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牛津儀器cmi511/563測厚儀校準(zhǔn)

2018-9-19 閱讀(1989)

如何改變校準(zhǔn)參數(shù)
當(dāng)次激活校驗(yàn)程序數(shù)時(shí),會出現(xiàn)一組缺省參數(shù),如想改變此參數(shù)可采取以下方法:
1. 照上面所述方法選定想要更改的校準(zhǔn)程序數(shù)
2. 按*顯示 BD 即為板厚,此板厚包括介電層,銅厚和焊接層,有效板厚為30-250mils,輸入標(biāo)準(zhǔn)校樣品的厚度,檢查數(shù)值,如不正確按 CLEAR 鍵清除再重新輸入新數(shù)據(jù),完成后按 ENTER 鍵
3. 接下來為銅厚度,在屏幕左上角會出現(xiàn) CU,持續(xù)按 SEL 鍵直到出現(xiàn)銅厚,然后按ENTER 鍵
4. 接著屏幕會顯示 ETCH 電鍍層類型選擇,在屏幕左上角會顯示 N 和 Y 供選擇,按Y 即為蝕刻,按 N 即為未蝕刻,選中后按 ENTER 鍵
5. 此時(shí)校驗(yàn)參數(shù)更改已完成,檢查參數(shù)修改是否正確,如正確則可以測量

 

如何校準(zhǔn) ETP 探頭
原裝 ETP 標(biāo)準(zhǔn)探頭上面標(biāo)有技術(shù)參數(shù)和孔銅厚度,按以上所述方式可改變參數(shù)值,校準(zhǔn) ETP 探頭。

如何進(jìn)行單值校準(zhǔn)
在輸入孔銅厚度前按 CAL 可放棄校準(zhǔn),另請注意:待校準(zhǔn)完成后,其值會出現(xiàn)在屏
幕上,此讀數(shù)值不會影響統(tǒng)計(jì),單值校準(zhǔn)方式如下:
1. 按 CAL 鍵,這時(shí)在屏幕左上角會出現(xiàn) C0,右下角會出現(xiàn) CAL 字樣
2. 根據(jù) 2.2.2 所述將探針插入標(biāo)樣孔徑內(nèi),輸入標(biāo)準(zhǔn)厚度值,再從孔內(nèi)取出探頭
3. 檢查顯示值是否正確,如不正確按 CLEAR 鍵清除再重新輸入
4. 完成后按 ENTER 鍵

如何進(jìn)行平均值校準(zhǔn)
1. 按 CAL 鍵,這時(shí)在屏幕左上角會出現(xiàn) C0,右下角會出現(xiàn) CAL 字樣
2. 將探針插入樣品孔徑內(nèi),按 ENTER 鍵
3. 重復(fù)第 2 步 9 次,屏幕左上角顯示 CN
4. 測數(shù)完成后移走探頭輸入數(shù)值,檢查所示值是否正確,如不正確,按 CLEAR 鍵再重新輸入
5. 完成后按 ENTER 鍵

 



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