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RTS-4A型全自動掃描四探針測試系統(tǒng)
  • RTS-4A型全自動掃描四探針測試系統(tǒng)
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貨物所在地:北京北京市

地: 北京

更新時間:2024-03-22 09:12:29

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PRTS-4A全自動掃描四探針測試系統(tǒng)通過采用四探針雙位組合測量技術,將范德堡測量方法推廣應用到直線四探針上。利用電流探針和電壓探針的組合變換,進行兩次電測量,其最后計算結果能自動消除由樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素所引起的,對測量結果的不利影響。因而在測試過程中,在滿足基本條件下可以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置等因素。這種動態(tài)地對以上不利因素的自動修正,

RTS-4A型全自動掃描四探針測試系統(tǒng)

關鍵詞:全自動四探針,2D,3D,多點掃描, 電阻率, 方塊電阻

可對樣品進行 49 點、81 點、中心 1 點、中心 10 點、中心半徑 5 點、中心邊緣 5 點、中心半徑邊緣 9 點、直徑掃描等測試;統(tǒng)計分析測試數(shù)據生成 2D 和 3D 的 map 圖; 屏蔽測試,消除光對樣品測試的影響,保證測量的準確性;真空吸附防止全自動測試過程中樣品移動對測試的影響;

一體化嵌入式設計,觸控電腦屏幕操作,手指點點就可以完成操作

PRTS-4A全自動掃描四探針測試系統(tǒng)是運用四探針測量原理的多用途綜合全自動測量設備。該設備按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的,專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用設備。通過全自動測試系統(tǒng),對晶圓片進行電阻率和方塊電阻分布的測量,繪制出等值線圖后,從而直接觀察到整個晶圓片的電阻率或方塊電阻大小的分布。

PRTS-4A全自動掃描四探針測試系統(tǒng)通過采用四探針雙位組合測量技術,將范德堡測量方法推廣應用到直線四探針上。利用電流探針和電壓探針的組合變換,進行兩次電測量,其最后計算結果能自動消除由樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素所引起的,對測量結果的不利影響。因而在測試過程中,在滿足基本條件下可以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置等因素。這種動態(tài)地對以上不利因素的自動修正,顯著降低了其對測試結果的影響,從而提高了測量結果的準確度。

PRTS-4A全自動掃描四探針測試系統(tǒng)擁有友好操作測試界面,通過此測試程序輔助用戶簡便地進行各項測試操作,把采集到的測試數(shù)據進行數(shù)學分析,然后把測試數(shù)據以Excel表格,2D、3D等數(shù)值圖直觀地記錄、顯示出來。方便用戶對數(shù)據進行各種數(shù)據分析,用戶可對采集到的數(shù)據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,  

產品應用

● 半導體及太陽能電池(單晶硅、多晶硅、鈣鈦礦)

● 液晶面板(ITO/AZO)

● 功能材料(熱電材料、碳納米管、石墨烯、銀納米線、導電纖維布)

● 半導體工藝(金屬層/離子注入/擴散層)、非晶合金

全自動四探針軟件測試系統(tǒng)

主要技術指標

測量范圍

電阻率:10-5105 ?.cm  方塊電阻:10-4106 ?/□;  

可測晶片尺寸

2 英寸~15 英寸;(太陽能電池片≤210mm*210mm

恒流源

電流量程分為 1µA、10µA、100µA、1mA、10mA、100mA 六檔。

采樣電壓范圍

量程:000.00199.99mV;(低阻擴展時,量程:00.00019.999mV

分辨力:10μV;(低阻擴展時,分辨力:1μV)輸入阻抗:>1000MΩ;精度:±0.1%;

四探針探頭基本指標

間距:1±0.01mm;針間絕緣電阻:≥1000M? 機械游移率:≤0.3%;  探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;探針壓力:516 牛頓(總力);

模擬電阻測量相對

0.01?、0.1?、1?10?、100?1000?、10000?0.2

整機測量最大相對

(用硅標樣片:0.003-500Ω.cm 測試)≤±3%23℃)

重復性

≤±0.5%

最小去邊距離

3mm

自動測試選點方式

49 點、81 點、中心 1 點、中心 10 點、中心半徑 5 點、中心邊緣 5 點、中心半徑邊緣 9 點、直徑掃描。

測試數(shù)據處理

以Excel格式文件表格記錄測試數(shù)據,并生成2D、3D的 map 圖。用戶可對采集的數(shù)據在 Excel 中進行進一步的各種數(shù)據統(tǒng)計分析。

屏蔽和吸附測試

對樣品進行屏蔽和真空吸附測試,消除光和全自動測試過程中樣品移動對樣品測試的影響,保證測量的準確性。

外形尺寸

550mm×455mm×400mm(深×寬×高)

標準使用環(huán)境

溫度:23±2℃; 相對濕度:≤65%;無高頻干擾;



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