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MPCS-100渦輪分子泵組產(chǎn)品介紹
MPCS-100渦輪分子泵組可為物理吸附儀、化學(xué)吸附儀等多類(lèi)儀器提供1×10-6Pa的極限真空度,無(wú)需單獨(dú)配置分子泵控制器,并加入*的真空監(jiān)測(cè)與泵組工作調(diào)節(jié)裝置
■ 儀器性能優(yōu)勢(shì)
1. 無(wú)需單獨(dú)購(gòu)置控制器
2. 渦輪分子泵的出入口壓力值可監(jiān)測(cè)
3. 擁有前后級(jí)工作調(diào)節(jié)裝置,避免前級(jí)泵反油對(duì)渦輪分子泵的影響
4. 泵組的工作全部智能控制,無(wú)需人員介入
5. *的法蘭連接結(jié)構(gòu),有效提高入口氣密性
■ 產(chǎn)品應(yīng)用*技術(shù)
1. *的智能控制系統(tǒng)
采用彼奧德研發(fā)團(tuán)隊(duì)提供的MPCS控制系統(tǒng),通過(guò)對(duì)各關(guān)鍵點(diǎn)的壓力及工作狀態(tài)監(jiān)控,有效的對(duì)泵組各部分工作狀態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié)和控制,并有效提高泵的工作效率及使用壽命
2. 應(yīng)用*的法蘭結(jié)構(gòu)
3. 前級(jí)泵與渦輪分子泵配置調(diào)節(jié)裝置
· 技術(shù)參數(shù)
· 極限真空:1×10-6Pa
· 前級(jí)泵抽速:采用I-PID技術(shù)可調(diào)
· 供電系統(tǒng):與MPCS控制系統(tǒng)集成
· 控制系統(tǒng):采用MPCS控制系統(tǒng),可智能控制并有效
· 協(xié)調(diào)前后級(jí)工作狀態(tài)
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