德國PI   N-565 帶線性編碼器實現(xiàn)高精度

• 超高精度：小位移為2納米，直接測量PIOne編碼器的分辨率為0.5納米
• 長行程：13 毫米、26 毫米或52 毫米
• 關機后自鎖：節(jié)約能量，減少熱量產(chǎn)生
• PiezoWalk®技術帶來長使用壽命和高可靠性
• 緊湊型設計：寬為65毫米、高為20毫米

德國PI   N-565 帶線性編碼器實現(xiàn)高精度

• 超高精度：小位移為2納米，直接測量PIOne編碼器的分辨率為0.5納米
• 長行程：13 毫米、26 毫米或52 毫米
• 關機后自鎖：節(jié)約能量，減少熱量產(chǎn)生
• PiezoWalk®技術帶來長使用壽命和高可靠性
• 緊湊型設計：寬為65毫米、高為20毫米

NEXACT®參考類別線性定位器

帶NEXACT® PiezoWalk®驅動器的線性定位器可實現(xiàn)長行程范圍內(nèi)的納米級高精度定位。其配置直接測量線性編碼器和交叉滾柱軸承，可實現(xiàn)高精度。

PiezoWalk®技術：高分辨率、低磨損

PiezoWalk®技術將壓電陶瓷促動器與壓電電機的技術優(yōu)勢結合在一起。PiezoWalk®步進驅動器不僅能提供亞納米級分辨率、較大的力和高剛性，而且根據(jù)其驅動原理，其還能實現(xiàn)理論上無限的行程。不同于其他壓電機動化驅動器原理，PiezoWalk®步進驅動器不受滑動摩擦作用的影響。其是基于幾個壓電陶瓷促動器的靜摩擦接觸，這幾個促動器沿一個動輪步進。靜止狀態(tài)下，PiezoWalk®步進驅動器自鎖，不消耗能量，無熱量產(chǎn)生。

帶PIOne線性編碼器用于直接位置測量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā)，在對測量數(shù)據(jù)進行相應處理后，可實現(xiàn)遠低于1納米的位置分辨率。此外，由于信號周期短、信號質(zhì)量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1 %。PIOne編碼器在研究參考信號時支持方向感應。

在壓電陶瓷步進驅動器（NEXACT®、NEXLINE®）技術領域，PI擁有以下

DE10148267B4, EP1267478B1, EP2209202B1, EP2209203B1, US6800984B2

應用領域

樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩(wěn)定性光學或機械部件、半導體行業(yè)中的精密機械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動化、有限空間內(nèi)的應用、真空或無磁性環(huán)境中的應用。.