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合肥辰越自動化工程有限公司

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韓國LS|MERIT200半導體清洗設(shè)備專用流量計

參  考  價:1500 - 50000 /件
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號

  • 品牌

    其他品牌

  • 廠商性質(zhì)

    代理商

  • 產(chǎn)品資料

    下載

  • 所在地

    合肥市

更新時間:2024-06-24 09:41:53瀏覽次數(shù):640次

聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
產(chǎn)地類別 進口 產(chǎn)品種類 超聲波
價格區(qū)間 3萬-5萬 介質(zhì)分類 氣體&液體
應用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,制藥,電氣
韓國LS|MERIT200半導體清洗設(shè)備專用流量計
代替日本東富科 TOFCO TKK
首先我們對于您給予 MERIT100這個產(chǎn)品以極大的信任表示感謝.
MERIT100在潔凈室的環(huán)境中進行生產(chǎn)并經(jīng)歷嚴格的品質(zhì)管理在出貨前經(jīng)歷多項檢測因此造就了優(yōu)秀的性能和的品質(zhì)。
該機器是為了快速、精密地測定管道內(nèi)流動液體的流量而設(shè)計制作的,同時外觀的設(shè)計兼顧耐用和美觀的優(yōu)點。

韓國LS|MERIT200半導體清洗設(shè)備專用流量計


韓國LS|MERIT200半導體清洗設(shè)備專用流量計

代替日本東富科 TOFCO  TKK



◎ 高純度藥液與超純粹等液體的高速精密流量測量

◎ 高品質(zhì)高精密的半導體與產(chǎn)業(yè)用非接觸式超聲波測量儀使用

◎ 以RS-485通信(Modbus)監(jiān)視多數(shù)流量

◎ 以電源分離屏蔽外部干擾及所有輸入輸出RFI/EMI (CE認證)

◎ 可以測量多種液體的流量(DI, 窒酸, 硫酸, 過酸化水素, 氫氟酸, 氨水等)

◎ 7 Segment 4Digit Display

◎ 外部輸出功能 – Analog Out : 4 ~ 20mA(16bit) / Sol Valve控制

◎ AMP(6渠道) 一體化,空間最小化

◎ 以酸反洗井工程Particle最小化(選項)

韓國LS|MERIT200半導體清洗設(shè)備專用流量計



韓國LS|MERIT200半導體清洗設(shè)備專用流量計

◎ 瞬時及積算Flow Meter(ml/min)

◎ 通過超聲波波形分析功能提供精密測量

◎ 對因藥液及溫度變化而產(chǎn)生的誤差自動補正

◎ 以Serial Comm. 提供各樣的應用技術(shù)及維護軟件道具



韓國LS|MERIT200半導體清洗設(shè)備專用流量計


? Merit 200 Series LFC 特征

◎ 控制閥門內(nèi)置的高品質(zhì)高精密半導體及產(chǎn)業(yè)用非接觸式LFC

◎ 可以測量多種液體的流量(DI, 窒酸, 硫酸, 過酸化水素, 氫氟酸, 氨水, SC1, IPA)

◎ 以電源分離屏蔽外部干擾及所有輸入輸出RFI/EMI (CE認證)

◎ 維修簡便(控制電源與檢測器一體型接液部)

◎ 外部輸出功能(Sol Valve On/Off與循環(huán)Valve控制)

◎ AMP(6渠道) 一體化,空間最小化

◎ 以搞清潔閥門使用Particle最少話(選項)


韓國LS|MERIT200半導體清洗設(shè)備專用流量計


? Merit 200 Series LFC 功能

◎ 目標量瞬時控制及流量脈動過濾

◎ 通過超聲波波形分析功能提供精密測量

◎ 對因藥液及溫度變化而產(chǎn)生的誤差自動補正

◎ 以Serial Comm. 提供各樣的應用技術(shù)及維護軟件道具

◎ 通過RS-485通信方式多數(shù)流量監(jiān)測

◎ 告訴控制響應 (目標流量率98%, 2秒以內(nèi))




產(chǎn)品規(guī)格

控制器(AMP)規(guī)格

區(qū)分

樣式

電源

DC+24V±10%

溫度

0~50℃

消耗電流

25.2W(六頻道)

防水結(jié)構(gòu)

IP20

通信規(guī)格

RS-485MODBUS

產(chǎn)品尺寸

50mm × 126mm × 79.5mm

重量

293g(六頻道)

CE認證

EN61326,55011


韓國LS|MERIT200半導體清洗設(shè)備專用流量計

韓國LS|MERIT200半導體清洗設(shè)備專用流量計



區(qū)分

樣式

測量對象

全部液體

流體溫度

10~90℃

流體壓力

0~0.35Mpa(極限值0.5Mpa

聲波范圍

1000~2200m/Sec

防水結(jié)構(gòu)

IP65

材質(zhì)

PFA

標準管徑

1/4inch3/8inch,1/2inch,3/4inch

線纜長度

(樣式):2M,3M5M

流量范圍和精度

區(qū)分

A201/4"

A503/8"

A2001/2"

A5003/4"

備注

藥液

Chemical, slurry, DIW





流量范圍

0.02~2.5

0.1~5.0

0.5~20

1~50

L/min

最小Unit

1 mL/min

10mL/min




管徑

6.35(3.96)

9.52(6.35)

12.7(9.53)

19(15.87)

外徑(內(nèi)徑)mm

精度

0.05~0.3(±3)

0.1~0.6(±6)

0.5~2.0(±20)

1.0~5.0(±50)

L/minmL/min

0.3~2.5 (±1%)

0.6~5.0(±1%)

2.0~20(±1%)

5.0~50(±1%)

of RD


競品比較(Standard : inch type)

類別

韓國ls

M100-xxxx

日本TOFCO

USFXXX

SFC-XXX

日本TKK

備注

英寸

1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch

1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch

1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch


尺寸

119.6 x 20.8 x 152.6 mm

138 x 40 x 105 mm

134 x 20 x 100 mm

設(shè)置尺寸較小,

安裝尺寸最小化

材料/防水

PFA / IP65 (Detector)

PFA

PFA


電源

24VDC ±10%

24VDC ±10%

24VDC ±10%


精度

20mL~300mL : ±3mL

300mL~2500mL : ±1%

50mL~300mL : ±3mL

300mL~3000mL : ±1%

50mL~800mL : ±8mL

800mL~2000mL: ±1%

小流量更為精準

流體溫度

10 ~ 90℃

Option ~150℃

10 ~ 90℃

(Option ~180℃)

10~ 180℃

可以在高溫使用

響應時間

1.5 sec

-

-

反應速度快

可測范圍(DIW)

20 ~ 2500mL/min

50 ~ 3000mL/min

50~ 2500mL/min

***流量值最小

模擬輸出

4-20 mA

4-20 mA

4-20 mA


操作模式

Analog output mode

RS-485 Isolated

Analog output mode

RS-485 Non-isolated

Analog output mode RS-485 Non-isolated

絕緣類型適用

(5 kV rms isolated)

頻道數(shù)

2/6Channel

2Channel

1Channel







韓國LS|MERIT200半導體清洗設(shè)備專用流量計





CMP設(shè)備拋光液控制專用超聲波流量計

CMP設(shè)備拋光液控制專用超聲波流量計$r$nCMP,即化學機械拋光,是

CMP研磨液控制專用超聲波流量計

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化學機械拋光(CMP)專用超聲波流量計

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