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岡本減薄機(jī)
  • 岡本減薄機(jī)
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貨物所在地:北京北京市

地: 日本

更新時(shí)間:2025-02-13 21:00:07

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岡本減薄機(jī)高剛性,不會(huì)因老化造成精度變化,部件由岡本自產(chǎn)鑄金一體化生產(chǎn)。

岡本減薄機(jī)

岡本減薄機(jī)設(shè)備特點(diǎn):

1.研削加工技術(shù):日本機(jī)械學(xué)會(huì)授予岡本標(biāo)準(zhǔn)傳送方式及向下研磨方法技術(shù)獎(jiǎng)。

2.機(jī)械精度的調(diào)整方法:通過主軸進(jìn)行調(diào)整(*),因?yàn)榭蛇M(jìn)行原點(diǎn)定位,所以精度調(diào)整相當(dāng)容易;可2處調(diào)節(jié)。

3.標(biāo)準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)方式:齒軸+定位銷進(jìn)行定位,長(zhǎng)年使用也不會(huì)發(fā)生位移。

4. 標(biāo)準(zhǔn)潤(rùn)滑方式:潤(rùn)滑油及防護(hù)罩,防止進(jìn)入異物造成磨損。

5. 設(shè)備剛性:高剛性,不會(huì)因老化造成精度變化,部件由岡本自產(chǎn)鑄金一體化生產(chǎn)。

設(shè)備指標(biāo):

1. 晶圓尺寸: 4”、5”、6”、8” 晶圓厚度: 1000μm

2. 研磨方法 向下進(jìn)給式研磨 在線測(cè)量厚度控制

3. 操作方法 全自動(dòng)、半自動(dòng)、手動(dòng)

4. 研磨軸單元 軸的數(shù)量 2個(gè)(粗磨和精磨)軸的轉(zhuǎn)速: 0-3600 RPM 軸承: 氣懸浮軸承 AB 150R(Carbon graphite) 軸承冷卻方式:氣冷(水冷可選) 軸承驅(qū)動(dòng)電機(jī): 2.2KW,4P 軸承行程: 150mm 軸承快速進(jìn)給: 200mm/min 軸承進(jìn)給速率: 1999μm/min 軸的進(jìn)給電機(jī):200W,交流伺服電機(jī) 可裝研磨輪:250mm

負(fù)載顯示:監(jiān)控操作面板 研磨輪修整:半自動(dòng) 主軸角度調(diào)整:電動(dòng)主軸角度調(diào)整可作為選擇項(xiàng)

5. 步進(jìn)轉(zhuǎn)位工作盤 軸承:靜*承(油膜) 驅(qū)動(dòng)電機(jī): 0.4KW,交流伺服電機(jī)

6. 工件主軸 軸承 機(jī)械式軸承(可選空*承) 驅(qū)動(dòng)電機(jī): 0.75KW,交流伺服電機(jī)

7. 真空吸附臺(tái) 數(shù)量: 3個(gè) 尺寸: 4-8寸兼容 材質(zhì):多孔陶瓷 轉(zhuǎn)速:300rpm 修磨速度設(shè)定: 0-300rpm 工作臺(tái)清洗方法: 去離子水和陶瓷環(huán)

8. 晶圓清洗方法 去離子水及毛刷清洗 甩干及空氣吹干

9. 精度調(diào)整方法 通過主軸調(diào)整

10. 自動(dòng)測(cè)定設(shè)備 晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng): 在線式雙探針

 

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