該離子泵具有三種元件類型。二極離子泵元件適用于通用的 UHV 和 XHV 應(yīng)用，在此應(yīng)用中氫氣抽速至關(guān)重要，系統(tǒng)很少排氣或發(fā)生空氣泄漏。三極離子泵適可處理大量惰性氣體（優(yōu)于改進(jìn)型二極離子泵更好）和氫氣（與二極離子泵相當(dāng)）。三極離子泵對(duì)甲烷、氬氣和氦氣同樣具有很高的抽速和容量。改進(jìn)型二極離子泵元件適用于需要抽除殘留氬氣和其他惰性氣體的通用 UHV 和 XHV 應(yīng)用。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品特點(diǎn)

·配備三極離子泵、二極離子泵和惰性氣體二極離子泵抽氣單元，為不同氣體提供抽速

·配備 ConFlat 8 英寸非旋轉(zhuǎn)型法蘭、額外 8 英寸 ConFlat 孔、雙法蘭和側(cè)孔，可選不同方向的真空穿導(dǎo)件（Fischer、King、DESY、Varian、Safeconn）。

·無(wú)活動(dòng)部件，確保在高靈敏度應(yīng)用中無(wú)振動(dòng)運(yùn)行。

·低漏電流可提供穩(wěn)定的真空壓力讀數(shù)。

·低磁場(chǎng)可減少系統(tǒng)干擾。

·在 > 400 °C 的條件下進(jìn)行真空處理，并在真空下夾止，確保安裝前的清潔度和真空密封性。

·可定制不同的高壓真空穿導(dǎo)件、泵體幾何形狀、額外孔和抽氣單元布局，還可配備光學(xué)擋板。外部加熱器和屏蔽磁體，滿足您的需求。

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品選型