LS高速中空軸電機在半導體行業(yè)應用

隨著國內的半導體行業(yè)的發(fā)展，制程設備關鍵零部件，LS特研制出的空心軸高速伺服電機，有著20多年行業(yè)應用。服務于半導體涂膠、顯影、清洗設備中，吸附晶圓工藝，該電機具備高加速度，速度范圍寬，高響應性等特點，在業(yè)內廣受客戶好評。

一、Spinner  Motor中空軸電機的特點

1、中空軸高速電機結構：額定轉速：5000rpm，最大轉速6000-8000rpm

2、超快的加速/減速時間；

3、低噪音、低震動、軸端跳動系數(shù)低至；

4、軸孔采用真空空心軸設計，軸端個性化的設計，確保chunk運行平穩(wěn)

5、電機功率:750W，采用水冷卻系統(tǒng)設計，符合6寸、8寸、12寸晶圓的要求

6、針對不同用戶可以為客戶進行軸端定制化設計

二、高速中空電機的應用范圍：
1、曝光顯影設備 (涂膠，顯影) 光刻加工程序的主要設備及掌控涂層，曝光，顯影。
2、清洗、涂膠、顯影去膜設備。
3、適用于物理沖洗清潔、顆粒清洗及噴霧工藝。

三、高速中空軸伺服產品規(guī)格及應用領域

1、 750W – 5000 , 6000 rpm

2、應用領域（機型）

l 8寸、 12寸半導體設備

l 涂膠、顯影、清洗、刻蝕等工藝

l 瞬時加速

l 特殊的軸端設計，確保軸端負載跳動平穩(wěn)

               液體散熱