欧美……一区二区三区,欧美日韩亚洲另类视频,亚洲国产欧美日韩中字,日本一区二区三区dvd视频在线

FEIN 4025441  AFSC1.7Q/N00 18V 230V

FEIN 4025441  AFSC1.7Q/N00 18V 230V

KUBLERE760 7DIG1TS 230VAC計時器
PHOENIXSAC-5P-M12MSPBTR高爐 終端電阻
TWKIW253/40-0.25-KFN-KHN
ZIEHL-ABEGGFB063-OEK-416L風(fēng)扇
B&R AM374電源供應(yīng)器
RADIO-ENGRGIE(雷恩)CMH120-30M-5533-1024-CR1000脈沖編碼器
DELTA TS2236 DC24V熱金屬檢測器
HYDACFZP 1/1.1/V/71/ 7/RV4.5潤滑油泵
NORELEM06292-1025080緊固件
HUBTEX電瓶接插件    4111266電瓶接插件
HYDACSB0330-0.75E1/112A9-330AB"
傳感器"
EMGKD941X-10valve
KOBOLDTMA-06420214 0-20MA溫度開關(guān)
MTSRHV0250MD631P102
IGUS2800.06.2.12.C備件
HEMOMATIK型號：HMFB00PS126 VI=270MM V2=335MM
HAWEAC40-1/4-250BAR蓄能器
NORELEMNLM 03120-016   CIMBLOT CYLIND配件
BAUER BG10-37/D08LA4-TF/C3 0.75KWMOTOR需銘牌
HYDAC壓力表 HM60-10-R-G1/2〃壓力表
HYDACEDS3348-5-0250-Y00壓力繼電器
MTSRHS0580MP101S1G6100 CABLE10M
EMGDMC500 N=160 8.5KW 18.7A多回轉(zhuǎn)開關(guān)型
LEINE&LINDE編碼器 RS530005351-100PPR編碼器
MTSRHN2800MR021A01
BARKSDALE SW2000 CP28-040甘油壓力表壓力表
PHOENIXQUINT-PS-100-240AC/24V10A電源模塊
BAUER TDSK-A10E/GZ備件需銘牌
HYDACHAD4744-A-060-000壓力變送器
BarksdaleSW2000-16-G-1軒盎MH17
STROMAG 閘片 參考:451793類型:US.2-4
HYDACRFBN/HC240DE20D1.X/-L24回油過濾器
LEINE&LINDE46019編碼器
RITTALSK3110 10(4)A MAX:30W 220VAC控制器
BEDIA CLS-50 500056Sensor
PHOENIXSAC-5P-M12MS PB TR機(jī)電
MTSRHM0150MR021A01
PHOENIXEMG22-DIO 4E-1N5408二極管
KUBLER8.5020.C004.4096.A034編碼器
RADIO-ENGRGIE(雷恩)GEC ALSTHOM PARVEX 伺服電機(jī)電機(jī)
HAWERK2G單向閥
WAYCONSM10-HYD-MH-18-5位移傳感器
HYDACDVP-10-01.X截止閥
HYDACVR2D.0/L24 24V/4A  46/07壓力傳感器
RADIO-ENGRGIE(雷恩)66247傳感器插頭
NSDMRE-32SP062SAC傳感器
BAUMER PBMN23B15AA14409211壓力變送器
FRAKO6*KIT50-400-7S+2*KIT25-400-7S電容
IGUSWFM-2023-16軸承
HYDAC1.13.08D06BN4濾芯
HYDACBLT-M-160-F-3-W-1-X G1通氣器
IGUS3800.20配件
MOOGD661-4651/G15JDAA6VSX2HA比例伺服閥
HYDACLYD-021-B-1.5-M溫度控制器
KUBLER8.5863.1200.G323.S013.K012旋轉(zhuǎn)編碼
ELERO    備件    JUNIOR  NR;250000387
ELERO    執(zhí)行器    D-07381  20024342
ELERO    馬達(dá)電機(jī)    280007900 Junior 1 24VDC 70mm 2mm/s
ELERO    電機(jī)    130001859
ELERO    直線電機(jī)    Junior 2 NR.:290002203
ELERO    電機(jī)    100014302
ELERO    定位器    PICOLO XL200  NR:290003771
ELERO    線性傳感器    Type:Economo Nr:110004584
ELERO    備件    ECO HUM:80MM UN:400V-3AC 120012956
ELERO    直線電機(jī)    Junior 0E  stroke lengths(行程）100mm
ELERO    電機(jī)    junior 1 variant k 訂貨號：756783801
ELERO    線性傳感器    D-07381 Nr:110004584
ELERO    線性傳感器    type:economo nr:110004584
ELERO    電機(jī)    NO.6001440514.2
LHPw-10/4-L50
德國 ELSTER-0047 QA100 80Z PN16 10-160m3/h
德國 ELSTER-0034 QA100-80ZI DN100 Pmax: 16bar
德國 ELSTER-0007 QA10080Z1 SN:69170108/2006
德國 ELSTER-0044 QA10080ZI
德國 ELSTER-0046 QA160 80Z  PN16
德國 ELSTER-0036 QA160 80Z1 16bar Qmin :10m3/h
德國 ELSTER-0028 QA250
德國 ELSTER-0045 QA40 DN25 PN4流量計
德國 ELSTER-0033 QA65 50ZI
德國 ELSTER-0031 QA65ZI  渦輪流量計
德國 ELSTER-0055 Q型 Qmax=20000Nm3/h DN300,PN10
德國 ELSTER-0050 R054 250V/2A 1盒100只
德國 ELSTER-0009 TR Z G65 DN50 PN10
德國 ELSTER-0011 TRZ G1000 DN150 PN1.6MPA
德國 ELSTER-0015 TRZ2 G400 DN150 ANSI300
