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產品簡介
用于加熱大型基材和玻璃的升降機，帶蓋熱板PA-LIF系列，晶圓加熱（RP系列），材料表面研究和評估，無機材料熱處理，耐熱性評估，烘烤等。RP系列有雙面加熱和石英鐘罩的選項，可以用于材料的氣體置換。 RP系列也可用于氣體置換和材料的加熱。
詳細介紹
主要應用。
用于加熱大型基材和玻璃的升降機，帶蓋熱板PA-LIF系列，晶圓加熱（RP系列），材料表面研究和評估，無機材料熱處理，耐熱性評估，烘烤等。RP系列有雙面加熱和石英鐘罩的選項，可以用于材料的氣體置換。 RP系列也可用于氣體置換和材料的加熱。
MSA工廠加熱知識
各種技術訣竅集中在材料（超級耐熱板、熱變形對策、鈦合金底盤）、加熱器設計、絕緣、熱輻射等方面。
高性能和多功能性
可提供定制的附加功能，例如用于加熱和運輸大型板材的升降機功能（垂直板材驅動），以及處理加熱過程中板材變形的真空吸盤功能。
安全功能
該控制器配備了安全功能，包括超溫監(jiān)測功能、緊急停止功能、泄漏檢測功能和負載斷開功能。
溫度控制范圍：室溫至1000℃ 溫度分布：±3%或更少（在加熱區(qū)域內）
尺寸：RP-10080-4（用于4英寸），-6（用于6英寸），-8（用于8英寸）。
選項：石英鐘罩、質量流量等，其他定制。
特點
超高溫（MAX 1000°C）硅片加熱爐 - 平行板式，用于均勻加熱 - 氣體吹掃功能（惰性氣體N2，Ar）。
控制器上標配的數(shù)字流量計 50 L/min (設置單位0.1 L/min)
氧氣兼容的質量流量型選項 - 兩個控制器（用于上、下層熱板），具有溫度程序功能
石英鐘罩（氣體吹掃功能）選項
| 型號 | PA2560-LIF | PA4060-LIF | PA8020-LIF | RP10020 |
| 最高溫度 | 250℃ | 400℃ | 800℃ | 1000℃ |
| 尺寸 | 600×600mm | 600×600mm | 220×220mm | 220×220mm |
| 板材材料 | 鋁合金 | 超耐熱合金 | ||
| 電源電壓 | AC200V | |||
| 可選 | 電動升降機，真空吸能器 | 電動升降機， 真空吸附， 電動傳送面 快門、 | 電動升降機 | 雙面加熱功能 |
| 特點 | 帶手動絕熱罩，其他可通過自動操作進行處理 | 輸送部分，側向卸貨 轉移機器人 支持的類型 | 高達800℃的超高溫 | 達到超高溫1000℃ 對應石英玻璃 惰性氣氛下的加熱 |
| 溫度 控制器 | PCC118-LIF-TP、觸摸面板 監(jiān)視器臂式 | PCC118-LIF-TP | PCC118-LIF－TP | PCC118-W-TP |