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[供應(yīng)]AST橢偏儀薄膜分析儀SR100
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  • AST橢偏儀薄膜分析儀SR100
貨物所在地:
北京北京市
產(chǎn)地:
美國
更新時間:
2022-11-17 21:00:07
有效期:
2022年11月17日 -- 2023年5月17日
已獲點擊:
149
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產(chǎn)品簡介

AST橢偏儀薄膜分析儀SR100系列薄膜分析產(chǎn)品來自美國AST公司,其可以實現(xiàn)薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量,同樣對于材料NK參數(shù)也可以實現(xiàn)測量,為人們針對薄膜進行分析提供了便利。

詳細介紹

AST橢偏儀薄膜分析儀SR100

 

 AST橢偏儀薄膜分析儀SR100系列薄膜分析產(chǎn)品來自美國AST公司,其可以實現(xiàn)薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量,同樣對于材料NK參數(shù)也可以實現(xiàn)測量,為人們針對薄膜進行分析提供了便利。

產(chǎn)品詳情

基本功能

1,測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)
2,實現(xiàn)薄膜均勻性檢測
3,實現(xiàn)反射、投射以及顏色測量

產(chǎn)品特點

  強大的數(shù)據(jù)運算處理功能及材料NK數(shù)據(jù)庫;
  簡便、易行的可視化測試界面,可根據(jù)用戶需求設(shè)置不同的參數(shù);
  快捷、準確、穩(wěn)定的參數(shù)測試;
  支持多功能配件集成以及定制;
  支持不同水平的用戶控制模式;
  支持多功能模擬計算等等。

系統(tǒng)配置

  型號:SR100R
  探測器: 2048像素的CCD線陣列
  光源:高穩(wěn)定性、長壽命的鹵素?zé)?br />  光傳送方式:光纖
  臺架平臺:特殊處理鋁合金,能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量,200mmx200mm的大小
  軟件: TFProbe 2.2版本的軟件
  通訊接口:USB的通訊接口與計算機相連
  測量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率
  電腦硬件要求:P3以上、低50 MB的空間
  電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
  保修:一年的整機及零備件保修

 

規(guī)格尺寸

  波長范圍:250nm到1100 nm
  光斑尺寸:500μm至5mm
  樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm
  基板尺寸:多可至50毫米厚
  測量厚度范圍*:2nm~50μm
  測量時間:2毫秒
  精度*:優(yōu)于0.5%(通過使用相同的光學(xué)常數(shù),讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較)
  重復(fù)性誤差*:小于1 
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可選配件項

  用于傳遞和吸收測量的傳動夾具(SR100RT) )
      低可測量直徑為5μm大小的微光斑(MSP100)
  在多個位置下,多個通道用于同時測量 (SR100xX)
  在超過200或300毫米晶片上所進行的統(tǒng)一測繪(SRM100-200/300)

 

應(yīng)用系統(tǒng)

  主要應(yīng)用于透光薄膜分析類領(lǐng)域:

  1 玻璃鍍膜領(lǐng)域(LowE、太陽能…)

  2 半導(dǎo)體制造(PR,Oxide, Nitride…)

  3 液晶顯示(ITO,PR,Cell gap...)

  4 醫(yī)學(xué),生物薄膜及材料領(lǐng)域等

  5 油墨,礦物學(xué),顏料,調(diào)色劑等

  6 醫(yī)藥,中間設(shè)備

  7 光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

  8 半導(dǎo)體化合物

  9 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜

  10 非晶體,納米材料和結(jié)晶硅

 

 

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