潔凈室檢測(cè)內(nèi)容
潔凈室檢測(cè)-光照度測(cè)試
一、測(cè)前準(zhǔn)備
1.潔凈室所有開(kāi)孔皆需封閉氣密處理完成
2.測(cè)試前空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已完成測(cè)試、調(diào)整、平衡,并已連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)24小時(shí)以上。 3.潔凈室環(huán)境需清潔完成
二、測(cè)試目的
此檢測(cè)動(dòng)作在于確認(rèn)無(wú)塵室照明系統(tǒng)是否有達(dá)到設(shè)計(jì)要求。
三、測(cè)試儀器
照度儀
四、測(cè)試步驟
1.無(wú)塵室光源至少使用100小時(shí)以上,測(cè)試前需點(diǎn)亮2小時(shí)以上。
2.確認(rèn)測(cè)試點(diǎn)及配置圖編號(hào)。
3.將照度儀固定置于距離地板上1.2m高度,待數(shù)值穩(wěn)定后量測(cè)10秒記錄
溫濕度檢測(cè)
一、說(shuō)明
溫濕度測(cè)量的目的是確認(rèn)室內(nèi)之溫濕度控制在范圍之內(nèi),溫濕度對(duì)微??刂茮](méi)有甚么影響,因此溫濕度測(cè)試屬于第三級(jí)測(cè)試( Level 3 )。但是因無(wú)塵室多半同時(shí)也是環(huán)控室,所以溫濕度常常就一并測(cè)量了。溫濕度測(cè)量又分為一般測(cè)量和進(jìn)階測(cè)量( General Tests and Comprehensive Tests ),一般測(cè)量只是測(cè)量溫濕度在測(cè)量點(diǎn)的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)(單一測(cè)數(shù)據(jù)),適用在對(duì)溫濕度要求不高的場(chǎng)所。進(jìn)階測(cè)量就要紀(jì)錄在測(cè)量點(diǎn)一段長(zhǎng)時(shí)間的溫濕度,目的是要觀察溫濕度隨時(shí)間的變化情形,以確認(rèn)濕度在控制之下。進(jìn)階測(cè)量適用在對(duì)溫濕度要求比較高的場(chǎng)所。
二、測(cè)試儀器:
常見(jiàn)的溫濕度儀器是電子式溫度計(jì)與鏡面冷凝光學(xué)式濕度計(jì),一般測(cè)量和進(jìn)階測(cè)量使用儀器的精度相同,溫度測(cè)量范圍是 0-100 ℃ ,準(zhǔn)確度是 ±0.2 ℃ 。濕度測(cè)量范圍是 10 ﹪ 到 95 ﹪ ,準(zhǔn)確度是 ±2 ﹪ 。一般測(cè)量要求溫度之顯示值可顯示 0.1 ℃ 的變化,濕度的顯示值可顯示 1 ﹪ 的變化。進(jìn)階測(cè)量則要求溫度之顯示值可顯示 0.05 ℃ 的變化,濕的顯示值可顯示 0.1 ﹪ 的變化。檢測(cè)儀器需校正合格且仍在有效期限內(nèi)者,于測(cè)試前或交附報(bào)告時(shí)均須檢附合格之校正文件。
三、測(cè)試程序
1.確認(rèn)空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)安裝完成,并已完成測(cè)試、調(diào)整、平衡??照{(diào)系統(tǒng)測(cè)試、調(diào)整、平衡可以平衡風(fēng)量和水量,使其達(dá)到設(shè)計(jì)要求,為溫濕控制提供正確的運(yùn)轉(zhuǎn)環(huán)境,因此系統(tǒng)要先平衡才能測(cè)試。
2.依據(jù)平面圖,列出各種溫濕度要求區(qū)域,并使系統(tǒng)達(dá)到正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀況,系統(tǒng)應(yīng)在溫濕度自動(dòng)控制之下,至少運(yùn)轉(zhuǎn) 24 小時(shí)以上。
3.測(cè)試點(diǎn)數(shù)為每個(gè)房間至少量一點(diǎn),并且每個(gè)溫濕度控制區(qū)至少量一點(diǎn),例如每個(gè) Dry Coil 的控制范圍要量一點(diǎn),測(cè)量高度為 ( 高架 ) 地板上 1.00m 。
4.將溫濕度傳感器放置同一位置,待穩(wěn)定后開(kāi)始記錄。
靜電測(cè)試內(nèi)容:
- ◆泄漏電阻
- ◆系統(tǒng)接地電阻
- ◆體積電阻
- ◆表面電阻
- ◆系統(tǒng)電阻
依據(jù)規(guī)范:
- ◆GB50591-2010 《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》
- ◆GB/T25915-2010 《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》
- ◆ISO 14644_2006 Cleanrooms and associated controlled environments
超純水測(cè)試
大灣在純水方面提供的測(cè)試服務(wù)范圍為:
- ◆TOC(總有機(jī)碳)
- ◆電阻率
- ◆溶解氧(DO)
- ◆細(xì)菌測(cè)試
- ◆溶解SiO2
- ◆顆粒測(cè)試 (潔凈度測(cè)試)
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