凈化勻膠機(jī) 是適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。是集成電路及半導(dǎo)體件生產(chǎn)過程中涂復(fù)光致抗腐蝕劑的設(shè)備 
設(shè)備中涂膠部分四個工位單片微型機(jī)控制四個工位同時工作或分別工作，即各工位的運轉(zhuǎn)單獨傳動，轉(zhuǎn)數(shù)單獨調(diào)節(jié)及單獨顯示。 
為保證在涂膠工藝中不飛片，設(shè)備中吸頭和氣泵中間有四個電磁閥，同時增加一個負(fù)壓儲氣罐，保證了吸片牢固和可靠性。 
設(shè)備中配有的空氣凈化裝置。 
主要技術(shù)指標(biāo)： 
勻膠工位：1個工位 或者 4個工位 
勻膠時間：1-99秒 
勻膠轉(zhuǎn)數(shù)：500-8000轉(zhuǎn)/分 
凈化效果：100級（美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)） 
操作區(qū)風(fēng)速：0.3-0.5米/秒(有效操作區(qū)氣流狀態(tài)：垂直層流() 
于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠 
外形尺寸：650x750x1620mm 
外體顏色：瓷白色 
1．控制范圍和精度：轉(zhuǎn)速控制范圍為：500-8000轉(zhuǎn)，精度為±3% 

凈化勻膠機(jī)
2.時間控制范圍為：1-99秒，精度為±5% 
3．轉(zhuǎn)速調(diào)整采用高精度D/A轉(zhuǎn)換，具有128級的精度調(diào)諧。 
4．轉(zhuǎn)速查看智能化。（自動識別哪個電機(jī)開或關(guān)）自動轉(zhuǎn)換到開啟的電機(jī)上?？捎柘冗x定，也可在運行中隨時查看任一電機(jī)的轉(zhuǎn)速。 
5．采用良好的I2C總線技術(shù)和E2PRAM數(shù)字存儲器，可預(yù)存10組工藝參數(shù)（勻膠機(jī)A型機(jī)可予存10個延時時間，40個電機(jī)轉(zhuǎn)速參數(shù)。B型機(jī)可予存20個時間參數(shù)，80個轉(zhuǎn)速參數(shù)；顯影機(jī)可保存9個慢啟動參數(shù)，30個時間，30個轉(zhuǎn)速參數(shù)）。保存的參數(shù)掉電10年不丟失。調(diào)整后的參數(shù)自動保存，簡化了操作。 
6．具有全自動智能控制功能，當(dāng)使用全自動方式時只需放好工件，然后按一下ATART（開始）鍵，吸盤自動打開，定時工作完成后延時6秒電機(jī)停穩(wěn)后自動關(guān)閉吸盤，喇叭鳴三聲，提示完成工作。大大的提高了工作效率。 
7．定時的時間和轉(zhuǎn)速的測量全部由軟件控制，定時部分采用倒計時的方式顯示，轉(zhuǎn)速測量部分直接顯示被測電機(jī)的每分鐘轉(zhuǎn)數(shù)。調(diào)整部分由軟件和D/A轉(zhuǎn)換器控制，去掉了原使用CMOS電路采用的撥盤開關(guān)和機(jī)械電位器的機(jī)械觸點。在原基礎(chǔ)上增加了全自動功能，減少了操作程序，避免了頻繁的開關(guān)面板上的按鍵開關(guān)，大大的降低了按鍵開關(guān)因頻繁使用而損壞。提高了整機(jī)的可靠性和使用壽命。調(diào)整，啟動，切換，停止，并有提示音。

