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位移傳感器的工作原理
位移傳感器又稱為線性傳感器，是一種探測物體移動位移的裝置。根據(jù)樣式劃分，它分為電感式位移傳感器，電容式位移傳感器，光電式位移傳感器，位移傳感器超聲波式位移傳感器，霍爾式位移傳感器。 電感式位移傳感器是一種屬于金屬感應的線性器件，接通電源后，在開關的感應面將產(chǎn)生一個交變磁場，當金屬物體接近此感應面時，金屬中則產(chǎn)生渦流而吸取了振蕩器的能量，使振蕩器輸出幅度線性衰減，然后根據(jù)衰減量的變化來完成無接觸檢測物體的目的。
計量光柵是利用光柵的莫爾條紋現(xiàn)象來測量位移的。“莫爾”原出于法文Moire，意思是水波紋。幾百年前法國絲綢工人發(fā)現(xiàn)，當兩層薄絲綢疊在一起時，將產(chǎn)生水波紋狀花樣;如果薄綢子相對運動，則花樣也跟著移動，這種奇怪的花紋就是莫爾條紋。
一般來說，只要是有一定周期的曲線簇重疊起來，便會產(chǎn)生莫爾條紋。計量光柵在實際應用上有透射光柵和反射光柵兩種;按其作用原理又可分為輻射光柵和相位光柵;按其用途可分為直線光柵和圓光柵。下面以透射光柵為例加以討論。
透射光柵尺上均勻地刻有平行的刻線即柵線，a為刻線寬，b為兩刻線之間縫寬，W=a+b稱為光柵柵距。目前國內(nèi)常用的光柵每毫米刻成10、25、50、100、250條等線條。光柵的橫向莫爾條紋測位移，需要兩塊光柵。一塊光柵稱為主光柵，它的大小與測量范圍相一致;另一塊是很小的一塊，稱為指示光柵。為了測量位移，必須在主光柵側加光源，在指示光柵側加光電接收元件。當主光柵和指示光柵相對移動時，由于光柵的遮光作用而使莫爾條紋移動，固定在指示光柵側的光電元件，將光強變化轉(zhuǎn)換成電信號。由于光源的大小有限及光柵的衍射作用，使得信號為脈動信號。
直流信號和近視正弦的周期信號的疊加，周期信號是位移x的函數(shù)。每當x變化一個光柵柵距W，信號就變化一個周期，信號由b點變化到b’點。由于bb’=W，故b’點的狀態(tài)與b點狀態(tài)*一樣，只是在相位上增加了2π。