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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
美國派克PARKER隔膜減壓調(diào)壓閥簡介：
派克Veriflo部門的735W和NPR735W（亞大氣壓）系列閥門，是為高壓氣體分配系統(tǒng)而設(shè)計，特別是用于超高純度（UHP）半導體制造操作系統(tǒng)。 該系列產(chǎn)品適用于惰性和腐蝕性氣體，具有二級隔膜設(shè)計，可大限度地減少供給壓力的影響; 因此，無論入口壓力如何波動，都能提供穩(wěn)定的出口壓力。
735W系列調(diào)壓閥具有*的壓縮構(gòu)件，其在潤濕區(qū)域無螺紋，從而提高泄漏完整性，并減少顆粒的產(chǎn)生和截留的風險。此種調(diào)壓閥配有100級潔凈室，由Veriflo專有的Vericlean™ 316L不銹鋼制成，并帶有PCTFE（聚三氟氯乙烯）或者 Vespel®（聚酰亞胺）閥座。這些材料，標準的全內(nèi)部電拋光和哈氏合金C-22® 隔膜和提升閥相結(jié)合在一起，使調(diào)壓閥入口壓力高達3,500 psig時都能保有其的耐腐蝕性和清潔度。閥座還具有自定位設(shè)計，可做重復有效關(guān)閉，穩(wěn)定的密封性，以及J確的壓力調(diào)節(jié)。它通過集成的過濾網(wǎng)保護其不受上游氣缸帶來的污染。
735W系列調(diào)壓閥，當閥座出現(xiàn)泄漏時，閥門關(guān)閉以阻隔帶有腐蝕性或有害氣體泄漏，并且通過消除下游潛在的聚積高壓而提高安全性。調(diào)壓閥內(nèi)部（閥座）密封件和密封外的金屬部件均通過質(zhì)譜儀進行內(nèi)外部氦氣泄露檢測，以確保在苛刻的要求清潔度的UHP應用中，保有其性能和可靠性。
美國派克PARKER隔膜減壓調(diào)壓閥描述：
市場：
• 半導體
• 分析實驗室
• 制藥
• 生物制藥
• 航空航天
• 工業(yè)
特點和優(yōu)勢：
• *的壓縮構(gòu)件無需螺紋穿孔將密封與本體連接在一起
• 高循環(huán)使用壽命（包括耐腐蝕性）
• 內(nèi)部彈簧設(shè)計小化顆粒的產(chǎn)生和氣體截留
• 金屬對金屬隔膜到閥體的密封確保高泄漏完整性
• 內(nèi)部泄漏率: <2 x 10-9 scc/sec He （額定）
• 外部泄漏率: <2 x 10-10 scc/sec He
• 全壓力范圍使用:從真空到3,500 psig （NPR735W可用于亞大氣壓的壓力控制）
• Cv 0.04
• 標準的全內(nèi)部電拋光
應用：
• 腐蝕性氣體和特種氣體
• 半導體工具
• 工具連接
• 燃氣柜
• 閥組箱（VMB）
• 上游工藝管線
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