德國 ELSTER-0037 TRZ2-G250, DN80
德國 ELSTER-0026 TRZ2G250DH80PN16
德國 ELSTER-0058 TRZ2型氣體渦輪流量計G650
德國 ELSTER-0017 TVC G100 DN80 PN16
德國 ELSTER-0018 TVC G400 DN100 PN16  
德國 ELSTER-0016 TVC G400 DN100 PN16
德國 ELSTER-0019 TVC G65 DN50 PN1
  德國 ELERO-0001 EOO*** 出廠編號270002099415VA
德國 ELERO-0002 VAR101 序列號:270021479
德國 ELERO-0003 SN:290003456,24VDC  1.6A IP54
德國 ELERO-0005 Econom 01 D-07381 NO.280008854
德國 ELERO-0006 Typ：Compakt  Nr.290006989
德國 ELERO-0007 nr：100003335  1.1A 27W IP54
德國 ELERO D-07381  P06NECK
德國 ELERO-0009 Junlor OE SN.280012313
德國 ELERO-0010 ECO***  Nr:280013243
德國 ELERO-0011 Econom  1W/A  sn.99010284
德國 ELERO-0012 NR:270015119
德國 ELERO-0013 Typ:Compakt  sn.290017065
德國 ELERO-0014 290017065
德國 ELERO-0015 Typ:Compakt Juniorl
德國 ELERO-0016 Typ: Juniorl  nr.230909124
德國 ELERO-0017 Junior 1    Nr.:220201779
德國 ELERO-0018 Vario 1
德國 ELERO- Nr:280003207
德國 ELERO-0020 Econom 01D/A  sn.240201817
德國 ELERO-0021 EOO*** 出廠編號270002099
德國 ELERO-0022 junior 2   Nr:240201147
德國 ELERO-0023 Junior   Nr:.290010361
德國 ELERO-0024 Variol  755313101 800mm
LHPE-13/1-L50
LHPEw-13/1-L50
LHPE-13/2-L50V
LHPEw-13/2-L50V
LHP-13/2-L50
LHPw-13/2-L50
LHP-13/3-L50V
LHPw-13/3-L50V
LHP-13/3-L50
LHPw-13/3-L50
LHP-13/4-L50
LHPw-13/4-L50
LHP-13/4-L50V
LHPw-13/4-L50V
ELERO    直線電機(jī)    ECO   NR:280013243
ELERO    電機(jī)    Econom 01    NR:260002600   fn:50HZ    IP54
ELERO    線性傳感器    type:economo nr:110004584
ELERO    點(diǎn)火塞    VIRIOL No.250000745
ELERO    叉子電機(jī)    Compakt，Hub:200mm，Vhub:Ca.4mm/s，UN:400V+3AC，IN:1.3A，P:900vA
ELERO    叉子電機(jī)    Compakt ，Hub:200mm，Vhub:Ca.2mm/s，UN:400V+3AC，IN:1.3A，P:900vA
ELERO    執(zhí)行器    D-07381  20024342
ELERO    線性傳感器    D-07381 Nr:110004584
ELERO    遙控器    NO.9000440416.47
ELERO    叉子電機(jī)    Compakt，Hub:200mm，Vhub:Ca.4mm/s，UN:400V+3AC，IN:1.3A，P:900vA
ELERO    叉子電機(jī)    Compakt ，Hub:200mm，Vhub:Ca.2mm/s，UN:400V+3AC，IN:1.3A，P:900vA
ELERO    線性傳感器    type:economo nr:110004584
ELERO    備件    ECO HUM:80MM UN:400V-3AC 120012956
ELERO    備件    JUNIOR  NR;250000387
ELERO    執(zhí)行器    D-07381  20024342
ELERO    馬達(dá)電機(jī)    280007900 Junior 1 24VDC 70mm 2mm/s
ELERO    電機(jī)    130001859
ELERO    直線電機(jī)    Junior 2 NR.:290002203
ELERO    電機(jī)    100014302
ELERO    定位器    PICOLO XL200  NR:290003771
ELERO    線性傳感器    Type:Economo Nr:110004584
ELERO    備件    ECO HUM:80MM UN:400V-3AC 120012956
ELERO    直線電機(jī)    Junior 0E  stroke lengths(行程）100mm
ELERO    電機(jī)    junior 1 variant k 訂貨號：756783801
ELERO    線性傳感器    D-07381 Nr:110004584
ELERO    線性傳感器    type:economo nr:110004584
ELERO    電機(jī)    NO.6001440514.2
FEIN 30763368990
FEIN 54199012020
FEIN 30762418990
FEIN 訂貨編號：63801154007
FEIN 訂貨編號：63801120006
FEIN 訂貨編號：63717242010
FEIN 訂貨編號：71131861000
FEIN 鉆軸上的錐柄規(guī)格B16 DEeu 638  訂貨號：720540
FEIN 63806193010
FEIN KS10-38E 訂貨編號：72216760000
FEIN 訂貨編號：63803067028
FEIN 訂貨編號：63721006012
FEIN ABS14 訂貨編號：71130350017
