質(zhì)譜附件-濕度發(fā)生器濕度發(fā)生器通過對(duì)潮濕與干燥氣流進(jìn)行定量混合，可以為測(cè)試提供具有確定的相對(duì)濕度的吹掃氣氛。其可控的小濕度為約 30°C 下的 5% 相對(duì)濕度（0.2% 濕度），大濕度為 70°C 下的 90%相對(duì)濕度（30%濕度）。

質(zhì)譜附件-濕度發(fā)生器濕度發(fā)生器通過對(duì)潮濕與干燥氣流進(jìn)行定量混合，可以為測(cè)試提供具有確定的相對(duì)濕度的吹掃氣氛。其可控的小濕度為約 30°C 下的 5% 相對(duì)濕度（0.2% 濕度），大濕度為 70°C 下的 90%相對(duì)濕度（30%濕度）。

質(zhì)譜附件-濕度發(fā)生器濕度發(fā)生器通過對(duì)潮濕與干燥氣流進(jìn)行定量混合，可以為測(cè)試提供具有確定的相對(duì)濕度的吹掃氣氛。其可控的小濕度為約 30°C 下的 5% 相對(duì)濕度（0.2% 濕度），大濕度為 70°C 下的 90%相對(duì)濕度（30%濕度）。

若水汽濃度 ≥ 2% 濕度（相當(dāng)于 15°C下的 100% 相對(duì)濕度），需要配合使用水蒸氣爐。對(duì)于 ≤ 2% 的較低濕度，可以使用任何類型的爐體，但必須避免冷凝。潮濕氣氛濃度由軟件控制，其步階可編程。系統(tǒng)可以方便地在測(cè)試運(yùn)行過程中進(jìn)行重新充填。