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*日本山武azbil藍(lán)寶石隔膜真空計(jì)

藍(lán)寶石隔膜真空計(jì) SPG5/6/7的受壓部采用了高耐腐蝕性、高耐熱性且機(jī)械特性?xún)?yōu)異的單晶體藍(lán)寶石，通過(guò)檢測(cè)靜電容量，即使在高溫檢測(cè)環(huán)境下也能實(shí)現(xiàn)高的檢測(cè)重復(fù)性。

通過(guò)*信號(hào)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了溫度特性、直線(xiàn)性等誤差小的檢測(cè)，由微加工技術(shù)而形成的藍(lán)寶石傳感器實(shí)現(xiàn)了小型、輕量化的自加熱型隔膜真空計(jì)。

提高品質(zhì)

真空計(jì)多數(shù)在有大的壓力環(huán)境下使用，是容易因各種原因引起零點(diǎn)漂移的產(chǎn)品。真空計(jì)的零點(diǎn)漂移會(huì)影響控制量，從而會(huì)影響終產(chǎn)品的品質(zhì)。藍(lán)寶石隔膜真空計(jì)采用了零點(diǎn)不易漂移的構(gòu)造。

提高生產(chǎn)性

減少了設(shè)備的停機(jī)時(shí)間。備有用于減少停機(jī)避免時(shí)間浪費(fèi)的功能。

改善工藝

改善對(duì)以前只能通過(guò)壓力信號(hào)的變化才能識(shí)別的各種信息進(jìn)行可視化的工藝的客戶(hù)作出貢獻(xiàn)。

*日本山武azbil藍(lán)寶石隔膜真空計(jì)

注意：

▲請(qǐng)?jiān)谝?guī)格書(shū)中記載的使用條件(溫度、濕度、電壓、環(huán)境等)范圍內(nèi)使用本機(jī)

▲請(qǐng)勿在有爆炸性環(huán)境及可燃性液體或蒸汽的環(huán)境下使用。

▲連接件、墊片請(qǐng)使用規(guī)定的產(chǎn)品,配管后確認(rèn)無(wú)泄漏后再使用。否則有氣體泄漏的危險(xiǎn)。

▲請(qǐng)?jiān)诒緳C(jī)的電源配線(xiàn)上操作者能觸及的范圍內(nèi)設(shè)置主電源切斷用開(kāi)關(guān)

▲請(qǐng)按照本機(jī)連線(xiàn)的標(biāo)準(zhǔn),電源及施工方法,正確接線(xiàn)否則有發(fā)生火災(zāi),故障的危險(xiǎn)請(qǐng)勿讓線(xiàn)頭、切、水等進(jìn)入本機(jī)機(jī)殼內(nèi)部。否則有發(fā)生火災(zāi)、故障的危險(xiǎn)

▲請(qǐng)勿堵塞本機(jī)的通風(fēng)孔。否則有發(fā)生火災(zāi),故障的危險(xiǎn)

▲通電中及通電結(jié)束后的一段時(shí)間內(nèi),本機(jī)表面會(huì)處于高溫。由于有燙傷的危險(xiǎn),請(qǐng)勿觸摸本機(jī)拆卸時(shí)請(qǐng)?jiān)谧鳂I(yè)前先切斷電源,充分冷卻后再進(jìn)行作業(yè)在設(shè)置上有接觸本機(jī)可能性的場(chǎng)合,

▲請(qǐng)?jiān)谧钥卦O(shè)計(jì)時(shí)采取對(duì)策。(有自己加熱的機(jī)型請(qǐng)?jiān)谝?guī)格中記載的壽命范圍內(nèi)使用本機(jī)的繼電器。超過(guò)壽命繼續(xù)使用時(shí),會(huì)有發(fā)生火求,做的危險(xiǎn)。

概要

藍(lán)寶石隔膜真空計(jì)SPG5A/6A采用了藍(lán)寶石靜電容量式壓力傳感器的高精度,是具有高可靠性、小型、輕量的隔膜真空計(jì)可選擇有自己加熱功能的機(jī)型及無(wú)自己加熱功能的機(jī)型,有自己加熱功能的機(jī)型可選擇加熱溫度主要用于半導(dǎo)體工藝流程,本機(jī)具有以下的特長(zhǎng)

●感壓部材料采用具有高耐腐蝕性、高耐熱性、機(jī)械特性?xún)?yōu)異的單晶體藍(lán)寶石,通過(guò)靜電容量檢測(cè)方式,即使在高溫檢測(cè)環(huán)境下也可實(shí)現(xiàn)高的檢測(cè)重復(fù)性。

●采用*顯微機(jī)械加工技術(shù)形成的藍(lán)寶石傳感器、實(shí)現(xiàn)了大幅度的小型、輕量化采用*信號(hào)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了溫度特性直線(xiàn)性等誤差小的檢測(cè)

●通過(guò)采用了微處理器的數(shù)字PD運(yùn)算對(duì)加熱器進(jìn)行溫度控制、實(shí)現(xiàn)了迅速啟動(dòng)和穩(wěn)定的溫度控制。(有自己加熱功能的機(jī)型)

●允許寬的輸入電源電壓范圍

●可通過(guò)Auto零點(diǎn)調(diào)整開(kāi)關(guān)或Up/Down零點(diǎn)調(diào)整開(kāi)關(guān)簡(jiǎn)單地實(shí)施零點(diǎn)調(diào)整。

●通過(guò)另售的智能編程軟件包SLP-SP5J60可簡(jiǎn)單地進(jìn)行監(jiān)視及參數(shù)的讀寫(xiě)操作

●備有3個(gè)事件繼電器,通過(guò)另售的智能編程軟件包SLPSP5J60可簡(jiǎn)單地對(duì)各功能的設(shè)定進(jìn)行

●變更符合EC指令,符合CE標(biāo)識(shí)(適合規(guī)格:EN61326、EN55011)

詳情請(qǐng)見(jiàn)：日本山武azbil藍(lán)寶石隔膜真空計(jì)