EDWARDS愛德華EH250羅茨泵卡死維修.愛德華EH250羅茨真空泵主要是指具有一對同步、高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的真空泵，但是對于其來說不可以單獨(dú)抽氣，前級(jí)還是需配油封、水環(huán)等可直排大氣。其的泵內(nèi)裝有兩個(gè)向相反方向同步運(yùn)轉(zhuǎn)的葉形轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁間有細(xì)小空隙而互不接觸的一種變?nèi)菔秸婵毡谩?/span>常見故障有；異響，漏油、壓力不足。

產(chǎn)品用途：

廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、微電子、光電半導(dǎo)體、太陽能、冶煉、封裝測試、真空含浸、等離子清洗等行業(yè)

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、啟動(dòng)快，耗功少，運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低，抽速大、效率高；

2、被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感，在100～1帕壓力范圍內(nèi)有較大抽氣速率，能迅速排除突然放出的氣體；

3、泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；

4、泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

5、轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙

6、不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動(dòng)功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合。

它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。

EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供：

安靜的無振動(dòng)運(yùn)行。牢靠且防腐蝕。良好的軸封技術(shù)，處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染、防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造

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