產(chǎn)品名稱：壓差法氣體滲透儀 產(chǎn)品型號：GPT-301

壓差法氣體滲透儀型號：GPT-301

可同時測定試樣的氣體透過率、溶解度系數(shù)  
◆ 測試量程可根據(jù)需要進(jìn)行擴(kuò)展，滿足大透過率測試的要求  
◆ 可進(jìn)行任意溫度下的數(shù)據(jù)擬合，輕松獲得端條件下的試驗結(jié)果  
◆ 支持有毒氣體及易燃易爆氣體的測試（需改制）  
◆ 系統(tǒng)采用計算機(jī)控制，整個試驗過程自動完成  
◆ 提供標(biāo)準(zhǔn)膜進(jìn)行快速校準(zhǔn)，保證檢測數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和通用性  
◆ 配備RS232通用數(shù)據(jù)接口，方便數(shù)據(jù)傳遞  
GPT-301采用壓差法測試原理，將預(yù)先處理好的試樣放置在上下測試腔之間，夾緊。先對低壓腔（下腔）進(jìn)行真空處理，然后對整個系統(tǒng)抽真空；當(dāng)達(dá)到規(guī)定的真空度后，關(guān)閉測試下腔，向腔（上腔）充入一定壓力的試驗氣體，并保證在試樣兩側(cè)形成一個恒定的壓差（可調(diào)）；這樣氣體會在壓差梯度的作用下，由側(cè)向低壓側(cè)滲透，通過對低壓側(cè)內(nèi)壓強的監(jiān)測處理，從而得出所測試樣的各項阻隔性參數(shù)。  
標(biāo)　　準(zhǔn)  
該儀器滿足多種和標(biāo)準(zhǔn)：  
ISO 15105-1、ISO 2556、GB/T 1038-2000、ASTM D1434、JIS K7126-1、YBB 00082003基礎(chǔ)應(yīng)用薄膜于各種塑料薄膜、塑料復(fù)合薄膜、紙塑復(fù)合膜、共擠膜、鍍鋁膜、鋁箔、鋁箔復(fù)合膜等膜狀材料的氣體滲透性能測試  
片材于各種工程塑料、橡膠、建材等片狀材料的氣體滲透性能測試，如PP片材、PVC片材、PVDC片材等  
擴(kuò)展應(yīng)用多種不同氣體適合于多種氣體的透過率測試，如氧氣、二氧化碳、氮氣、空氣、氦氣等  
易燃易爆氣體于各種薄膜對易燃易爆氣體的阻隔性能測試  
生物降解膜用于測試生物降解膜的透氣性能，如淀粉生物降解袋等  
航空航天用材料用于航空航天用材料的氣體透過率測試，如飛艇氣囊的氦氣透過性測試  
紙及紙板用于紙及紙塑等復(fù)合材料的透氣性測試，如煙包鋁箔紙、利樂包裝片材、方便面紙碗、一次性紙杯等  
漆膜用于基材上涂覆油漆薄膜的透氣性測試  
玻纖布、玻纖紙等材料于玻纖布、玻纖紙等材料的透氣性測試，如特氟龍漆布、特氟龍高溫布、氟硅膠布等  
化妝品軟管片材于各種化妝品軟管、鋁塑管、牙膏管片材的氣體透過性測試  
各種橡膠片材于各種橡膠片材的透氣性測試，如汽車輪胎透氣性測試 
指標(biāo)薄膜測試 
測試范圍0.05～50,000 cm3/m2·24h·0.1MPa（常規(guī)） 
上限不小于500,000 cm3/m2·24h·0.1MPa（擴(kuò)展體積） 
試樣件數(shù)3 件 
真空分辨率0.1 Pa 
測試腔真空度＜20 Pa 
控溫范圍5℃～95℃ 
控溫精度±0.1℃ 
控濕范圍0%RH、2%RH～98.5%RH、*RH（濕度發(fā)生裝置另購） 
控濕精度±1%RH 
試樣尺寸Φ97 mm 
透過面積38.48 cm2 
試驗氣體O2、 N2、CO2等氣體（氣源用戶自備） 
試驗壓力-0.1 MPa～+0.1 MPa（常規(guī)） 
氣源壓力0.4 MPa～0.6 MPa 
接口尺寸Ф6 mm 聚氨酯管 
外形尺寸760 mm (L) × 575 mm (W) × 450 mm (H) 
電源AC 220V 50Hz 
凈重88 kg