Physik Instrumente  N-765 精密Z向位移臺(tái)

NEXACT®參考級(jí)線(xiàn)性定位器

帶NEXACT® PiezoWalk®驅(qū)動(dòng)器的線(xiàn)性定位器可實(shí)現(xiàn)較長(zhǎng)行程范圍內(nèi)的納米級(jí)高精度定位。其配置直接測(cè)量線(xiàn)性編碼器和交叉滾柱軸承，可實(shí)現(xiàn)高精度。緊湊、扁平的設(shè)計(jì)使定位器能輕松實(shí)現(xiàn)機(jī)械集成。工作所需電壓低。

PiezoWalk®技術(shù)：高分辨率、低磨損

PiezoWalk®技術(shù)將壓電陶瓷促動(dòng)器與壓電電機(jī)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)結(jié)合在一起。PiezoWalk®步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器不僅能提供亞納米級(jí)分辨率、較大的力和高剛性，而且根據(jù)其驅(qū)動(dòng)原理，其還能實(shí)現(xiàn)理論上無(wú)限的行程。不同于其他壓電機(jī)動(dòng)化驅(qū)動(dòng)器原理，PiezoWalk®步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器不受滑動(dòng)摩擦作用的影響。其是基于幾個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器的靜摩擦接觸，這幾個(gè)促動(dòng)器沿一個(gè)動(dòng)輪步進(jìn)。前饋時(shí)，促動(dòng)器被從動(dòng)輪處物理提升，幾乎不會(huì)造成任何磨損。在促動(dòng)器上相對(duì)于動(dòng)輪施加預(yù)載可確保步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器自鎖。因此，步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器靜止?fàn)顟B(tài)下將保持位置，關(guān)機(jī)時(shí)可實(shí)現(xiàn)機(jī)械穩(wěn)定（無(wú)伺服抖動(dòng)）。靜止?fàn)顟B(tài)自鎖，無(wú)能量消耗，無(wú)熱量產(chǎn)生。

帶PIOne線(xiàn)性編碼器用于直接位置測(cè)量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā)，在對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行相應(yīng)處理后，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)低于1納米的位置分辨率。光學(xué)非接觸式PIOne編碼器基于干涉測(cè)量原理。其以*的精度直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上進(jìn)行實(shí)際位置測(cè)量，因此非線(xiàn)性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會(huì)對(duì)位置測(cè)量造成影響。由于信號(hào)周期僅為0.5微米，信號(hào)質(zhì)量高，PIOne編碼器的線(xiàn)性誤差小于1%。PIOne編碼器在研究參考信號(hào)時(shí)支持方向感應(yīng)。

交叉滾子軸承

利用交叉滾柱軸承，滾珠軸承中的滾珠的接觸點(diǎn)被淬火滾柱的線(xiàn)接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預(yù)載更小，這減少了摩擦并實(shí)現(xiàn)了更平滑的運(yùn)行。交叉滾柱軸承的另一個(gè)特征是高導(dǎo)向精度和負(fù)載能力。滾動(dòng)主體架的受迫導(dǎo)向防止?jié)L柱軸承發(fā)生蠕變。

在壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器（NEXACT®和NEXLINE®）技術(shù)領(lǐng)域，PI擁有以下

DE10148267B4，EP1267478B1，EP2209202B1，EP2209203B1，US6800984B2，DE4408618B4

應(yīng)用領(lǐng)域

樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩(wěn)定性光學(xué)或機(jī)械部件、半導(dǎo)體行業(yè)中的精密機(jī)械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動(dòng)化、有限空間內(nèi)的應(yīng)用、真空或無(wú)磁性環(huán)境中的應(yīng)用。

Physik Instrumente  N-765 精密Z向位移臺(tái)

• 采用PIOne增量編碼器實(shí)現(xiàn)直接測(cè)量，分辨率為0.5納米
• 小位移達(dá)1納米
• 行程為6.5毫米
• 負(fù)載能力達(dá)25牛
• 可以直接安裝在N-565線(xiàn)性定位器上