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詳細(xì)介紹
由于Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀是非接觸式和非破壞性的，因此可以在不損壞樣品的情況下快速方便地進(jìn)行測量。廣泛用于研發(fā)和在線質(zhì)量控制中的薄膜厚度測量。高精度、高穩(wěn)定性
Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀特點(diǎn)
可以非接觸、非破壞性方式測量薄膜厚度
厚度范圍從 10 nm 到 1000 μm，多可測量三層
不僅能測量薄膜厚度，還能測量光學(xué)乘數(shù)（n、k）(多達(dá) 3 個(gè)總參數(shù)）
支持微小點(diǎn)測量
還可測量濾光片顏料膜厚
Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀測量原理
假設(shè)在折射率為 n2 的基底上有一層厚度為 d、折射率為 n1 的薄膜，如圖所示。 考慮從空氣（折射率 n0）入射到薄膜上的光線。 光在美麗的路徑上被反射，在穿過薄膜并反射到基底表面的成分中，還有一個(gè)成分從薄膜中射出，可以作為反射光被捕獲。 由于光是一種波，這些反射成分會(huì)相互干涉。 考慮到入射光垂直于基底入射，這種干涉的減弱和加強(qiáng)取決于光學(xué)膜厚度 n d（即絕對膜厚度 n 乘以厚度 d）和波長。
Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀技術(shù)規(guī)格
| 型號 | TFW-100(1) | TFW-100(2) | TFW-100(3) |
| 用途 | ITO薄膜厚度 | 一般膜厚用 | 濾光片膜厚 |
| 膜厚范圍 | 10nm～500nm(C/F) | 150nm～1.5μm(C/F) | 500nm～10μm(C/F) |
| 500nm～15μm(FFT) | 1.5μm～60μm(FFT) | ||
| 測量重現(xiàn)性 | 0.2%～1%(取決于膜材質(zhì)) | ||
| 波長范圍 | 300nm～1000nm | 400nm～700nm | 900nm～1600nm |
| 光源 | Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀12V-100W 鹵素?zé)?/span> | ||
| 測量軟件 | TF-Lab (曲線擬合法/ FFT法) | ||
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