FEIN BF10-280E訂貨編號：72280551000
FEIN 訂貨編號：63721009018
FEINMETALL H774LA1    F785.06.B250.G.300.L
FEIN 63726028010
FEIN WPO14-25E-不銹鋼基本套裝 訂貨號72214950010
FEIN 63723014019
FEIN 63726007014
FEIN 63714051014
FEIN 63723013011
FEIN 63726027010
FEIN 63726029010
FEIN 63714052017
FEIN 63723011014
FEIN 63714058018
FEIN 63733003010
FEIN RS 12-70E 訂貨號：72211350014
FEIN WPO 14-25 E訂貨號:72214930220
FEIN 訂貨號:63806193010
FEIN 訂貨號:63717226010
FEIN WPO 14-25 E訂貨號:72214930220
FEIN 訂貨號:63806193010
FEIN 訂貨號:63717226010
FEIN 訂貨號63717226010
FEIN 訂貨號63806193010
FEIN 63726028010
FEIN WPO 14-25 E訂貨號:72214930220
FEIN 63726027010
FEIN 63723014019
FEIN 63726007014
FEIN 63714051014
FEIN WPO 14-25E 訂貨號：72214950010
FEIN 63723013011
FEIN 63726029010
FEIN 63714052017
FEIN 63723011014
FEIN 63714058018
FEIN 63733003010
FEIN RS 12-70E 訂貨號：72211350014
FEIN RS 12-70E 訂貨號：72211350014
FEIN WPO 14-25E 訂貨號：72214950010
FEIN ABS 18
FEIN WP012-27E 180# 63721009018
FEIN 貨號:63502144014   E型鋸片
FEIN 貨號:63502144014   E型鋸片
LENORD+BAUER DS290
LENORD+BAUER WA291 適配器
LENORD+BAUER GEL2443KNRG5K030-E
NORD SK25F  IEC112 NO:200558579-130012618824
LENORD+BAUER GEL2443KNRG5A030-E
NORD SK12080AZ-71S/4 No。200538714-500 12451840
LENORD+BAUER GEL2010XN1024ACR0S
LENORD+BAUER 2432T-1BC600
LENORD+BAUER GEL2443KNRG3K30-E
LENORD+BAUER GEL293-V-001600L013
LENORD+BAUER GEL292-V-001600L013
NORD Type SK 112M4 BRE60
NORD SK 0/2G 63 S/4 2G RD
NORD SK 100AH/4 TF
NORD TYPE:SK 9043.1-90S/6 F IG 12K
NORD TYPE:SK 80S/6 BRE5 TF F IG 12K
LENORD+BAUER 2443Y015
LENORD+BAUER 2443Y015
NORDSON PN:1007034
LENORD+BAUER GEL2478XWP400LANK01
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK06
LENORD+BAUER GEL 2478XWP400KANK02(6線） 長度29mm 電纜長度2m
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK06
LENORD+BAUER GEL2478XWP400LANK01
LENORD+BAUER GEL2478XWP400LANK01
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK02
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK06
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK02(長度29毫米
LENORD+BAUER GEL2478XWP400LANK01
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK02
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK06
LENORD+BAUER GEL2478XWP400LANK01
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK02
LENORD+BAUER GEL293-V-02048L011 Nr.L260307
LENORD+BAUER 2432T-1 BC600
LENORD+BAUER GEL260C-00000B033測速傳感器
LENORD+BAUER GEL260C-00000B033測速傳感器
LENORD+BAUER GEL243Y017
LENORD+BAUER GEL243Y017
LENORD+BAUER GG 66(6-pole straight)
LENORD+BAUER GEL 207-VN01000A533
LENORD+BAUER GEL 260-VN00500B731
LENORD+BAUER GEL8232B202
LENORD+BAUER GEL2443Y004 5V DC
LENORD+BAUER 244KM1S3
LENORD+BAUER ZFN0757-5
LENORD+BAUER GEL2443Y005 SN:0942001220
LENORD+BAUER GEL260C-000000B033
NORD SK372-100LA/4  序列號：200834697-200
NORD SK100LA/4     序列號：35712601
NORD SK80L/4
NORD SK0-63L/4 931331369800003
NORD SK1S175 60791000 50931384 15988657
NORD SK1S163 60691000 51138395  17033772
NORD Type SK 71L/4

