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Micro系列測(cè)量機(jī)采用*的有限元分析設(shè)計(jì)方法的Micro系列測(cè)量機(jī)，在機(jī)械結(jié)構(gòu)上具有剛性強(qiáng)、幾何誤差小的特點(diǎn)，這為三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的提供了高精度、高性能和高穩(wěn)定性的優(yōu)點(diǎn)。

機(jī)械整體結(jié)構(gòu)采用剛性結(jié)構(gòu)好、質(zhì)量輕的全封閉框架移動(dòng)橋式結(jié)構(gòu)。其結(jié)構(gòu)簡單、緊湊、承載能力大、運(yùn)動(dòng)性能好。
固定優(yōu)質(zhì)花崗巖工作臺(tái)，使其具有承載能力強(qiáng)、裝卸空間寬闊、上下工件方便快捷等特點(diǎn)。
導(dǎo)軌采用燕尾式設(shè)計(jì)原則，可提供高精度的精確定位以及良好可靠的穩(wěn)態(tài)性能。

三軸采用優(yōu)質(zhì)花崗巖，熱膨脹系數(shù)小，三軸具有相同的溫度特性，因而具有良好的溫度穩(wěn)定性、抗實(shí)效變形能力，剛性好、動(dòng)態(tài)幾何誤差變形小。
三軸均采用自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承組成的靜壓氣浮式導(dǎo)軌，軸承跨距大，抗角擺能力強(qiáng)，阻力小、無磨損、運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)。

橫梁采用精密橫梁設(shè)計(jì)技術(shù)，重量輕、重心低、剛性強(qiáng)，動(dòng)態(tài)誤差小，確保了機(jī)器的穩(wěn)定。
采用RENISHAW反射式金屬帶狀光柵計(jì)量系統(tǒng)，與大多數(shù)工件具有相近的熱膨脹系數(shù)，確保了良好的重復(fù)精度。

Z軸采用氣缸平衡裝置，極大的提高了Z軸的定位精度及穩(wěn)定性。
采用日本進(jìn)口高精度精密過濾系統(tǒng)，保證壓縮空氣的過濾精度在5um，大大降低了由于高壓壓縮空氣的質(zhì)量導(dǎo)致啟動(dòng)系統(tǒng)損壞的情況。

三軸電機(jī)均采用進(jìn)口AMETEK電機(jī)，良好的高速性能提供了高效的測(cè)量效率，優(yōu)良的低速性能為測(cè)量提供了可靠的準(zhǔn)確度。