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當前位置：北京歐屹科技有限公司> 供求商機> DPU 150-DPU桌面級鍍膜系統(tǒng)
DPU 桌面級真空鍍膜系統(tǒng)采用模塊化設計、分布式布置，兼容手動控制和電腦軟件聯(lián)網(wǎng)控制方式，非常適合以積木式方式來靈活定位于為真空鍍膜方向教學提供一套高效、靈活、直觀的動手實踐工具，解決目前學生面對設備只看不能動手組裝搭建的問題。同時也適合真空鍍膜科研前期方案試探，快速（快10倍效率）、低成本。此外也適用于非真空鍍膜專業(yè)人士用于產(chǎn)品開發(fā)時，進行簡單的薄膜表面處理工序。
DPU桌面級鍍膜系統(tǒng)技術參數(shù)
| 技術規(guī)格 | 參數(shù) |
| 泵組 | 渦輪泵機組TPS80-渦輪泵機組TPS150 |
| 本底真空 | <5*10-6 Torr |
| 泵組啟動時間 | <120 s |
| 腔室模塊 | 標準ISO腔體，~Ø 100-300 mm， 尺寸可定制 |
| 靶源模塊 | 2、3、4英寸磁控靶源 +多弧源MAC100（Ø 100 mm）可選 陽極層離子源IAS60+ ICP40 射頻清洗源可選 |
| 電源模塊 | 各種品牌直流、脈沖、射頻等電源可選 |
| 氣體控制 | 氣體控制器模塊+MFC流量計控制 |
| 真空規(guī) | 德國Leybold Vacuum全量程復合規(guī)+MKS 皮拉尼規(guī) |
| 操作方式 | 手動觸摸屏操作+電腦聯(lián)網(wǎng)控制 |
| 電源 | 220V AC，50/60Hz 接地三腳插頭 |
| 質量保證 | 一年免費/終身維護 |
| 備注 | 以上所列技術規(guī)格與參數(shù)更新恕不另行通知，如有疑問請 |
DPU桌面級鍍膜系統(tǒng)
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