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氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出,借以達到抽氣目的的進口真空泵,這種泵基本上有兩種類型:變?nèi)菡婵毡煤蛣恿總鬏敱谩?/p>
動量傳輸泵,這種進口真空泵是依靠高速旋轉的葉片或高速射流,把動量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇F罩Z克真空科技具體可分為下述幾種類型:
⑴分子真空泵:它是利用高速旋轉的轉子把能量傳輸給氣體分子,使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式:
①牽引分子泵:氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量,被送到出口,因此,是一種動量傳輸泵。
②渦輪分子泵:泵內(nèi)裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉子,它在定子圓盤(或定片)間旋轉。轉子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
③復合分子泵:它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復合式分子真空泵。
⑵噴射真空泵:它是利用文丘里(Venturi)效應的壓力降產(chǎn)生的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵,適于在粘滯流和過渡流狀態(tài)下工作。這種泵又可詳細地分成以下幾種:
①液體噴射真空泵:以液體(通常為水)為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
②氣體噴射真空泵:以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
③蒸氣噴射真空泵:以蒸氣(水、油或汞等蒸氣)作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
⑶擴散泵:以低壓高速蒸氣流(油或汞等蒸氣)作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸氣射流中,被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的,這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作??煞譃椋?/p>
①自凈化擴散泵:泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵。
②分餾式擴散泵:這種泵具有分餾裝置,使蒸氣壓強較低的工作液蒸氣進入高真空工作的噴嘴,而蒸氣壓強較高的工作液蒸氣進入低真空工作的噴嘴,它是一種多級油擴散泵。
⑷擴散噴射泵:它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯(lián)組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種型式。
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