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PA-110-t-晶圓相位差測量儀
  • PA-110-t-晶圓相位差測量儀
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貨物所在地:北京北京市

地: 中國

更新時間:2025-02-13 21:00:07

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晶圓相位差測量儀PA-110-t,Z大可測8英寸Wafer 藍寶石、SiC晶圓等結(jié)晶缺陷的評估,藍寶石或SiC等透明晶圓的結(jié)晶缺陷,會直接影響到產(chǎn)品的性能,所以缺陷的檢測和管理是制造過程中不可欠缺的重要環(huán)節(jié)。 目前為止,產(chǎn)線上的缺陷管理,多是使用偏光片以目視方式進行缺陷檢測,但是這樣的檢查方式,因無法將缺陷量化,當(dāng)各批量間產(chǎn)生變動或者缺陷密度緩慢增加時,就無法以目視檢查的方式正確找出缺陷。

晶圓相位差測量儀PA-110-t?,zui大可測8英寸Wafer    藍寶石、SiC晶圓等結(jié)晶缺陷的評估

   藍寶石或SiC等透明晶圓的結(jié)晶缺陷,會直接影響到產(chǎn)品的性能,所以缺陷的檢測和管理,是制造過程中不可欠缺的重要環(huán)節(jié)。  目前為止,產(chǎn)線上的缺陷管理,多是使用偏光片,以目視方式進行缺陷檢測,但是,這樣的檢查方式,因無法將缺陷量化,當(dāng)各批量間產(chǎn)生變動或者缺陷密度緩慢增加時,就無法以目視檢查的方式正確找出缺陷。

    晶圓相位差測量儀PA-110-t? 將特殊的高速偏光感應(yīng)器與XY stage 結(jié)合起來, 8英寸晶圓僅需5分鐘,即可取得整面的雙折射分布資料。

    所以由定量化的結(jié)晶缺陷評估,提高雙折射品質(zhì)的穩(wěn)定性。

 

         Wafer整面的雙折射數(shù)據(jù),可將結(jié)晶缺陷程度數(shù)值化。

 

晶圓相位差測量儀PA-110-t? 特點

1,   XY自動Stage 拼貼功能

針對大尺寸的Wafer 數(shù)據(jù),以拼貼方式自動合成。

 

2,   使用大口徑遠心鏡頭

以垂直光線進行測量,因不受視角影響,連周邊區(qū)域都可高精度測量。

測量原理

        當(dāng)光線穿透雙折射特性的透明物質(zhì)時,光的偏光狀態(tài)會產(chǎn)生變化(光彈性效應(yīng))。換句話說,比較光穿透透明物體前與后的偏光狀態(tài),即可評估物質(zhì)的雙折射。

     該設(shè)備裝配的偏光感應(yīng)器,使用了本司*的Photonic結(jié)晶組裝而成, 能瞬間將偏光信息以影像方式保存,  再搭配專屬的演算,影像處理軟件,能將雙折射分布數(shù)據(jù)定量化,使得分析變得更加便利。

可觀察的晶圓尺寸與貼合影響

    自動影響貼合功能,zui大可觀察8英寸Wafer

 φ 8 inch4×5

 

設(shè)備規(guī)格     PA-110-t

項目

規(guī)格

測量

 

測量范圍

0130nm

重復(fù)精度

1nm一下

Sensor  Unit

 

偏光像素

1120×868pixels

測量波長

520nm

尺寸

如下圖

電源

AC100240v 50/60HZ

軟件

PA-110-Rasterscan, PA-View

其他配件

臺式電腦

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