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DPU 150-DPU桌面級鍍膜系統(tǒng)
  • DPU 150-DPU桌面級鍍膜系統(tǒng)
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貨物所在地:北京北京市

更新時間:2024-11-23 21:00:07

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DPU桌面級鍍膜系統(tǒng)采用模塊化設計、分布式布置,兼容手動控制和電腦軟件聯(lián)網(wǎng)控制方式,非常適合以積木式方式來靈活定位于為真空鍍膜方向教學提供一套高效、靈活、直觀的動手實踐工具,解決目前學生面對只看不能動手組裝搭建的問題。同時也適合真空鍍膜科研前期方案試探,快速(快10倍效率)、低成本。此外適用于非真空鍍膜專業(yè)人士用于產(chǎn)品開發(fā)時,進行簡單的薄膜表面處理工序。

DPU 桌面級真空鍍膜系統(tǒng)采用模塊化設計、分布式布置,兼容手動控制和電腦軟件聯(lián)網(wǎng)控制方式,非常適合以積木式方式來靈活定位于為真空鍍膜方向教學提供一套高效、靈活、直觀的動手實踐工具,解決目前學生面對設備只看不能動手組裝搭建的問題。同時也適合真空鍍膜科研前期方案試探,快速(快10倍效率)、低成本。此外也適用于非真空鍍膜專業(yè)人士用于產(chǎn)品開發(fā)時,進行簡單的薄膜表面處理工序。
DPU桌面級鍍膜系統(tǒng)技術參數(shù)

技術規(guī)格參數(shù)
泵組渦輪泵機組TPS80-渦輪泵機組TPS150
本底真空<5*10-6 Torr
泵組啟動時間<120 s
腔室模塊標準ISO腔體,~Ø 100-300 mm, 尺寸可定制
靶源模塊2、3、4英寸磁控靶源 +多弧源MAC100(Ø 100 mm)可選
陽極層離子源IAS60+ ICP40 射頻清洗源可選
電源模塊各種品牌直流、脈沖、射頻等電源可選
氣體控制氣體控制器模塊+MFC流量計控制
真空規(guī)德國Leybold Vacuum全量程復合規(guī)+MKS 皮拉尼規(guī)
操作方式手動觸摸屏操作+電腦聯(lián)網(wǎng)控制
電源220V AC,50/60Hz 接地三腳插頭
質量保證一年免費/終身維護
備注以上所列技術規(guī)格與參數(shù)更新恕不另行通知,如有疑問請

DPU桌面級鍍膜系統(tǒng)

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