德國(guó)PI   N-565 帶線性編碼器實(shí)現(xiàn)高精度

• 超高精度：小位移為2納米，直接測(cè)量PIOne編碼器的分辨率為0.5納米
• 長(zhǎng)行程：13 毫米、26 毫米或52 毫米
• 關(guān)機(jī)后自鎖：節(jié)約能量，減少熱量產(chǎn)生
• PiezoWalk®技術(shù)帶來(lái)長(zhǎng)使用壽命和高可靠性
• 緊湊型設(shè)計(jì)：寬為65毫米、高為20毫米

德國(guó)PI   N-565 帶線性編碼器實(shí)現(xiàn)高精度

• 超高精度：小位移為2納米，直接測(cè)量PIOne編碼器的分辨率為0.5納米
• 長(zhǎng)行程：13 毫米、26 毫米或52 毫米
• 關(guān)機(jī)后自鎖：節(jié)約能量，減少熱量產(chǎn)生
• PiezoWalk®技術(shù)帶來(lái)長(zhǎng)使用壽命和高可靠性
• 緊湊型設(shè)計(jì)：寬為65毫米、高為20毫米

NEXACT®參考類(lèi)別線性定位器

帶NEXACT® PiezoWalk®驅(qū)動(dòng)器的線性定位器可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)行程范圍內(nèi)的納米級(jí)高精度定位。其配置直接測(cè)量線性編碼器和交叉滾柱軸承，可實(shí)現(xiàn)高精度。

PiezoWalk®技術(shù)：高分辨率、低磨損

PiezoWalk®技術(shù)將壓電陶瓷促動(dòng)器與壓電電機(jī)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)結(jié)合在一起。PiezoWalk®步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器不僅能提供亞納米級(jí)分辨率、較大的力和高剛性，而且根據(jù)其驅(qū)動(dòng)原理，其還能實(shí)現(xiàn)理論上無(wú)限的行程。不同于其他壓電機(jī)動(dòng)化驅(qū)動(dòng)器原理，PiezoWalk®步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器不受滑動(dòng)摩擦作用的影響。其是基于幾個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器的靜摩擦接觸，這幾個(gè)促動(dòng)器沿一個(gè)動(dòng)輪步進(jìn)。靜止?fàn)顟B(tài)下，PiezoWalk®步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器自鎖，不消耗能量，無(wú)熱量產(chǎn)生。

帶PIOne線性編碼器用于直接位置測(cè)量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā)，在對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行相應(yīng)處理后，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)低于1納米的位置分辨率。此外，由于信號(hào)周期短、信號(hào)質(zhì)量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1 %。PIOne編碼器在研究參考信號(hào)時(shí)支持方向感應(yīng)。

在壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器（NEXACT®、NEXLINE®）技術(shù)領(lǐng)域，PI擁有以下

DE10148267B4, EP1267478B1, EP2209202B1, EP2209203B1, US6800984B2

應(yīng)用領(lǐng)域

樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩(wěn)定性光學(xué)或機(jī)械部件、半導(dǎo)體行業(yè)中的精密機(jī)械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動(dòng)化、有限空間內(nèi)的應(yīng)用、真空或無(wú)磁性環(huán)境中的應(yīng)用。.