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貨物所在地：北京北京市
更新時間：2023-12-15 14:16:34
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JKZC-DCHH系列高低溫真空探針臺
產(chǎn)品概要
JKZC-DCHH系列高低溫真空探針臺是我司自主研發(fā)的一款在環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號的設(shè)備。可以實(shí)現(xiàn) 器件及材料表征的IV/CV特性測試，射頻測試，光電測試等。通過液氮或者壓縮機(jī)制冷，可以在防輻射屏內(nèi)營造一個穩(wěn)定的測試環(huán)境。在特殊材料，半導(dǎo)體器件等研究方向具有廣泛運(yùn)用。
極低溫測試:因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程 泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
高溫?zé)o氧化測試:當(dāng)晶圓加熱至300°C,400°C,500°C甚至更高溫度時，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越 高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
技術(shù)特點(diǎn)
-防輻射屏和熱沉設(shè)計；
•降溫速度快，常溫降至77k<25mins,大大提高測試效率；
•液氮自動控制系統(tǒng)，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動共同控制溫度。
詳細(xì)參數(shù)
產(chǎn)品類型 | 低溫開循環(huán) | 低溫閉循環(huán) | |
主體材料 | 航空鋁 | 航空鋁 | |
型號 | JKZC-JKZC-DCHH-196k | JKZC-JKZC-DCHH4k | |
外形 | 850*850*600mm | 900*850*600mm | |
重? | 約100kg | 約150kg | |
電力需求 | AC220V,50?60HZ | AC380V,50~60HZ | |
腔體 | 腔體尺寸 | 8英寸，帶4英寸高紅外透射率觀察窗 | |
樣品臺尺寸 | 2英寸/4英寸（鍍金） | 2英寸（鍍金） | |
樣品固定方式 | 真空導(dǎo)熱硅脂/彈簧壓片 | ||
真空度 | 10A-5pa最高真空 | ||
接口形式 | 電信接口，真空接口，光纖接口，冷源接口等 | ||
其它 | 帶防輻射屏和熱沉設(shè)計 | ||
溫控系統(tǒng) | 制冷方式 | 液氮 | 壓縮機(jī) |
溫控范圍 | 77K-473K （973k可選） | 4.2K~450K | |
溫控精度和穩(wěn)定性 | 土 0丄度/±0丄度 | ||
降溫速度 | 常溫降到77k優(yōu)于25mins | 常溫降到：10k優(yōu)于180mins | |
控制方式 | 液氮自動流量控制 | 壓縮機(jī)控制 | |
光學(xué)系統(tǒng) | 顯微鏡類型 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng) | 體式/單筒顯微鏡+CCD成像系統(tǒng) |
倍率范圍 | 16X~200X/40X~280X/20X ?2000X | 16X-200X/40X-280X | |
移動范圍 | 水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm調(diào)焦，帶萬向支架 | ||
真空腔觀察窗尺寸 | 4inch | 4inch | |
CCD像素 | 2k或者4K相機(jī)，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能 | ||
探針臂 | 探針臂數(shù)? | 最多6個 | |
X￥Z行程 | 50mm-25mm-25mm | ||
點(diǎn)針精度 | 10微米/2微米 | ||
漏電精度 | 同軸夾具10pA/三軸夾具100 fA | ||
接口形式 | 三軸/SMA/K/光纖接口 | ||
頻率范圍 | JKZC-DCH-67G | ||
探針 | 探針直接 | lum~100um 可選 | |
材質(zhì) | 磚鋼，披銅 | ||
真空系統(tǒng) | 機(jī)械泵/分子泵組/離子泵 | ||
可選附件 | 防震桌，鍍金卡盤，氣敏測試組件等 | ||
應(yīng)用方向 | 高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運(yùn)特性等 | ||
搭配產(chǎn)品/半導(dǎo)體參數(shù)分析儀
我們經(jīng)過近10年的發(fā)展,在測試儀器與探針臺的搭配方面具備十分 豐富的經(jīng)驗(yàn)。半導(dǎo)體參數(shù)分析儀方面，我們和是德科技(Keysight)、泰克(Tektronix)、概倫電子(PRIMARIUS)等公司的半導(dǎo)體參數(shù)分析儀有過多次搭配經(jīng)驗(yàn)，系列型號有Keysight B1500A、Keith ley 4200A-SCS、PRIMARIUS FS-Pro等,并為用戶提供半導(dǎo)體參數(shù)分析 儀與探針臺集成測試方案和服務(wù)。
搭配產(chǎn)品/矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀
依靠與儀器設(shè)備廠商和設(shè)備集成經(jīng)銷商所保持良好的合作關(guān)系，我司可為用戶提供是德科技(Keysight)、中電思儀(Ceyear)等公司的網(wǎng)絡(luò)分析儀和模塊，有Keysight E5063A/E5072A/E5061B/E5080B ENA、Keysight(N522x/3x/4xB) PNA、Keysight N5290A/ N5291A、Ceyear 3762A/B/C-S、Ceyear 3671C/D/E等,各系列型號的矢量網(wǎng)絡(luò) 分析儀和毫米波網(wǎng)絡(luò)分析儀，涵蓋不同測量頻率范圍、性能和功能，并 為用戶提供網(wǎng)絡(luò)分析儀與探針臺集成測試方案和服務(wù),具備豐富的測 試經(jīng)驗(yàn)。
搭配產(chǎn)品/其他類型源表
在其它類型源表方面，比如tek2450,tek2600,keysight2900,普賽斯S300,鐵電分析儀，各類示波器，各類電源，頻譜儀等等都有多年的搭配經(jīng)驗(yàn)。
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