH系列綜合型探針臺(tái)
|產(chǎn)品概要
JKZC-DH系列探針臺(tái)是一款綜合型晶圓測(cè)試探針臺(tái)，最大可完成12英寸晶圓的電學(xué)測(cè)試。此系列探針臺(tái)設(shè)備配 置十分豐富，不僅具備龍門架結(jié)構(gòu)和卡盤的升降功能，還具備卡盤快速移動(dòng)技術(shù)，可快速定位 樣品位置,提高測(cè)試效率。另外針座平臺(tái)具備三段式升降功能,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到 快速分離，同時(shí)也方便探針卡的使用。此設(shè)備在大型實(shí)驗(yàn)室或者半導(dǎo)體工廠得到廣泛運(yùn)用，配合對(duì)應(yīng)的儀器儀表，可以完成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測(cè)試/管芯晶圓/LED/LC- D/太陽能電池行業(yè)的測(cè)試。此系列探針臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)1μm以上的Pad電極測(cè)試,也可以實(shí)現(xiàn)搭載探針卡的測(cè) 試。
|技術(shù)特點(diǎn)
•卡盤可360度快速移動(dòng)，便于快速定位樣品位置,提高測(cè)試效率；
•三段式可升降探針座平臺(tái)，在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離；
•加厚級(jí)剛性金屬框架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),內(nèi)部防震技術(shù)，結(jié)構(gòu)性能穩(wěn)定。
詳細(xì)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) 技術(shù)參數(shù) | JKZC-DH6 | JKZC-DH8 | JKZC-DH12 | |
探針臺(tái)本體 | 主體材料 | 航空鋁 | 航空鋁 | 航空鋁 |
整機(jī)尺寸（mm） | 750L*550W*680H | 800L*580W*680H | 930L*700W*680H | |
重? | 75kg | 95kg | 150kg | |
卡盤大小 | 6" ,360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) | 8",360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) | 12；360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) | |
卡盤XY軸行程 | 6"6",精度 10um | 8"*8"，精度 10um | 12"*12"3m 度 10um | |
卡盤Z軸行程 | 快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm,精度1微米 | |||
卡盤材質(zhì) | 不銹鋼鍍金，具備更小的接觸電阻 | |||
卡盤氣浮移動(dòng)范圍 | 360度快速移動(dòng)，便于快速定位，提高測(cè)試效率 | |||
卡盤吸附方式 | 真空吸附，可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附（適用于薄片） | |||
背電極測(cè)試功能 | 卡盤鍍金，電學(xué)獨(dú)立懸空，帶2個(gè)4mm香蕉頭插口，具備背電極功能 | |||
其它功能 | 帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護(hù)，可升級(jí) | |||
針座平臺(tái) | 材質(zhì) | U型平臺(tái)，Q235鍍銀，帶接地端子 | ||
大小 | 最多可放置6個(gè)探針座 | 最多可放置8個(gè)探針座 最多可放置12個(gè)探針座 | ||
三段式升降平臺(tái) | 探針平臺(tái)可以快速升降，擁有5mm和300um兩檔，探針平臺(tái)可以上下微調(diào)， 行程25mm,升降精度gm。（使用探針卡的時(shí)候使用） | |||
顯TH系統(tǒng) | 顯微鏡類型 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng) | ||
倍率范圍 | 16X~200X/40X~280X/20X~4000X | |||
顯微鏡行程 | 具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu),XYZ行程分別為2英寸*2英寸*2英寸，精度lum | |||
CCD成像系統(tǒng) | 2k或者4K相機(jī)，幀率60fps,帶拍照/錄像/測(cè)量功能等功能 | |||
探針座 | 種類 | 絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟(jì)型探針座 | ||
X￥Z行程 | 12.5mm-12.5mm-12.5mm | |||
機(jī)械精度 | 0.5um/0.7um/2um | |||
夾具 | 漏電精度 | 同軸夾具10pA/H軸夾具lOOfA | ||
接口形式 | 同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口 | |||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率/半自動(dòng) | ||
電力需求 | 220W50HZ | |||
搭配產(chǎn)品/半導(dǎo)體參數(shù)分析儀
我們經(jīng)過近10年的發(fā)展,在測(cè)試儀器與探針臺(tái)的搭配方面具備十分 豐富的經(jīng)驗(yàn)。半導(dǎo)體參數(shù)分析儀方面，我們和是德科技(Keysight)、泰克(Tektronix)、概倫電子(PRIMARIUS)等公司的半導(dǎo)體參數(shù)分析儀有過多次搭配經(jīng)驗(yàn)，系列型號(hào)有Keysight B1500A、Keith ley 4200A-SCS、PRIMARIUS FS-Pro等,并為用戶提供半導(dǎo)體參數(shù)分析 儀與探針臺(tái)集成測(cè)試方案和服務(wù)。
搭配產(chǎn)品/矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀
依靠與儀器設(shè)備廠商和設(shè)備集成經(jīng)銷商所保持良好的合作關(guān)系，我司可為用戶提供是德科技(Keysight)、中電思儀(Ceyear)等公司的網(wǎng)絡(luò)分析儀和模塊，有Keysight E5063A/E5072A/E5061B/E5080B ENA、Keysight(N522x/3x/4xB) PNA、Keysight N5290A/ N5291A、Ceyear 3762A/B/C-S、Ceyear 3671C/D/E等,各系列型號(hào)的矢量網(wǎng)絡(luò) 分析儀和毫米波網(wǎng)絡(luò)分析儀，涵蓋不同測(cè)量頻率范圍、性能和功能，并 為用戶提供網(wǎng)絡(luò)分析儀與探針臺(tái)集成測(cè)試方案和服務(wù),具備豐富的測(cè) 試經(jīng)驗(yàn)。
搭配產(chǎn)品/其他類型源表
在其它類型源表方面，比如tek2450,tek2600,keysight2900,普賽斯S300,鐵電分析儀，各類示波器，各類電源，頻譜儀等等都有多年的搭配經(jīng)驗(yàn)。
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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