PI-P-753 LISA線性促動器和平臺

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 掃描顯微鏡

§ 測量技術(shù)

§ 測試程序和質(zhì)量保證

§ 光子

§ 光纖定位

訂購信息：

P-753.21C LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，25微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-753.31C LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，38微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 線性定位器，真空兼容達(dá)10-9百帕

P-753.1UD LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，12微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

P-753.2UD LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，25微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

P-753.3UD LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，38微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng) 的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實現(xiàn)*運行1000億個循環(huán)。

帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

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