勻膠顯影機(jī) 是一種既可用于精密勻膠操作，又可用于半導(dǎo)體顯影和清洗的臺(tái)面式設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。 

　　不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級(jí)別200瓦伺服電機(jī)系統(tǒng)，采用與track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序，使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義；同類產(chǎn) 50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保勻膠和顯影的穩(wěn)定性和高的可重復(fù)性。 
主要性能指標(biāo)： 
主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）  
旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可精確到0.1秒  
轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-10,000rpm（更高速可選）  
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）  
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm  
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm  
工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-200mm（8“圓晶）  
標(biāo)準(zhǔn)配置兩路噴液系統(tǒng)（顯影液和去離子水） 

勻膠顯影機(jī)

產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn)： 
主機(jī)在SC100-SE勻膠機(jī)上升級(jí)，增加耐腐蝕高分子材料防濺式罩蓋 

全程序編輯功能，更方便的智能化操作，更好的顯影/清洗效果  
可實(shí)現(xiàn)多獨(dú)立四路噴液用于顯影/清洗工作，或進(jìn)行氮?dú)獯蹈?nbsp; 
控制器可實(shí)現(xiàn)程序自動(dòng)控制噴液或進(jìn)行手動(dòng)操作，使用更加方便 

顯影系統(tǒng)可進(jìn)行噴霧式、柱流式多種選擇，視要求進(jìn)行配置  
提供客戶定制化的顯影系統(tǒng)配置和工裝設(shè)計(jì)  
高可靠性和重復(fù)性，高轉(zhuǎn)速精度和更高轉(zhuǎn)速可選  
可添加去邊膠和背膠清洗功能

產(chǎn)品名稱：電化學(xué)工作站  產(chǎn)品型號(hào)：EA100

電化學(xué)工作站 型號(hào)：EA100 
EA100電化學(xué)分析系統(tǒng)是一款用于電化學(xué)測(cè)量的通用分析儀器設(shè)備，內(nèi)置恒電位儀/恒電流儀、信號(hào)發(fā)生器、數(shù)據(jù)采集器等，可用于電化學(xué)實(shí)驗(yàn)中電壓/電流信號(hào)的產(chǎn)生、測(cè)量、記錄、分析。  
EA100電化學(xué)分析系統(tǒng)包括基礎(chǔ)版和高級(jí)版，其中基礎(chǔ)版包含10種常用的電化學(xué)測(cè)試方法，高級(jí)版包含30余種電化學(xué)測(cè)試方法，并支持固件升級(jí)。 
EA100電化學(xué)分析系統(tǒng)配套的玻碳電，高純度金、鉑電。玻碳電采用純進(jìn)口高質(zhì)量玻碳材料，經(jīng)環(huán)氧樹脂封裝，可提供1mm、2mm、3mm等不同規(guī)格；同時(shí)提供四孔專業(yè)電化學(xué)電解池(可用于氣體保護(hù)反應(yīng))。 

產(chǎn)品名稱：高純度氫氣發(fā)生器 產(chǎn)品型號(hào)：SPH-300A

高純度氫氣發(fā)生器 型號(hào)：SPH-300A 
主要技術(shù)參數(shù)： 
1. 氫氣純度：99.999% 
2. 氫氣流量：0-300ml/min 
3. 輸出壓力：0-0.4Mpa 
4. 壓力穩(wěn)定性：< 0.001MPa 
5. 供電電源：220V±10%, 50Hz 
6. 消耗功率：150W 
7. 外型尺寸：360×200×260mm 
8. 凈重：約9Kg 
儀器特點(diǎn)： 
1. 壓力、流量自動(dòng)顯示，自動(dòng)恒壓、恒流，氫氣流量可根據(jù)用量實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)調(diào)節(jié)。 
2. 不銹鋼過濾器，儀器內(nèi)部采用硅橡膠圈(含硫量低)，有效提高氣體質(zhì)量，保證色譜基線平穩(wěn)。 
3. 配有安全裝置，靈敏可靠，自動(dòng)防返堿。