韓國(guó)LS|M100半導(dǎo)體單片清洗設(shè)備專用流量計(jì)
◎高純度藥液和超純水等液體的高速精密流量控制。
◎ 運(yùn)用在半導(dǎo)體及其它領(lǐng)域的高品質(zhì)，高精密度非接觸流量計(jì)。
◎ 可以對(duì)多種液體進(jìn)行流量控制(DI, 硝酸, 硫酸, 雙氧水, 氨水等)
◎ 采用電源分離的設(shè)計(jì)，屏蔽了外部電源的干擾和輸入輸出時(shí)產(chǎn)生的 RFI/EMI
◎ 使用RS-485通信對(duì)多臺(tái)LFC進(jìn)行控制和監(jiān)控
◎ 專用PC程序提供
◎ 內(nèi)置外部輸出功能
◎ AMP(2頻道) 一體化結(jié)構(gòu)使使用空間最小化
韓國(guó)LS|M100半導(dǎo)體單片清洗設(shè)備專用流量計(jì)
首先我們對(duì)于您給予 MERIT100這個(gè)產(chǎn)品以極大的信任表示感謝.
MERIT100在潔凈室的環(huán)境中進(jìn)行生產(chǎn)并經(jīng)歷嚴(yán)格的品質(zhì)管理在出貨前經(jīng)歷多項(xiàng)檢測(cè)因此造就了優(yōu)秀的性能的品質(zhì)。
該機(jī)器是為了快速、精密地測(cè)定管道內(nèi)流動(dòng)液體的流量而設(shè)計(jì)制作的,同時(shí)外觀的設(shè)計(jì)兼顧耐用和美觀的優(yōu)點(diǎn)。
MERIT200是一款具備豐富功能及多種外部接口功能的產(chǎn)品，為了用
◎ 可以告訴精密的對(duì)目標(biāo)流量進(jìn)行測(cè)定
◎ 對(duì)液體和溫度的不同進(jìn)行補(bǔ)償
◎ 對(duì)總流量值進(jìn)行累計(jì)計(jì)算
◎ 過濾流量的微震
◎ 搭載超聲波波形鏡像功能對(duì)流量進(jìn)行精密測(cè)量
◎ 通過串口通信提供多元的控制及多種應(yīng)用技術(shù)
◎ 通過 RS-485(Modbus)通信對(duì)多數(shù)流量進(jìn)行監(jiān)控。
◎ 高速測(cè)定的應(yīng)答性(初期 Target Flow Rate 98%, 2Sec 以內(nèi))
韓國(guó)LS|M100半導(dǎo)體單片清洗設(shè)備專用流量計(jì)
◎ 半導(dǎo)體 及 Display 清洗裝備 : 流入的清潔液流量精密檢測(cè)用
◎ 特殊化學(xué)用: 多樣的液體(DI, 硝酸, 硫酸, 雙氧水, 氨水等)的精密流量監(jiān)控
韓國(guó)LS|M100半導(dǎo)體單片清洗設(shè)備專用流量計(jì)
流量部規(guī)格
區(qū)分 | 樣式 |
測(cè)量對(duì)象 | 全部液體 |
流體溫度 | 10~90℃ |
流體壓力 | 0~0.35Mpa（極限值0.5Mpa） |
聲波范圍 | 1000~2200m/Sec |
防水結(jié)構(gòu) | IP65 |
材質(zhì) | PFA |
標(biāo)準(zhǔn)管徑 | 1/4inch，3/8inch，1/2inch，3/4inch |
線纜長(zhǎng)度 | （樣式）：2M，3M，5M |
韓國(guó)LS|M100半導(dǎo)體單片清洗設(shè)備專用流量計(jì)
流量范圍和精度
區(qū)分 | A20（1/4"） | A50（3/8"） | A200（1/2"） | A500（3/4"） | 備注 |
藥液 | Chemical, slurry, DIW | ||||
流量范圍 | 0.02~2.5 | 0.1~5.0 | 0.5~20 | 1~50 | L/min |
最小Unit | 1 mL/min | 10mL/min | |||
管徑 | 6.35(3.96) | 9.52(6.35) | 12.7(9.53) | 19(15.87) | 外徑（內(nèi)徑）mm |
精度 | 0.05~0.3(±3) | 0.1~0.6(±6) | 0.5~2.0(±20) | 1.0~5.0(±50) | L/min（mL/min） |
0.3~2.5 (±1%) | 0.6~5.0(±1%) | 2.0~20(±1%) | 5.0~50(±1%) | of RD |
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競(jìng)品比較(Standard : inch type)
類別 | 韓國(guó)LS M100-xxxx | 日本TOFCO USFXXX | SFC-XXX 日本TKK | 備注 |
英寸 | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | |
尺寸 | 119.6 x 20.8 x 152.6 mm | 138 x 40 x 105 mm | 134 x 20 x 100 mm | 設(shè)置尺寸較小， 安裝尺寸最小化 |
材料/防水 | PFA / IP65 (Detector) | PFA | PFA | |
電源 | 24VDC ±10% | 24VDC ±10% | 24VDC ±10% | |
精度 | 20mL~300mL : ±3mL 300mL~2500mL : ±1% | 50mL~300mL : ±3mL 300mL~3000mL : ±1% | 50mL~800mL : ±8mL 800mL~2000mL: ±1% | 小流量更為精準(zhǔn) |
流體溫度 | 10 ~ 90℃ （Option ~150℃） | 10 ~ 90℃ (Option ~180℃) | 10~ 180℃ | 可以在高溫使用 |
響應(yīng)時(shí)間 | 1.5 sec | - | - | 反應(yīng)速度快 |
可測(cè)范圍(DIW) | 20 ~ 2500mL/min | 50 ~ 3000mL/min | 50~ 2500mL/min | ***流量值最小 |
模擬輸出 | 4-20 mA | 4-20 mA | 4-20 mA | |
操作模式 | Analog output mode RS-485 Isolated | Analog output mode RS-485 Non-isolated | Analog output mode RS-485 Non-isolated | 絕緣類型適用 (5 kV rms isolated) |
頻道數(shù) | 2/6Channel | 2Channel | 1Channel |
韓國(guó)LS|M100半導(dǎo)體單片清洗設(shè)備專用流量計(jì)
MERIT200報(bào)警現(xiàn)象可能是有管道設(shè)置，流量液體或者機(jī)械問題所導(dǎo)致的。正確的把握問題的狀況才能做出正確的應(yīng)對(duì)措施，一下是一些常見的報(bào)價(jià)原因如發(fā)生報(bào)警請(qǐng)參考下表。
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