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RTS-4A型全自動掃描四探針測試系統(tǒng)
關鍵詞：全自動四探針，2D,3D，多點掃描, 電阻率, 方塊電阻
可對樣品進行 49 點、81 點、中心 1 點、中心 10 點、中心半徑 5 點、中心邊緣 5 點、中心半徑邊緣 9 點、直徑掃描等測試；統(tǒng)計分析測試數(shù)據生成 2D 和 3D 的 map 圖； 屏蔽測試，消除光對樣品測試的影響，保證測量的準確性；真空吸附防止全自動測試過程中樣品移動對測試的影響；
一體化嵌入式設計，觸控電腦屏幕操作，手指點點就可以完成操作
PRTS-4A全自動掃描四探針測試系統(tǒng)是運用四探針測量原理的多用途綜合全自動測量設備。該設備按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用設備。通過全自動測試系統(tǒng)，對晶圓片進行電阻率和方塊電阻分布的測量，繪制出等值線圖后，從而直接觀察到整個晶圓片的電阻率或方塊電阻大小的分布。
PRTS-4A全自動掃描四探針測試系統(tǒng)通過采用四探針雙位組合測量技術，將范德堡測量方法推廣應用到直線四探針上。利用電流探針和電壓探針的組合變換，進行兩次電測量，其最后計算結果能自動消除由樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素所引起的，對測量結果的不利影響。因而在測試過程中，在滿足基本條件下可以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置等因素。這種動態(tài)地對以上不利因素的自動修正，顯著降低了其對測試結果的影響，從而提高了測量結果的準確度。
PRTS-4A全自動掃描四探針測試系統(tǒng)擁有友好操作測試界面，通過此測試程序輔助用戶簡便地進行各項測試操作，把采集到的測試數(shù)據進行數(shù)學分析，然后把測試數(shù)據以Excel表格，2D、3D等數(shù)值圖直觀地記錄、顯示出來。方便用戶對數(shù)據進行各種數(shù)據分析，用戶可對采集到的數(shù)據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，
產品應用
● 半導體及太陽能電池(單晶硅、多晶硅、鈣鈦礦)
● 液晶面板(ITO/AZO)
● 功能材料(熱電材料、碳納米管、石墨烯、銀納米線、導電纖維布)
● 半導體工藝(金屬層/離子注入/擴散層)、非晶合金
主要技術指標 ：
測量范圍 | 電阻率：10-5～105 ?.cm； 方塊電阻：10-4～106 ?/□； |
可測晶片尺寸 | 2 英寸～15 英寸；（太陽能電池片≤210mm*210mm） |
恒流源 | 電流量程分為 1µA、10µA、100µA、1mA、10mA、100mA 六檔。 |
采樣電壓范圍 | 量程：000.00～199.99mV；（低阻擴展時，量程：00.000～19.999mV） 分辨力：10μV；（低阻擴展時，分辨力：1μV）輸入阻抗：＞1000MΩ；精度：±0.1%； |
四探針探頭基本指標 | 間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000M?； 機械游移率：≤0.3％； 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力)； |
模擬電阻測量相對 | 0.01?、0.1?、1?、10?、100?、1000?、10000?≤0.2％ |
整機測量最大相對 | （用硅標樣片:0.003-500Ω.cm 測試）≤±3%（23℃） |
重復性 | ≤±0.5% |
最小去邊距離 | 3mm |
自動測試選點方式 | 49 點、81 點、中心 1 點、中心 10 點、中心半徑 5 點、中心邊緣 5 點、中心半徑邊緣 9 點、直徑掃描。 |
測試數(shù)據處理 | 以Excel格式文件表格記錄測試數(shù)據，并生成2D、3D的 map 圖。用戶可對采集的數(shù)據在 Excel 中進行進一步的各種數(shù)據統(tǒng)計分析。 |
屏蔽和吸附測試 | 對樣品進行屏蔽和真空吸附測試，消除光和全自動測試過程中樣品移動對樣品測試的影響，保證測量的準確性。 |
外形尺寸 | 550mm×455mm×400mm（深×寬×高） |
標準使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65％；無高頻干擾； |
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