Physik Instrumente  N-765 精密Z向位移臺

NEXACT®參考級線性定位器

帶NEXACT® PiezoWalk®驅(qū)動器的線性定位器可實現(xiàn)較長行程范圍內(nèi)的納米級高精度定位。其配置直接測量線性編碼器和交叉滾柱軸承，可實現(xiàn)高精度。緊湊、扁平的設(shè)計使定位器能輕松實現(xiàn)機械集成。工作所需電壓低。

PiezoWalk®技術(shù)：高分辨率、低磨損

PiezoWalk®技術(shù)將壓電陶瓷促動器與壓電電機的技術(shù)優(yōu)勢結(jié)合在一起。PiezoWalk®步進驅(qū)動器不僅能提供亞納米級分辨率、較大的力和高剛性，而且根據(jù)其驅(qū)動原理，其還能實現(xiàn)理論上無限的行程。不同于其他壓電機動化驅(qū)動器原理，PiezoWalk®步進驅(qū)動器不受滑動摩擦作用的影響。其是基于幾個壓電陶瓷促動器的靜摩擦接觸，這幾個促動器沿一個動輪步進。前饋時，促動器被從動輪處物理提升，幾乎不會造成任何磨損。在促動器上相對于動輪施加預(yù)載可確保步進驅(qū)動器自鎖。因此，步進驅(qū)動器靜止?fàn)顟B(tài)下將保持位置，關(guān)機時可實現(xiàn)機械穩(wěn)定（無伺服抖動）。靜止?fàn)顟B(tài)自鎖，無能量消耗，無熱量產(chǎn)生。

帶PIOne線性編碼器用于直接位置測量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā)，在對測量數(shù)據(jù)進行相應(yīng)處理后，可實現(xiàn)遠低于1納米的位置分辨率。光學(xué)非接觸式PIOne編碼器基于干涉測量原理。其以*的精度直接在運動平臺上進行實際位置測量，因此非線性效應(yīng)、機械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。由于信號周期僅為0.5微米，信號質(zhì)量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1%。PIOne編碼器在研究參考信號時支持方向感應(yīng)。

交叉滾子軸承

利用交叉滾柱軸承，滾珠軸承中的滾珠的接觸點被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預(yù)載更小，這減少了摩擦并實現(xiàn)了更平滑的運行。交叉滾柱軸承的另一個特征是高導(dǎo)向精度和負載能力。滾動主體架的受迫導(dǎo)向防止?jié)L柱軸承發(fā)生蠕變。

在壓電陶瓷步進驅(qū)動器（NEXACT®和NEXLINE®）技術(shù)領(lǐng)域，PI擁有以下

DE10148267B4，EP1267478B1，EP2209202B1，EP2209203B1，US6800984B2，DE4408618B4

應(yīng)用領(lǐng)域

樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩(wěn)定性光學(xué)或機械部件、半導(dǎo)體行業(yè)中的精密機械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動化、有限空間內(nèi)的應(yīng)用、真空或無磁性環(huán)境中的應(yīng)用。

Physik Instrumente  N-765 精密Z向位移臺

• 采用PIOne增量編碼器實現(xiàn)直接測量，分辨率為0.5納米
• 小位移達1納米
• 行程為6.5毫米
• 負載能力達25牛
• 可以直接安裝在N-565線性定位器上