上海申思特自動化設(shè)備有限公司
主營產(chǎn)品: 美國E E傳感器,美國E E減壓閥,意大利ATOS阿托斯油缸,丹麥GRAS麥克風(fēng),丹麥GRAS人工頭, ASCO電磁閥,IFM易福門傳感器 |
聯(lián)系電話
上海申思特自動化設(shè)備有限公司
主營產(chǎn)品: 美國E E傳感器,美國E E減壓閥,意大利ATOS阿托斯油缸,丹麥GRAS麥克風(fēng),丹麥GRAS人工頭, ASCO電磁閥,IFM易福門傳感器 |
聯(lián)系電話
參考價 | 面議 |
更新時間:2016-11-21 12:01:03瀏覽次數(shù):903
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器及其驅(qū)動控制
壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器微定位技術(shù)具有許多其它微定位技術(shù)*的優(yōu)點,從而獲得了廣泛的應(yīng)用。將壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器用于驅(qū)動工作臺,為提高壓電微動工作臺的動靜態(tài)性能,進行了如下的相關(guān)研究。在系統(tǒng)分析電致伸縮效應(yīng)、逆壓電效應(yīng)和鐵電效應(yīng)位移機理及對位移貢獻的基礎(chǔ)上,基于電疇轉(zhuǎn)向與轉(zhuǎn)向不*立即可逆的觀點,深入分析了壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器遲滯非線性的成因,表明非180°電疇轉(zhuǎn)向與轉(zhuǎn)向的不*立即可逆,分別是造成壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器非線性和遲滯的根本原因。
壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器及其驅(qū)動控制
通過實驗研究了壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器在不同情況下的遲滯非線性。實驗結(jié)果表明:隨著驅(qū)動電壓幅值的增大,壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器的遲滯和非線性增大;隨著驅(qū)動電壓頻率的增大,壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器的遲滯和非線性僅略微增大;隨著驅(qū)動循環(huán)次數(shù)的增加,壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器的遲滯和非線性逐漸減小?;趬弘娞沾蒀AMOZZI執(zhí)行器位移-電壓曲線各升程之間、各回程之間的相似性,采用坐標(biāo)變換的方法,建立了一種新的簡單實用的壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器的遲滯非線性模型。在模型的實現(xiàn)過程中,為了避免求解病態(tài)方程組,采用基函數(shù)為正交多項式的zui小二乘法來擬合壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器的遲滯非線性模型。實驗結(jié)果表明:在不同的電壓驅(qū)動過程、不同的驅(qū)動電壓頻率以及不同的驅(qū)動循環(huán)次數(shù)下,模型均能夠很好地跟蹤實測值。從基本壓電方程出發(fā),推導(dǎo)出壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器中晶片上的自由電荷中包含CAMOZZI執(zhí)行器的位移信息,進而提出一種新的基于積分器電路的壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器位移自感知的方法。該方法使得電路的調(diào)節(jié)和感知信號的獲取變得容易,很好地克服了基于電橋電路的自感知方法的不足。實驗結(jié)果表明,在不同的驅(qū)動電壓波形、不同的驅(qū)動電壓頻率下,基于積分器的自感知壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器均能夠很好地檢測出CAMOZZI執(zhí)行器的位移信號。在準(zhǔn)靜態(tài)或低頻情況下,對壓電微動工作臺進行了動力學(xué)分析,得出它為電學(xué)上的一階慣性環(huán)節(jié)和機械上的二階振蕩環(huán)節(jié)的串聯(lián)。進而給出了提高壓電微動工作臺響應(yīng)速度的途徑,即:一方面,應(yīng)在不引起壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器擊穿的情況下,盡量減小電源內(nèi)電阻的阻值;另一方面,應(yīng)在保證剛度的情況下減小工作臺運動部分的質(zhì)量,以及在保證zui大期望輸出位移的情況下增大柔性鉸鏈的剛度。分析了預(yù)緊力對壓電微動工作臺剛度、固有頻率以及輸出位移的影響。為使壓電微動工作臺具有良好的動靜態(tài)性能,應(yīng)根據(jù)實驗來確定合理的預(yù)緊力。推導(dǎo)出壓電微動工作臺的遲滯非線性模型同壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器空載時的遲滯非線性模型具有相同的形式,但其輸出位移相對于壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器空載時的輸出位移按一定的比例縮人連理工人學(xué)基于鋼球沖擊法測試了壓電微動工作臺X向和Y向的固有頻率,測試結(jié)果表明:壓電微動工作臺雙向的固有頻率均高于IkHz。
壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器及其驅(qū)動控制
為有效地減小積分飽和并降低對擾動的敏感性,使壓電微動工作臺在控制系統(tǒng)的作用下,響應(yīng)快,超調(diào)小,穩(wěn)態(tài)精度高,構(gòu)造了一種帶有遲滯非線性模型前饋補償?shù)娜醴e分與加權(quán)微分PID控制算法。給出了PID控制器的整定方法及采樣周期的確定原則。由于自感知方式具有許多獨立傳感器測量方式所*的優(yōu)點,所以在采用壓電陶瓷CAMOZZI執(zhí)行器對工作臺進行驅(qū)動時,控制系統(tǒng)中反饋方式采用基于積分器的自感知反饋方式。實驗結(jié)果表明:具有前饋補償?shù)娜醴e分與加權(quán)微分PID自感知反饋控制,具有良好的控制性能。