Physik Instrumente Q-Motion小型線性平臺

壓電慣性驅(qū)動器

壓電陶瓷慣性驅(qū)動器為空間節(jié)約型且價格實惠的基于壓電陶瓷的驅(qū)動器，其保持力相對較大，行程幾乎是無限的。慣性驅(qū)動原理是基于由特殊驅(qū)動器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個壓電促動器。促動器緩慢膨脹，移動轉(zhuǎn)子。由于其慣性，轉(zhuǎn)子無法跟上促動器隨后的快速收縮，停留在其位置上。工作頻率高達20千赫茲時，驅(qū)動直接作用在動輪上，實現(xiàn)大為10毫米/秒的速度。

真空和無磁性環(huán)境

所有Q-Motion®線性平臺都適用于高真空中的操作，真空可達10^-6 百帕。此外，適用于10^-9 百帕的超高真空變型也可供貨?？砂葱杼峁o磁性版本。

直接測量原理

可提供帶非接觸式光學(xué)線性編碼器的版本。分辨率為4 納米或1 納米，取決于不同版本。帶編碼器的版本具有參考點開關(guān)。

應(yīng)用領(lǐng)域

微裝配, 光子, 光學(xué)對準, 顯微鏡, 高能束線設(shè)備, 半導(dǎo)體技術(shù), 測試。

Physik Instrumente Q-Motion小型線性平臺

寬僅21毫米、高僅10毫米
采用集成式增量編碼器實現(xiàn)直接位置測量
編碼器分辨率高達1納米
小位移高達2納米
帶接裝板或支架（作為選配件提供）的多軸系統(tǒng)裝置
適用于高達10-6百帕的真空環(huán)境，還可提供用于真空達10-9百帕的版本