詳細(xì)介紹
擴(kuò)散硅壓力變送器SH2188
擴(kuò)散硅壓力傳感器工作原理
擴(kuò)散硅壓力傳感器的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,和用電子線路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對應(yīng)于這一壓力的測量。
擴(kuò)散硅壓力傳感器的特點(diǎn)
1、適合制作小量程的傳感器
硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應(yīng)在零點(diǎn)附近的低量程段無死區(qū),制作壓力傳感器的量程可小到幾個(gè)Kpa。
2、輸出靈敏度高
硅應(yīng)變電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變計(jì)高50~100倍,故相應(yīng)的傳感器的靈敏度就很高,一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求,使用比較方便。
3、精度高
由于傳感器的感受、轉(zhuǎn)換和檢測三部分由同一個(gè)元件實(shí)現(xiàn),沒有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),重復(fù)性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大,變形很小,保證了良好的線性。
4、由于工作單性形變低至微應(yīng)變數(shù)量級(jí),彈性芯片大位移在亞微米數(shù)量級(jí),因而無磨損,無疲勞,無老化,壽命長達(dá)1×103壓力循環(huán),性能,可靠性高。
5、由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能,即使是非隔離型的擴(kuò)散硅壓力傳感器,也有相當(dāng)程度的適應(yīng)各種介質(zhì)的能力。
6、由于芯片采用集成工藝,又無傳動(dòng)部件,因此體積小,重量輕。
擴(kuò)散硅壓力變送器SH2188
擴(kuò)散硅壓力傳感器的性能參數(shù)
測量介質(zhì):與316L不銹鋼兼容的各種、氣體或蒸汽
量程范圍:-100 kPa~0~2kPa…60MPa
壓力:表壓、絕壓、密封壓
恒壓供電:推薦10VDC,大15VDC
恒流供電:推薦1.5mA,大4mA
橋路電阻:4000Ω(典型值)
綜合精度:0.1%FS,0.3%FS,0.5%FS可選
溫度漂移:0.02%FS/℃
時(shí)間漂移:≤0.2%FS/年
補(bǔ)償溫度:0~80℃
介質(zhì)溫度:-40~125℃
溫度:-40~85℃。