Sievers專門為微電子應用設計了兩款TOC分析儀  — Sievers^® M9e和M500e。雖然這兩款分析儀有著相似的低濃度測量性能，但Sievers M9e使用酸劑和氧化劑，因而能測量2.5 ppm（2.5 ppm是Sievers M500e的測量上限）以上的TOC值，還能測量高IC值，或測量pH不是中性的水樣。酸劑和氧化劑會向樣品中引入痕量有機物，本文稍后介紹對此的空白校正程序。如果不是特別需要使用酸劑和氧化劑，我們建議您在應用中使用Sievers M500e分析儀。

由于后面提到的原因，對于測量低ppb和亞ppb的TOC分析儀來說，傳統(tǒng)的校準意義不大。因此，我們建議在低ppb和亞ppb應用中使用配置不銹鋼取樣塊的Sievers M500e。取樣塊不僅能降低儀器成本，而且能形成更適合低ppb和亞ppb應用的封閉式取樣系統(tǒng)。

影響分析儀校準的兩個因素是“增益（gain）"和“偏移（offset）"?！霸鲆?影響校準曲線的斜率，“偏移"影響校準曲線通過零點的位置。這兩種因素對儀器分析性能的影響力的大小取決于超純水系統(tǒng)的TOC濃度和分析儀的測量范圍之間的關(guān)系。超純水系統(tǒng)的TOC濃度越接近分析儀的檢測限（或接近于零），自動歸零在優(yōu)化分析儀性能時所起的作用就越大，而校準的作用就越?。ㄒ妶D1）。

圖1：TOC校準

從圖1中可以看出，將校準曲線移至最壞情況的校準上限或下限，對亞ppb下的儀器響應沒有影響。

在低濃度下，改變零點或“偏移"對儀器性能的影響最大，最能保證測量的可靠性，最有利于“儀器到儀器"的一致性（見圖2）。

圖2：TOC自動歸零

Sievers M9e和M500e用自動歸零（Auto-Zero）來確保分析儀在沒有TOC的情況下報告為零。分析儀的手冊對自動歸零有詳細的說明。自動歸零非常有用，能夠幫助優(yōu)化分析儀的低TOC測量性能，并有利于達到“儀器到儀器"的一致性。

Sievers M9e和M500e也具有電導率自動歸零功能。TC和IC通道的溫度和電導池只接觸到含有少量CO2的去離子水，因而無需針對電導率的增加而進行校準。隨著時間推移，當離子污染物從電導池浸出時，電導池的偏移就會發(fā)生變化。電導率自動歸零校準任務能夠調(diào)整TC和IC池的偏移。

與TOC自動歸零不同，電導率自動歸零無需經(jīng)常進行。我們建議在診斷負TOC值時運行電導率自動歸零。只可由技術(shù)支持或現(xiàn)場服務工程師來運行電導率自動歸零。

不使用試劑的Sievers M500e專用于測量亞ppb級的TOC值。Sievers M9e常用于高TOC應用，包括需要添加氧化劑來測量ppm級的TOC應用，或需要酸化樣品和去除IC的高濃度無機碳的系統(tǒng)監(jiān)測。在有些應用中，樣品的TOC很低，但電導率或IC很高，這時就需要使用Sievers M9e的功能來進行理想的TOC測量。

超純水應用無需使用氧化劑，本文討論的操作程序只適用于酸劑。Sievers M9e使用電子級酸劑，但電子級酸劑也會向樣品中引入痕量的有機污染物，這些有機物對低濃度讀數(shù)的影響雖小，但仍不可忽視。Sievers M9e（固件1.06及更高版本）帶有自動酸劑空白（Reagent Blank）程序，能測量酸劑實際產(chǎn)生的有機污染物的量，并根據(jù)所選流量來應用偏移量，從而將有機污染物從報告的TOC值中扣除。

各個酸劑盒所產(chǎn)生的痕量有機污染物稍有不同，每次在安裝新酸劑盒后，都需要運行試劑空白程序。