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離子濺射儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號 TT-29-LZ-Ⅱ
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 北京市
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更新時間:2017-04-21 15:27:50瀏覽次數(shù):1545

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產(chǎn)品簡介

北京精測電子研發(fā)生產(chǎn)的離子濺射儀,人性化設(shè)計,整體性好,單片機控制,操作方便簡潔等特點。質(zhì)量保證,價格經(jīng)濟。

詳細介紹

離子濺射儀

 

產(chǎn)品介紹:

TT-29-LZ-Ⅱ離子濺射儀是一種小型鍍膜裝置,可用作掃描電鏡、電子探針等儀器進行試樣制備,是開展教學(xué)科研實驗的*儀器。

鍍膜原理與結(jié)構(gòu):

TT-29-LZ-Ⅱ鍍膜基本原理是基于荷能正離子轟擊靶電極產(chǎn)生濺射現(xiàn)象,靶被濺射出來的中性原子沉淀于基臺上樣品表面成膜,形成導(dǎo)電層。

為二極結(jié)構(gòu),以基臺和樣品架為正電極與儀器外殼相連并接地,濺射靶電極為負電極(加負高壓),它們被安裝在玻璃罩的真空腔內(nèi),當(dāng)腔內(nèi)達到一定真空度,在負高壓的作用下發(fā)生輝光放電產(chǎn)生等離子體,其中正離子在電場加速下,獲得足夠能量轟擊負電極上的靶面,靶面被濺射原子沉淀于基臺的樣品表面形成導(dǎo)電膜,以供上述儀器分析。

技術(shù)參數(shù):

1、型號:TT-29-LZ-Ⅱ

1、真空腔:¢150×12   硼酸硅質(zhì)玻璃

2、濺射靶尺寸:¢55×0.3

3、基臺:   ¢50  6-8個樣品

4、極間距調(diào)節(jié)范圍20-40mm

5、濺射電壓:  -2000V-0  DC連續(xù)可調(diào)

  濺射電流0-30 mA

6、定時器:0-99分數(shù)字顯示

7、真空測量:1×105-1.0×10-1pa  數(shù)字顯示,單片機控制,數(shù)字顯示,具有真空保護鎖設(shè)置。

8、控制系統(tǒng):單片機控制,完成真空自動測量、顯示、定時器倒計時功能以及自動完成鍍膜程序。

9、真空泵:2L/S二級旋片式直聯(lián)機械泵,極限真空度6×10-1pa

10、充氣閥:金屬微調(diào)針型閥   保護氣體  99.9%純度氬氣(推薦)

11、外形尺寸:長354mm ×高216mm ×深340mm

12、電源:AC 220V  50HZ

特點:

1、人性化設(shè)計,整體性好;

2、單片機控制,操作方便簡潔;

3、用戶可根據(jù)實驗需要自由設(shè)置濺射操作的工藝參數(shù),使用靈活、方便;

4、儀器有真空鎖保護設(shè)置,使儀器可靠性安全性好;

 

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