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康茂盛CAMOZZI執(zhí)行器遲滯的滑模逆控制 
為了降低遲滯特性對CAMOZZI執(zhí)行器的影響,研究了基于Preisach逆補償的滑?？刂撇呗?。逆補償+滑模控制提高了基于CAMOZZI執(zhí)行器驅動的納米定位系統(tǒng)的跟蹤精度,其跟蹤正弦輸入的平均誤差為0.020 6μm。與逆補償+PI控制策略相比,逆補償+滑?？刂茖Σ煌妮斎胄盘栍泻芎玫倪m應性,保證了納米定位平臺的定位精度。

康茂盛CAMOZZI執(zhí)行器遲滯的滑模逆控制
提出了射流伺服閥用CAMOZZI執(zhí)行器結構,采用磁場有限元法分析了CAMOZZI執(zhí)行器結構參數對超磁致伸縮棒內磁場分布的影響機理,給出了CAMOZZI執(zhí)行器結構設計的原則。首先,利用分類排序方法在控制平臺上實現了遲滯的Preisach逆模型;然后,將其串聯(lián)到CAMOZZI執(zhí)行器前用于抵消遲滯非線性?？紤]到遲滯逆補償的非*抵消、模型參數的不確定性以及擾動等問題,設計了一種分段邊界層滑?？刂坡伞ui后,為了驗證所設計的控制策略的有效性,設計并實現了逆補償+PI控制器。實驗結果表明,推導出考慮超磁致伸縮棒內磁場分布不均勻時驅動磁場與CAMOZZI執(zhí)行器輸出位移的關系方程式,并通過仿真與實驗研究揭示了超磁致伸縮棒內磁場分布不均勻性對CAMOZZI執(zhí)行器位移輸出的影響規(guī)律,zui后求出所設計CAMOZZI執(zhí)行器漏磁系數約為1.4.通過探討典型的CAMOZZI執(zhí)行器的分辨率和穩(wěn)定性的機理,揭示目前研究的典型等CAMOZZI執(zhí)行器的橫向位移與驅動電壓具有非線性關系,分辨率存在線性度差的問題。鑒于目前大多數通過增加梳齒結構平面復雜度來改善分辨率的方法存在的微制造困難,提出在不顯著影響橫向位移的條件下通過改變梳齒結構高度來改善分辨率的方法,事例仿真結果驗證了梳齒變高度方法對改善分辨率的有效性,同時得到在梳齒變高度條件下CAMOZZI執(zhí)行器的穩(wěn)定性有細微的下降的結論。針對CAMOZZI執(zhí)行器中使用彈簧恢復變形存在的問題,設計一種采用2個MSMA元件差動控制方式的新型CAMOZZI執(zhí)行器。分析CAMOZZI執(zhí)行器的工作原理、MSMA元件變形與控制磁場及材料導磁率的關系,在磁場分析的基礎上設計與研制了差動式MS-MACAMOZZI執(zhí)行器試驗樣機。樣機的實驗結果表明改變勵磁繞組電流的大小和頻率可實現CAMOZZI執(zhí)行器旋轉速度控制。該差動式CAMOZZI執(zhí)行器減小了控制功率,提高了控制精確度和動態(tài)響應速度。利用壓電片的正逆壓電效應提出了時分復用模式的壓電自感知CAMOZZI執(zhí)行器,應用于懸臂梁的振動主動控制中。從機電變換雙向可逆效應角度闡述了時分復用壓電自CAMOZZI執(zhí)行器的工作原理。當壓電片的傳感功能與執(zhí)行功能快速切換時,對于模態(tài)頻率較低的結構,相當于傳感器和CAMOZZI執(zhí)行器是同時工作的。時分復用CAMOZZI執(zhí)行器實現的關鍵是開關電路設計和時序控制。

康茂盛CAMOZZI執(zhí)行器遲滯的滑模逆控制
重點開關電路的設計方法,指出了開關應具有耐高壓和高速等特點。以一階模態(tài)頻率為14.7Hz的銅懸臂梁為實驗對象進行了實驗研究,結果證明時分復用自CAMOZZI執(zhí)行器與獨立的傳感器和CAMOZZI執(zhí)行器具有基本相同的傳感和執(zhí)行效果。