SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)SEM Base LP

賽默飛世爾定制版SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)SEM Base LP

SEM-Base-LP是我們的標(biāo)準(zhǔn)SEM-Base主動(dòng)壓電振動(dòng)消除平臺(tái)的定制、低剖面版本。SEM-Base-LP更易于安裝，提供*越的性能，并且符合人體工程學(xué)優(yōu)化。緊湊的設(shè)計(jì)便于安裝，無(wú)需使用掃描電子顯微鏡（SEM）的內(nèi)置調(diào)平腳以外的任何東西來(lái)提升掃描電子顯微鏡（SEM）柱。而且，一旦安裝，掃描電鏡的高度以上的地板不會(huì)增加。SEM-Base-LP采用了我們*特的STACIS壓電技術(shù)，具有與我們的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SEM-Base-VI相同的振動(dòng)消除性能。SEM-Base-LP包括腳輪，專門設(shè)計(jì)用于與許多賽默飛世爾科技（前身為FEI）工具集成。

Example of how SEM-Base LP integrates with the bottom frame of the tool

兼容的Thermo Fisher產(chǎn)品型號(hào)

SEM Base LP與許多Thermo Fisher產(chǎn)品型號(hào)兼容，包括

●Apreo

●Aquilos

●Helios Small DualBeam

●Nova NanoSEM x50

●Quattro S

●Scios

●Teneo

●Verios G4

●Verios 460, 460L

●Versa 3D

如果您的SEM/FIB未列出，請(qǐng)聯(lián)系我們檢查兼容性。

SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)SEM Base LP優(yōu)勢(shì)

硬安裝技術(shù)–SEM底座與內(nèi)部SEM振動(dòng)控制系統(tǒng)兼容，并積極緩解0.6 Hz的低頻地板振動(dòng)。

主動(dòng)慣性振動(dòng)消除-掃描電鏡基地使用高靈敏度，低頻慣性速度傳感器，以實(shí)現(xiàn)高水平的振動(dòng)衰減，即使在安靜的地板。

采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計(jì)–*特的串行設(shè)計(jì)和專有的高壓壓電技術(shù)可實(shí)現(xiàn)從0.6 Hz到150 Hz的寬有源帶寬，以及*與倫比的慣性主動(dòng)消振，從2 Hz開(kāi)始可降低90%。

性能

1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

規(guī)格

性能

設(shè)計(jì)、尺寸、環(huán)境和效用要求

內(nèi)置控制器規(guī)格