TMC主動(dòng)空氣消振器Electro-Damp II

Electro-Damp®是第一款專門(mén)用于提高半導(dǎo)體制造應(yīng)用中的吞吐量、分辨率和產(chǎn)量的商用主動(dòng)隔振系統(tǒng)。Electro-Damp II是對(duì)原始系統(tǒng)的*全重新設(shè)計(jì)，增加了模塊化、數(shù)字控制、前饋、高力/高間隙執(zhí)行器以及多個(gè)專門(mén)設(shè)計(jì)用于OEM應(yīng)用（如顯微光刻、檢測(cè)和計(jì)量工具）的數(shù)字用戶界面。

半導(dǎo)體制造工具對(duì)其隔振系統(tǒng)提出了相互矛盾的要求。為了應(yīng)對(duì)地面噪音，系統(tǒng)必須足夠柔軟，以有效地過(guò)濾地面振動(dòng)，阻止其到達(dá)隔振表面。同時(shí)，系統(tǒng)必須足夠堅(jiān)硬，以應(yīng)對(duì)工作臺(tái)的力，以便工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)使隔振表面產(chǎn)生最小位移并能快速穩(wěn)定。

除了采用慣性、主動(dòng)反饋?zhàn)枘嶂猓?/span>Electro-Damp II還使用信息前饋來(lái)進(jìn)一步改善系統(tǒng)響應(yīng)。前饋從工作臺(tái)控制器獲取關(guān)于工作臺(tái)位置和加速度的信息，然后處理這些數(shù)據(jù)，以向有效載荷提供力驅(qū)動(dòng)，從而大大減少了由工作臺(tái)引起的有效載荷運(yùn)動(dòng)。系統(tǒng)可以以數(shù)字方式讀取前饋信息，作為雙極性模擬信號(hào)，或通過(guò)讀取正交編碼器的輸出。DC-2000數(shù)字控制器還可以使用工作臺(tái)測(cè)試模式自動(dòng)調(diào)整前饋所需的參數(shù)。這使得在初始安裝時(shí)或在更改有效載荷之后能夠快速簡(jiǎn)便地進(jìn)行設(shè)置。

Electro-Damp II的模塊化設(shè)計(jì)允許系統(tǒng)單獨(dú)與電子伺服閥一起使用（適用于重型、低加速度應(yīng)用，如CMM）、只與電磁驅(qū)動(dòng)一起使用（適用于使用高加速度的較輕工作臺(tái)）或與兩者結(jié)合使用（適用于*苛刻的應(yīng)用）。

TMC主動(dòng)空氣消振器Electro-Damp II特點(diǎn)

●六自由度主動(dòng)減振系統(tǒng)

●非接觸式電子高度控制

●數(shù)字控制器

●前饋輸入校正由工作臺(tái)引起的有效載荷運(yùn)動(dòng)

●高力電磁執(zhí)行器可單獨(dú)提供或被集成在系統(tǒng)中

●減少有效載荷運(yùn)動(dòng)和由工作臺(tái)引起的運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定時(shí)間

●提高吞吐量、分辨率和產(chǎn)量

●模塊化設(shè)計(jì)允許用戶*定一個(gè)完整的單元或組件，以便OEM集成

●自動(dòng)調(diào)整前饋參數(shù)以減少設(shè)置

規(guī)格

應(yīng)用說(shuō)明

Electro-Damp®

在Precitech的Freeform L超精密機(jī)床上使用PEPS II-VX進(jìn)行3軸（XYZ）測(cè)量