經(jīng)濟(jì)手動型

根據(jù)客戶需求定制

chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選)

X-Y移動行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選)

chuck Z軸方向升降10mm(選項(xiàng))方便探針與樣品快速分離

顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)

顯微鏡移動方式:立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結(jié)構(gòu)型(可選)

探針座:有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關(guān)

可搭配Probe card測試

適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所、高校等

半自動型

chuck尺寸800mm/600mm

X,Y電動移動行程200mm/150mm

chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm

可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡

針座擺放個數(shù)6~8顆

顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"

可搭配Probe card測試

適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品

電動型

chuck尺寸1200mm，平坦度土1u(不銹鋼或鍍金)

X,Y電動移動行程300mm x 300mm

chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡

針座擺放個數(shù)8~12顆

顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"

材質(zhì):花崗巖臺面+不銹鋼

可搭配Probe card測試

適用領(lǐng)域:12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品

LCD半自動探針臺

機(jī)械手臂取放片

電動、鍵入坐標(biāo)尋位置

量測尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000

LCD手動探針臺

白熾燈或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量測分析

機(jī)臺尺寸(mm):800x600、500x400、300x300

PCB量測探針臺(TDR)

高頻測試探頭GSG / GS / SG

頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

機(jī)臺尺寸同LCD 探針臺

太陽能產(chǎn)業(yè)探針臺(Solar Cell 量測系統(tǒng))

量測軟體:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

采用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太陽光模擬器

錨點(diǎn)折疊編輯本段自動探針臺的維護(hù)
探針測試臺x-y工作臺的分類

縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類，即:以美國EG公司為代表的平面電機(jī)型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對待。

x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)

無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其核心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。本文僅對自動探針測試臺x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。

2.1 平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)

平面電機(jī)由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺， 動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。

而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計要求如分辨力等，用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距，而定子則按不同的細(xì)分控制方式，按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進(jìn)精度及設(shè)備使用壽命，損壞嚴(yán)重將造成設(shè)備無法使用而報廢。

由于平面電機(jī)的定子及動子是*暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個過程操作要十分地細(xì)心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。對于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時應(yīng)先通入大氣以便動子移動，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無水乙醇，輕擦定子表面，然后用工具撬起動子，方法同前， 輕擦動子表面，動子的表面有若干個氣孔，它是定子和動子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用工具小心旋開小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔，處理完畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強(qiáng)行拉動動子，以免造成定子及動子的損傷。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15~25 ℃，相對濕度小于50%的環(huán)境中，其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5 ℃，氣壓為0.4±0.04MPa。

2.2 滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)

相對于平面電機(jī)工作臺，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜，工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運(yùn)動，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌。由于運(yùn)動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應(yīng)放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結(jié)構(gòu)的工作臺在裝配過程中，從直線導(dǎo)軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復(fù)性，定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來的狀態(tài)，所以對需要調(diào)整的工作臺應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。

