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庫伯勒kubler傳感器和制動器的轉(zhuǎn)移模封裝,同時保留至有源器件區(qū)的進出通路。盡管塑料封裝不能應(yīng)用于侵蝕性環(huán)境,但預(yù)計大多數(shù)傳感器都將應(yīng)用于相對良好的條件下,因此塑料封裝是一種較好的選擇。在不能采用普通低成本封裝方法的情況下,仍將繼續(xù)采用在管殼中直接安裝裸芯片的方法。采用一種技術(shù)不能達到傳感器(制動器)與電子器件集成的目的,從經(jīng)濟的觀點看,庫伯勒kubler傳感器在一塊芯片上合成也是不可取的,在這類情況下就需要小型多芯片模塊。工作環(huán)境的不同對封裝技術(shù)的要求也不同,因此采用的封裝方法也有所不同。如果側(cè)重多芯片集成就可采用較通用的方法,如果側(cè)重應(yīng)用就要采用方法。
庫伯勒kubler傳感器先在表面上貼一層介質(zhì)箔,在鍵合通路商開出窗口,然后淀積互連線,zui后將窗口開至有源傳感器的制動器區(qū)。這種方法的不足是,其窗口時采用激光燒蝕制成的,因此制作成本較高,而且在介質(zhì)箔鍵合器件很容易對微機械機構(gòu)造成損傷,因此隨著其他高性能、低制作成本技術(shù)的不斷出現(xiàn),將來會逐步淘汰這一方法。保護涂層、晶片鍵合、晶片電鍍及其他晶片級工藝zui近不斷取得新的進展,這些進步極大地促進了全晶片級封裝概念的形成。因此,國外有許多機構(gòu)和公司都在從事該技術(shù)的研究,庫伯勒kubler傳感器然而微系統(tǒng)全晶片封裝方法并不像標準的電子封裝那么簡單和直接,通常要取決于許多因素,如貼合點上焊點的生長和淀積,隨后在印制電路板上安裝的倒裝芯片及模壓混合物的表面精飾等。目前國外已開發(fā)出尤其適合多引線數(shù)電子電路應(yīng)用的各種芯片尺寸的封裝技術(shù),如管殼封裝和微型球柵陣列封裝等。大多數(shù)庫伯勒kubler傳感器和制動器件不能使用標準的倒裝芯片技術(shù),因為它們對封裝技術(shù)的要求較高。
庫伯勒kubler傳感器當應(yīng)用對封裝沒有額外的要求和限制時可采用一下比較通用的方法:板上芯片方法:采用這種方法時,先將芯片安裝到PCB或其他載體上,隨后精確分布保護材料,當有敞開的進出通路通向有源芯片區(qū)時可使鍵合引線與芯片得到充分保。由于這一技術(shù)沿用了標準的電子封裝方法,因此是一項比較成熟且成本較低的技術(shù)。庫伯勒kubler傳感器預(yù)成型封裝,如金屬、陶瓷、玻璃和(預(yù)模壓)塑料封裝等技術(shù)是普遍采用的封裝技術(shù)。這種方法的普及主要得益于它的簡便和易操作等特點。它允許使用標準的芯片貼合和引線鍵合工藝。盡管如此,預(yù)成型封裝的制作成本仍教較高,庫伯勒kubler傳感器因而限制了它在大規(guī)模、低成本傳感器制作中的廣泛應(yīng)用。