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真空度顯示：顯示腔體內(nèi)部的真空度數(shù)值

運行程序段：分為3個步驟，綠色表示運行狀態(tài)

①真空泵啟動②射頻電源打開③放氣

進(jìn)氣流量顯示：通過調(diào)節(jié)A、B流量調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)氣體進(jìn)入腔體的大小，在兩個圖標(biāo)顯示，上部顯示為A流量，下部顯示為B流量

時間：顯示設(shè)備清洗時間

功率:顯示當(dāng)前設(shè)備清洗是清洗功率

設(shè)備溫度：顯示當(dāng)前射頻電源設(shè)備溫度

放氣狀態(tài)：顯示當(dāng)前放氣閥開啟或關(guān)閉狀態(tài)

清洗時間：點擊可設(shè)置設(shè)備運行清洗時間

清洗功率：點擊可設(shè)置設(shè)備運行清洗功率

開始運行：點擊可切換設(shè)備開始運行或者停止運行

參數(shù)設(shè)置：非專業(yè)人士請勿調(diào)節(jié)，如有需要請聯(lián)系廠家人員

射頻電源開關(guān)：按下產(chǎn)品前面板左邊的電源按鈕  此時產(chǎn)品通電啟動 液晶顯示屏點亮， 顯示啟動界面 2 秒，然后進(jìn)入相應(yīng)工作狀態(tài)顯示界面。在按一下則關(guān)閉射頻電源。

功率調(diào)節(jié)旋鈕：射頻功率調(diào)節(jié)，通過旋轉(zhuǎn)前面板上的功率設(shè)置旋鈕來增加或減小功率水平（順時針 旋轉(zhuǎn)為增加功率，逆時針旋轉(zhuǎn)為減小功率）。

射頻輸出的開啟和關(guān)閉：按下前面板上的射頻輸出 開【藍(lán)色按鈕】 打開射頻輸出，同時定時器開始倒計時； 按下射頻輸出 關(guān)【紅色按鈕】 關(guān)閉射頻輸出。

調(diào)節(jié)功率設(shè)置旋鈕：顯示內(nèi)容“Wf"前的數(shù)值會發(fā)生相應(yīng)的變化，此 時的數(shù)值為功率設(shè)定值；當(dāng)按下射頻輸出 開【藍(lán)色按鈕】開啟射頻時，“RF OFF"將變成“Wr"，Wf 前的數(shù)值也會從 0 上升，當(dāng)然 Wr 前的數(shù)值也會根據(jù)負(fù)載情況發(fā)生相應(yīng)的變化,如果射頻電源的后端負(fù)載為 50 歐時，Wr 前的數(shù)值將為 0，即此時射頻輸出無反射功率；否則，Wr 前數(shù)值將根據(jù)負(fù)載情況顯示相應(yīng)的反射功率值。

手動匹配器：通過調(diào)節(jié)前面板上的【MATCH】控制區(qū)的【TUNE】和【LOAD】旋鈕實現(xiàn)匹配器的手 動匹配，反射功率減低到 0W。

【MATCH】控制             【最大反射】指示                      【手動匹配】指示

 手動調(diào)節(jié)【TUNE】和【LOAD】旋鈕 調(diào)節(jié)【TUNE】旋鈕，如果 Wf 數(shù)值增加，證明調(diào)節(jié)的百分比方向正確，否則往相反的方向調(diào)節(jié)；到 Wf 數(shù)值到達(dá)設(shè)置最大值，通過微調(diào)兩個旋鈕，實現(xiàn) Wr 數(shù)值減低； b．調(diào)節(jié)【LOAD】旋鈕的方法同理。（通過兩個旋鈕調(diào)節(jié)觀察Wf值根據(jù)旋鈕調(diào)節(jié)變大  Wr值根據(jù)旋鈕調(diào)節(jié)變小）

2、軟件語言選擇

按下前面板上的【MENU】鍵進(jìn)入主菜單中，通過前面板上的【UP】或【DOWN】鍵

選中主菜單中的第 1 項“Lang./語言"并按下【MENU】鍵確認(rèn)，進(jìn)入子菜單選中“English"

或“中文"并按【MENU】鍵確認(rèn)即可切換相應(yīng)的語言