錨點(diǎn)折疊編輯本段高精度探針臺
目前出貨量*的型號吸收了新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關(guān)技術(shù)，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計及多種測試條件提供保證。

特性1:OTS-近的位置對正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對準(zhǔn)) OTS通過對照相機(jī)相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù)，來源于東京精密的度量技術(shù)。OTS實(shí)現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng)。

特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系統(tǒng)) 為了有效的達(dá)到接觸位置的精度，硅片承載臺各部分的剛性*是非常重要的，UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置(QPU)，達(dá)到高剛性，高穩(wěn)定度的接觸。

特性3:裝載部件

令客戶滿意的測試環(huán)境，可以提供從前部開始的通常的8"，12"及基本檢查單元。也為自動物料輸送系統(tǒng)應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。

特性4:TTG(一點(diǎn)即到)

更加方便的操作，UF3000采用在顯示屏上點(diǎn)一下，相關(guān)的屏幕就會切換到新的位置顯示。相關(guān)的設(shè)定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義。

經(jīng)濟(jì)手動型

根據(jù)客戶需求定制

chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選)

X-Y移動行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選)

chuck Z軸方向升降10mm(選項(xiàng))方便探針與樣品快速分離

顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)

顯微鏡移動方式:立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結(jié)構(gòu)型(可選)

探針座:有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關(guān)

可搭配Probe card測試

適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所、高校等

半自動型

chuck尺寸800mm/600mm

X,Y電動移動行程200mm/150mm

chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm

可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡

針座擺放個數(shù)6~8顆

顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"

可搭配Probe card測試

適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品

電動型

chuck尺寸1200mm，平坦度土1u(不銹鋼或鍍金)

X,Y電動移動行程300mm x 300mm

chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡

針座擺放個數(shù)8~12顆

顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"

材質(zhì):花崗巖臺面+不銹鋼

可搭配Probe card測試

適用領(lǐng)域:12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品

LCD半自動探針臺

機(jī)械手臂取放片

電動、鍵入坐標(biāo)尋位置

量測尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000

LCD手動探針臺

白熾燈或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量測分析

機(jī)臺尺寸(mm):800x600、500x400、300x300

PCB量測探針臺(TDR)

高頻測試探頭GSG / GS / SG

頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

機(jī)臺尺寸同LCD 探針臺

太陽能產(chǎn)業(yè)探針臺(Solar Cell 量測系統(tǒng))

量測軟體:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

采用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太陽光模擬器

錨點(diǎn)折疊編輯本段自動探針臺的維護(hù)
探針測試臺x-y工作臺的分類

縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類，即:以美國EG公司為代表的平面電機(jī)型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對待。

x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)

無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其核心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。本文僅對自動探針測試臺x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。

2.1 平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)

平面電機(jī)由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺， 動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。

而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計要求如分辨力等，用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距，而定子則按不同的細(xì)分控制方式，按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進(jìn)精度及設(shè)備使用壽命，損壞嚴(yán)重將造成設(shè)備無法使用而報廢。

由于平面電機(jī)的定子及動子是*暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個過程操作要十分地細(xì)心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。對于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時應(yīng)先通入大氣以便動子移動，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無水乙醇，輕擦定子表面，然后用工具撬起動子，方法同前， 輕擦動子表面，動子的表面有若干個氣孔，它是定子和動子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用工具小心旋開小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔，處理完畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強(qiáng)行拉動動子，以免造成定子及動子的損傷。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15~25 ℃，相對濕度小于50%的環(huán)境中，其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5 ℃，氣壓為0.4±0.04MPa。

2.2 滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)

相對于平面電機(jī)工作臺，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜，工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運(yùn)動，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌。由于運(yùn)動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應(yīng)放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結(jié)構(gòu)的工作臺在裝配過程中，從直線導(dǎo)軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復(fù)性，定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來的狀態(tài)，所以對需要調(diào)整的工作臺應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。

錨點(diǎn)折疊編輯本段高精度探針臺
目前出貨量*的型號吸收了新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關(guān)技術(shù)，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計及多種測試條件提供保證。

特性1:OTS-近的位置對正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對準(zhǔn)) OTS通過對照相機(jī)相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù)，來源于東京精密的度量技術(shù)。OTS實(shí)現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng)。

