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東莞市鑰大真空設(shè)備有限公司

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半導(dǎo)體行業(yè)IH80愛德華干泵維修

參   考   價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號:

品       牌:其他品牌

廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

所  在  地:東莞市

更新時間:2024-10-28 14:43:31瀏覽次數(shù):1760

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半導(dǎo)體行業(yè)IH80愛德華干泵維修.Edwards愛德華高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,可以按照工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時間并提高生產(chǎn)率,同時減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性能。

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iH 系列真空泵為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠xing。通常情況下在使用螺桿泵時,應(yīng)定期的對螺桿泵進(jìn)行檢查,發(fā)現(xiàn)故障要及時維修。般螺桿泵檢修主要有小修和大修之分,螺桿泵小修的檢查周期用在6個月左右,大修的檢查周期應(yīng)在24個月。根據(jù)螺桿泵運(yùn)行狀況及狀態(tài)監(jiān)測結(jié)果可適當(dāng)調(diào)整檢修周期。

半導(dǎo)體行業(yè)IH80愛德華干泵維修前準(zhǔn)備在檢修螺桿泵前應(yīng)做好以下準(zhǔn)備工作。

①掌握運(yùn)行情況,備齊必要的圖紙資料。

②備齊檢修工具、量具、配件及材料。

③切斷電源及設(shè)備與系統(tǒng)聯(lián)系,內(nèi)部介質(zhì)冷卻、吹掃、置換干凈,符合安全檢修條件。

螺桿泵的拆卸與檢查

拆卸螺桿泵時應(yīng)按以下步驟進(jìn)行。

①檢查電動機(jī)電源;電源應(yīng)斷開,并將電源開關(guān)上鎖。檢查出、人口閥門關(guān)閉情況,若沒有關(guān)閉,應(yīng)關(guān)緊。

②松開電動機(jī)與泵軸之間的聯(lián)軸器的連接螺栓,卸下聯(lián)軸器。

③拆卸檢查同步齒輪。

對于單螺桿泵或三螺桿泵,拆卸泵后端蓋,檢查墊片、止推墊片、軸承、軸向定位塞。

對于雙螺桿泵,拆卸泵后端蓋,拆卸檢查軸承及密封。

④拆卸前端蓋,拆卸檢查主、從動螺稈及密封。

⑤必要時更換端蓋與泵體之間墊片。

半導(dǎo)體行業(yè)IH80愛德華干泵維修,超長保固期。

愛德華真空泵維修

愛德華真空泵維修主要針對以下故障:噪音大、漏油、真

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