特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系統(tǒng)) 為了有效的達(dá)到接觸位置的精度，硅片承載臺各部分的剛性*是非常重要的，UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置(QPU)，達(dá)到高剛性，高穩(wěn)定度的接觸。

特性3:裝載部件

令客戶滿意的測試環(huán)境，可以提供從前部開始的通常的8"，12"及基本檢查單元。也為自動物料輸送系統(tǒng)應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。

特性4:TTG(一點(diǎn)即到)

更加方便的操作，UF3000采用在顯示屏上點(diǎn)一下，相關(guān)的屏幕就會切換到新的位置顯示。相關(guān)的設(shè)定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義。

經(jīng)濟(jì)手動型

根據(jù)客戶需求定制

chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選)

X-Y移動行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選)

chuck Z軸方向升降10mm(選項(xiàng))方便探針與樣品快速分離

顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)

顯微鏡移動方式:立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結(jié)構(gòu)型(可選)

探針座:有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關(guān)

可搭配Probe card測試

適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所、高校等

半自動型

chuck尺寸800mm/600mm

X,Y電動移動行程200mm/150mm

chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm

可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡

針座擺放個數(shù)6~8顆

顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"

可搭配Probe card測試

適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品

電動型

chuck尺寸1200mm，平坦度土1u(不銹鋼或鍍金)

X,Y電動移動行程300mm x 300mm

chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡

針座擺放個數(shù)8~12顆

顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"

材質(zhì):花崗巖臺面+不銹鋼

可搭配Probe card測試

適用領(lǐng)域:12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品

LCD半自動探針臺

機(jī)械手臂取放片

電動、鍵入坐標(biāo)尋位置

量測尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000

LCD手動探針臺

白熾燈或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量測分析

機(jī)臺尺寸(mm):800x600、500x400、300x300

PCB量測探針臺(TDR)

高頻測試探頭GSG / GS / SG

頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

機(jī)臺尺寸同LCD 探針臺

太陽能產(chǎn)業(yè)探針臺(Solar Cell 量測系統(tǒng))

量測軟體:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

采用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太陽光模擬器

錨點(diǎn)折疊編輯本段自動探針臺的維護(hù)
探針測試臺x-y工作臺的分類

縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類，即:以美國EG公司為代表的平面電機(jī)型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對待。

x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)

無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其核心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。本文僅對自動探針測試臺x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。

2.1 平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)

平面電機(jī)由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺， 動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。

而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計要求如分辨力等，用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距，而定子則按不同的細(xì)分控制方式，按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進(jìn)精度及設(shè)備使用壽命，損壞嚴(yán)重將造成設(shè)備無法使用而報廢。

由于平面電機(jī)的定子及動子是*暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個過程操作要十分地細(xì)心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。對于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時應(yīng)先通入大氣以便動子移動，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無水乙醇，輕擦定子表面，然后用工具撬起動子，方法同前， 輕擦動子表面，動子的表面有若干個氣孔，它是定子和動子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用工具小心旋開小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔，處理完畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強(qiáng)行拉動動子，以免造成定子及動子的損傷。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15~25 ℃，相對濕度小于50%的環(huán)境中，其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5 ℃，氣壓為0.4±0.04MPa。

2.2 滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)

相對于平面電機(jī)工作臺，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜，工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運(yùn)動，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌。由于運(yùn)動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應(yīng)放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結(jié)構(gòu)的工作臺在裝配過程中，從直線導(dǎo)軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復(fù)性，定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來的狀態(tài)，所以對需要調(diào)整的工作臺應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。

錨點(diǎn)折疊編輯本段高精度探針臺
目前出貨量*的型號吸收了新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關(guān)技術(shù)，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計及多種測試條件提供保證。

特性1:OTS-近的位置對正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對準(zhǔn)) OTS通過對照相機(jī)相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù)，來源于東京精密的度量技術(shù)。OTS實(shí)現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng)。

特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系統(tǒng)) 為了有效的達(dá)到接觸位置的精度，硅片承載臺各部分的剛性*是非常重要的，UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置(QPU)，達(dá)到高剛性，高穩(wěn)定度的接觸。

特性3:裝載部件

令客戶滿意的測試環(huán)境，可以提供從前部開始的通常的8"，12"及基本檢查單元。也為自動物料輸送系統(tǒng)應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。

特性4:TTG(一點(diǎn)即到)

更加方便的操作，UF3000采用在顯示屏上點(diǎn)一下，相關(guān)的屏幕就會切換到新的位置顯示。相關(guān)的設(shè)定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義。